电阻率值调整装置及电阻率值调整方法制造方法及图纸

一种电阻率值调整装置，其包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能够使所述调整气体溶解于所述液体；液体供给管，其连通于所述液相侧区域，用于向所述液相侧区域供给所述液体；液体排出管，其连通于所述液相侧区域，用于将所述液体自所述液相侧区域排出；气体供给管，其连通于所述气相侧区域，用于向所述气相侧区域供给所述调整气体；气体排出管，其连通于所述气相侧区域，用于将所述调整气体自所述气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过所述中空纤维膜组件的方式连通于所述液体供给管及所述液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于所述气体排出管，用于开闭所述气体排出管内的第一流路，所述第一开闭阀能够通过开启所述第一流路来将蓄积于所述气相侧区域的水排出。

Resistivity adjustment device and resistivity adjustment method

A resistivity value adjusting device, which comprises a hollow fiber membrane module, which is divided into a hollow fiber membrane is supplied to adjust the resistivity value of liquid phase, and the supply side region can adjust the gas adjustment of resistivity in the gas phase side region, the hollow fiber membrane module enables the adjustment of dissolved gas in the liquid; the liquid supply pipe communicated with the liquid side area to the liquid side of the liquid supply area; liquid discharging pipe communicated with the liquid side region, the liquid from the liquid side discharge area; gas supply pipe. The connected to the gas phase side area to the side of the gas supply area for adjusting gas; gas discharge pipe, communicated with the gas phase side area, for the adjustment of gas from the gas phase discharge side side region; The bypass pipe, bypassing of the hollow fiber membrane module way of communicating with the liquid supply pipe and the liquid outlet pipe; and the first opening and closing the valve, which is connected to the gas discharge tube, for opening and closing the gas discharged from the first flow path of the tube, the first open and close valve by opening the first flow path to accumulate in the gas phase side region of water discharge.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】电阻率值调整装置及电阻率值调整方法
本专利技术涉及一种调整液体的电阻率值的电阻率值调整装置及电阻率值调整方法。
技术介绍
在半导体或液晶的制造工序中，使用超纯水对基板进行清洗。在该情况下，若超纯水的电阻率值高，则会产生静电。由此可能出现绝缘击穿或者再次附着微粒的情况，从而明显地对产品成品率带来不良影响。为了解决这样的问题，提出了一种使用疏水性的中空纤维膜组件的方法。该方法使用中空纤维膜组件来使二氧化碳气体或氨气等气体溶解于超纯水中。于是，通过解离平衡产生离子，并利用该产生的离子使超纯水的电阻率值降低。另外，在基板的清洗、切割等工序中，超纯水的流动变动激烈。因此，在专利文献1及专利文献2中，提出了一种即使流量变动也可以使电阻率值稳定的技术。在专利文献1记载的技术中，设置了生成小流量的附加有高浓度气体的液体的中空纤维膜组件、和供大流量的超纯水经过的旁通管道。并且，使生成的附加有高浓度气体的液体和经过旁通管道的超纯水混合。由此，能够容易地调整超纯水的电阻率值。在专利文献2记载的技术中，设置了多个旁通管道，并在1个或多个旁通管道上设置了截止阀。并且，若超纯水的流量下降，则将一部分或全部的截止阀开启。由此，超纯水变为低流量从而能够抑制超纯水的电阻率值上升。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第3951385号公报专利文献2：日本特开2012-223725号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在这样的中空纤维膜组件中，隔着中空纤维膜被分隔成供超纯水流动的液相侧区域及供气体流动的气相侧区域。并且，气相侧区域的气体透过中空纤维膜从而溶解于液相侧的超纯水。然而，本专利技术人在使用中空纤维膜组件使二氧化碳气体或氨气溶解于超纯水中时，出现了尽管超纯水的流量不降低，但超纯水的电阻率值仍随着时间的经过而上升的现象。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够长期地抑制液体的电阻率值上升的电阻率值调整装置及电阻率值调整方法。用于解决问题的方案本专利技术人为了达成上述目的，经专心研究的结果是，发现了会因为以下原因而导致上述现象。即，在超纯水中溶解有水蒸气。因此，若使用中空纤维膜组件使二氧化碳气体或氨气溶解于超纯水中，则溶解于超纯水中的水蒸气会向气相侧区域逆向扩散。在气相侧区域中，逆向扩散于气相侧区域的水蒸气凝结，且凝结水蓄积。其结果是，中空纤维膜被凝结水覆盖，导致气相侧区域的气体变得不能透过中空纤维膜。本专利技术人基于这样的发现完成了本专利技术。即，本专利技术的一种方式的电阻率值调整装置包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能使调整气体溶解于液体；液体供给管，其连通于液相侧区域，用于向液相侧区域供给液体；液体排出管，其连通于液相侧区域，用于将液体自液相侧区域排出；气体供给管，其连通于气相侧区域，用于向气相侧区域供给调整气体；气体排出管，其连通于气相侧区域，用于将调整气体自气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过中空纤维膜组件的方式连通于液体供给管及液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于气体排出管，用于开闭气体排出管内的第一流路，第一开闭阀能够通过开启第一流路来将蓄积于气相侧区域的水排出。在本专利技术的一种方式的电阻率值调整装置中，要调整电阻率值的液体自液体供给管供给至中空纤维膜组件的液相侧区域，并向液体排出管排出。能调整电阻率值的调整气体自气体供给管供给至中空纤维膜组件的气相侧区域，并向气体排出管排出。在中空纤维膜组件中，供给至气相侧区域的调整气体透过中空纤维膜从而溶解于供给至液相侧区域的液体。并且，利用中空纤维膜组件溶解有调整气体的液体与经过旁通管的液体混合。由此，能够与液体的流量无关地容易地调整液体的电阻率值。另一方面，溶解于液体的水蒸气通过透过中空纤维膜，来向气相侧区域逆向扩散。逆向扩散到气相侧区域的水蒸气凝结成水。并且，该水蓄积于气相侧区域。然而，在该电阻率值调整装置中，利用第一开闭阀开启气体排出管内的第一流路，从而蓄积于气相侧区域的水自第一开闭阀排出。由此，能够抑制因蓄积于气相侧区域的水所导致的气相侧区域的调整气体变得不能透过中空纤维膜。因此，通过定期地、或者每当有规定量的水蓄积于气相侧区域时利用第一开闭阀开启第一流路，从而能够长期地抑制液体的电阻率值上升。作为一个实施方式，也可以还具有定时器部，该定时器部用于定期地开闭第一开闭阀。另外，作为一个实施方式，也可以是，在第一开闭阀为开启状态的情况下，经过第一开闭阀的流体的流量为1[L/min]以上300[L/min]以下。另外，作为一个实施方式，也可以是，气体排出管在中空纤维膜组件的下部连通于气相侧区域。另外，作为一个实施方式，也可以是，还具有漏出部，该漏出部以相对于第一开闭阀并列设置的方式连接于气体排出管，用于使气相侧区域的调整气体漏出。另外，作为一个实施方式，也可以是，在第一开闭阀为开启状态的情况下经过第一开闭阀的流体的流量大于经过漏出部的调整气体的流量。另外，作为一个实施方式，也可以是，经过漏出部的调整气体的流量为0[mL/min]以上1000[mL/min]以下。另外，作为一个实施方式，也可以是，还包括：第二旁通管，其以旁通绕过中空纤维膜组件的方式连通于液体供给管及液体排出管；以及第二开闭阀，其用于开闭第二旁通管内的第二流路。本专利技术的一种方式的电阻率值调整方法是使用中空纤维膜组件对液体的电阻率值进行调整的方法，该中空纤维膜组件被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能使调整气体溶解于液体，该电阻率值调整方法包括：电阻率值调整工序，在该工序中，一边使液体经过液相侧区域一边使调整气体经过气相侧区域，从而使调整气体溶解于液体，并且，使溶解有调整气体的液体与旁通绕过中空纤维膜组件的液体混合，从而对液体的电阻率值进行调整；以及排出工序，在该工序中，利用能开闭连通于气相侧区域的第一流路的第一开闭阀，将蓄积于气相侧区域的水排出，在电阻率值调整工序中，利用第一开闭阀关闭第一流路，在排出工序中，利用第一开闭阀开启第一流路。在本专利技术的一种方式的电阻率值调整方法中，在电阻率值调整工序中，将利用中空纤维膜组件溶解有调整气体的液体与旁通绕过中空纤维膜组件的液体混合。由此能够与液体的流量无关地容易地调整液体的电阻率值。这时，利用第一开闭阀事先关闭第一流路，从而能够抑制调整气体的使用量。并且，在排出工序中，利用第一开闭阀开启第一流路，将蓄积于气相侧区域的水自第一开闭阀排出。由此，能够抑制因蓄积于气相侧区域的水所导致的气相侧区域的调整气体变得不能经过中空纤维膜。因此，通过定期地、或者每当有规定量的水蓄积于气相侧区域时进行排出工序，从而能够长期地抑制液体的电阻率值上升。作为一个实施方式，也可以是，在电阻率值调整工序中，使气相侧区域的调整气体自漏出部漏出，该漏出部以相对于第一开闭阀并列设置的方式连通于第一流路。专利技术的效果采用本专利技术，能够长期地抑制电阻率值的上升。附图说明图1是第1实施方式的电阻率值调整装置的示意图。图2是第2实施方式的电阻率值调整装置的示意图。图3是第3实施方式的电阻率值调整装置的示意图。图4是第4实施方式的电阻率值调整装置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电阻率值调整装置，其中，该电阻率值调整装置包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能够使所述调整气体溶解于所述液体；液体供给管，其连通于所述液相侧区域，用于向所述液相侧区域供给所述液体；液体排出管，其连通于所述液相侧区域，用于将所述液体自所述液相侧区域排出；气体供给管，其连通于所述气相侧区域，用于向所述气相侧区域供给所述调整气体；气体排出管，其连通于所述气相侧区域，用于将所述调整气体自所述气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过所述中空纤维膜组件的方式连通于所述液体供给管及所述液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于所述气体排出管，用于开闭所述气体排出管内的第一流路，所述第一开闭阀能够通过开启所述第一流路来将蓄积于所述气相侧区域的水排出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.13 JP 2015-0815631.一种电阻率值调整装置，其中，该电阻率值调整装置包括：中空纤维膜组件，其被中空纤维膜分隔成被供给要调整电阻率值的液体的液相侧区域、以及被供给能调整电阻率值的调整气体的气相侧区域，该中空纤维膜组件能够使所述调整气体溶解于所述液体；液体供给管，其连通于所述液相侧区域，用于向所述液相侧区域供给所述液体；液体排出管，其连通于所述液相侧区域，用于将所述液体自所述液相侧区域排出；气体供给管，其连通于所述气相侧区域，用于向所述气相侧区域供给所述调整气体；气体排出管，其连通于所述气相侧区域，用于将所述调整气体自所述气相侧区域排出；旁通管，其以旁通绕过所述中空纤维膜组件的方式连通于所述液体供给管及所述液体排出管；以及第一开闭阀，其连接于所述气体排出管，用于开闭所述气体排出管内的第一流路，所述第一开闭阀能够通过开启所述第一流路来将蓄积于所述气相侧区域的水排出。2.根据权利要求1所述的电阻率值调整装置，其中，该电阻率值调整装置还具有定时器部，该定时器部用于定期地开闭所述第一开闭阀。3.根据权利要求1或2所述的电阻率值调整装置，其中，在所述第一开闭阀为开启状态的情况下，经过所述第一开闭阀的流体的流量为1[L/min]以上300[L/min]以下。4.根据权利要求1～3中任一项所述的电阻率值调整装置，其中，所述气体排出管在所述中空纤维膜组件的下部连通于所述气相侧区域。5.根据权利要求1～4中任一项所述的电阻率值调整装置，其中，该电阻率值调整装置还具有漏出部，该漏出部以相对于所述第一开闭阀并列设置的方式连接于所述气体排出管，该漏出部用于使所述气相侧区域的所述调整...

【专利技术属性】
技术研发人员：大井和美，齐藤政人，羽田尚树，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP