本发明专利技术涉及显示装置。本发明专利技术的课题为改善对水分的阻隔特性，从而实现可靠性高的有机EL显示装置。解决上述课题的手段为有机EL显示装置，其为在树脂基板(100)上形成有作为发光层的有机EL层(30)的有机EL显示装置，其特征在于，在所述有机EL层(30)与所述树脂基板(100)之间，形成有具有基底层和AlOx的阻隔层(10)，且较之所述AlOx，所述基底层形成于更靠近所述树脂基板(100)侧。
display device
The present invention relates to a display device. The present invention is an organic EL display device with high reliability. The means for the organic EL display device, which is in the resin substrate (100) is formed on the EL layer as an organic light-emitting layer (30) of the organic EL display device, which is characterized in that the organic EL layer (30) and the resin substrate (100), with the formation of a base layer and the barrier layer of AlOx (10), and compared with the AlOx, the base layer is formed closer to the resin substrate (100) side.
【技术实现步骤摘要】
显示装置
本专利技术涉及显示装置，尤其涉及可使基板弯曲的柔性显示装置。
技术介绍
有机EL显示装置、液晶显示装置通过将显示装置变薄，从而可使其柔性地弯曲而使用。该情况下，形成元件(element)的基板利用薄玻璃或薄树脂来形成。由于有机EL显示装置没有使用背光源(BackLight)，因此对薄型化来说是更有利的。对于反射型液晶显示装置也是同样的。有机EL显示装置中，构成发光层的有机EL材料因水分的存在而分解、性能劣化。因此，为了确保工作寿命，必须保护有机EL层使其不受水分的损害。作为对水分等的阻隔，一直以来使用的是硅氧化物SiO或硅氮化物SiN的层叠膜。另一方面，由于铝氧化物AlOx膜是透明的，因此被用于光学领域、电子设备领域。专利文献1中记载了Al2O3(包含于AlOx中)的密度越大，折射率越大。现有技术文献非专利文献非专利文献1：J.Vac.Sci.Technol.A12(2),321-322Mar/Apr1994
技术实现思路
专利技术要解决的课题一直以来被用作阻隔的SiO(以后本说明书中称作SiO的情况下，以SiO2为基本的结构，但通常表示偏离化学计量组成)、SiN(以后本说明书中称作SiN的情况下，以Si3N4为基本的结构，但通常表示偏离化学计量组成)有时作为保护有机EL层的阻隔是不充分的。此外，用作阻隔的膜的膜质也对阻隔性能产生较大影响。本专利技术的专利技术人发现，将AlOx(本说明书中称作AlOx的情况下，以Al2O3为基本的结构，通常表示偏离化学计量组成x＝1.5)用作阻隔膜时，根据AlOx的膜质的不同，对水分的阻隔性能也明显不同。本专利技术的课题在于实现在有机EL显示装置中保护有机EL层的阻隔性能优异、寿命特性和可靠性优异的有机EL显示装置。用于解决课题的手段本专利技术为克服上述课题的专利技术，代表手段如下所述。(1)有机EL显示装置，其为在树脂基板上形成有作为发光层的有机EL层的有机EL显示装置，其特征在于，在所述有机EL层与所述树脂基板之间，形成有具有基底层和AlOx的阻隔层，且较之所述AlOx，所述基底层形成于更靠近所述树脂基板侧。(2)有机EL显示装置，其为在第一树脂基板上形成有作为白色发光层的有机EL层的有机EL显示装置，其特征在于，在所述第一树脂基板上，形成有具有第一基底层和第一AlOx的第一阻隔层，较之所述第一AlOx，所述第一基底层形成于更靠近所述第一树脂基板侧，以覆盖所述有机EL层的方式配置有第二树脂基板，在所述第二树脂基板与所述有机EL层之间，形成有具有第二基底层和第二AlOx的第二阻隔层，较之所述第二AlOx，所述第二基底层形成于更靠近所述第二树脂基板侧，在所述第二阻隔层与所述有机EL层之间，形成有彩色滤光片(colorfilter)。(3)有机EL显示装置，其为在树脂基板上形成有作为发光层的有机EL层的有机EL显示装置，其特征在于，所述有机EL层被上部电极和下部电极夹持，所述下部电极不与构成反射膜的金属层接触，在所述下部电极与所述树脂基板之间，形成有具有所述金属层和AlOx的阻隔层，较之所述AlOx，所述金属层形成于更靠近所述树脂基板侧，所述金属层构成反射膜。附图说明图1为柔性显示装置的俯视图。图2为图1的A－A剖视图。图3为现有例的阻隔层的剖视图。图4为本专利技术的阻隔层的剖视图。图5为示出本专利技术的阻隔层形成工艺的图。图6为形成本专利技术的阻隔层的溅射装置的模式剖视图。图7为示出形成AlOx时的水分压与AlOx的折射率的关系的图。图8为示出实施例2的阻隔层的例子的剖视图。图9为示出本专利技术的效果的图。图10为对水蒸气透过率的测定方法进行说明的图。图11为有机EL显示装置的显示区域的详细剖视图。图12为示出实施例3的构成的有机EL显示装置的剖视图。图13为示出实施例4的构成的有机EL显示装置的剖视图。图14为示出实施例4的阻隔层的剖视图。图15为示出实施例4的阻隔层的其他例子的剖视图。图16为示出实施例5的构成的有机EL显示装置的剖视图。图17为示出形成实施例5的阻隔层的工艺的图。图18为示出形成实施例5的其他例子的阻隔层的工艺的图。附图标记说明1…第一保护膜、2…第二保护膜、10…第一阻隔层、11…基底层、12…AlOx层、13…SiO层、14…SiN层、15…SiO层、20…阵列层、21…引出线、22…钝化膜、30…有机EL层、40…第二阻隔层、50…粘接材料、60…坝体、70…第三阻隔层、100…聚酰亚胺基板、102…半导体层、103…栅极绝缘膜、104…栅电极、105…层间绝缘膜、106…漏电极、107…源电极、108…有机钝化膜、109…反射膜、110…下部电极、111…堤、112…有机EL层、113…上部电极、150…端子部、200…偏振片、300…柔性布线基板、400…第二聚酰亚胺基板、410…彩色滤光片、420…覆盖膜、500…玻璃基板具体实施方式以下利用实施例对本专利技术的内容进行详细说明。[实施例1]图1为本专利技术适用的有机EL显示装置的俯视图。本专利技术的有机EL显示装置为可柔性地弯曲的显示装置。图1中，有机EL显示装置具有显示区域1000和端子部150，显示区域1000贴附有用于防止反射的偏振片200。端子部150上连接有用于向有机EL显示装置供给电源、信号的柔性布线基板300。图2为图1的A－A剖视图。在聚酰亚胺基板100上形成有显示区域、端子部。聚酰亚胺基板100厚度为10μm至20μm，可柔性地弯曲。如下所述，聚酰亚胺基板100通过在玻璃基板上涂布材料并进行烧成而形成。由于聚酰亚胺基板100的厚度薄，因而形状不稳定，由此在其背面贴附有第一保护膜1。第一保护膜1由PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、丙烯酸树脂形成，厚度为0.1mm～0.2mm左右。图2中，在聚酰亚胺基板100上形成有第一阻隔层10。第一阻隔层10用于保护有机EL层30使其免受水分等的损害。在阻隔层10上形成有阵列层20，所述阵列层20为了对形成于各像素的有机EL层的发光进行控制而具有TFT等。在阵列层20上形成有包含发光层的有机EL层30。以覆盖有机EL层30的方式形成有由SiN等形成的第二阻隔层40。第二阻隔层40也保护有机EL层使其免受来自外部的水分等的损害。以覆盖第二阻隔层40的方式形成有用于粘接第二保护膜2的环氧系的粘接材料50。该粘接材料50为紫外线固化树脂，由于其最初为液体，因此在显示区域的周围预先形成有坝体60，以使得粘接材料50不流至外侧。该坝体60由速干性的环氧系的树脂形成。第二保护膜2机械性地保护有机EL层，由PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)、丙烯酸树脂形成，厚度为0.1mm左右。以覆盖第二保护膜2的方式贴附有偏振片200。由于顶部发光型的有机EL显示装置具有反射电极，因此反射来自外部的光。偏振片200用于防止外部光的反射。图2中，使用构成阵列层20的金属而形成的引出线21从显示区域延伸至端子部，第二阻隔层40以覆盖引出线21的方式延伸至端子部的局部。端子与用于向有机EL显示装置供给电源、信号的柔性布线基板300连接。因为本专利技术中的显示区域是柔性的、厚度薄，因此图2中，柔性布线基板300的厚度是被相对较厚地描绘的。本实施例的特征在于第一阻隔层10的构成。由于有机EL层不耐受水分，因此有必要本文档来自技高网...
【技术保护点】
有机EL显示装置，其为在树脂基板上形成有作为发光层的有机EL层的有机EL显示装置，其特征在于，在所述有机EL层与所述树脂基板之间，形成有具有基底层和AlOx的阻隔层，且较之所述AlOx，所述基底层形成于更靠近所述树脂基板侧。
【技术特征摘要】
2016.05.23 JP 2016-1024721.有机EL显示装置，其为在树脂基板上形成有作为发光层的有机EL层的有机EL显示装置，其特征在于，在所述有机EL层与所述树脂基板之间，形成有具有基底层和AlOx的阻隔层，且较之所述AlOx，所述基底层形成于更靠近所述树脂基板侧。2.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述树脂基板是由聚酰亚胺形成的。3.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述基底层为金属。4.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述基底层为Al。5.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述基底层为SiO层、SiN层、或者SiO与SiN的层叠膜。6.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述阻隔层还包含SiO层、SiN层中的任一者、或者SiO与SiN的层叠膜。7.如权利要求1所述的有机EL显示装置，其特征在于，以覆盖所述有机EL层的方式配置有保护膜，在所述保护膜与所述有机EL层之间形成有具有第二基底层和第二AlOx的第二阻隔层，且较之所述第二AlOx，所述第二基底层形成于更靠近所述保护膜侧。8.如权利要求7所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第二基底层是由Al形成的。9.如权利要求7所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第二基底层为SiO层、SiN层中的任一者、或者SiO与SiN的层叠膜。10.如权利要求7所述的有机EL显示装置，其特征在于，所述第二阻隔层还包含SiO层、SiN层中的任一者、或者SiO与SiN的层叠膜。11.如权利要求7所述的有机EL显示装置，其特征在于，在所述第二阻隔层与所述有机EL层之间形成有彩色滤光片。12.如权利要求7所述的有机EL显示装置，其特征在于，在所述保护膜与所述有机EL层之间形成有聚酰亚胺基板，所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡部一史，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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