一种按需式无接触多场调控多孔制备液态金属微滴的装置制造方法及图纸

一种按需式无接触多场调控多孔制备液态金属微滴的装置，涉及一种微喷装置。提供适用于液态金属(或导电液体)的气压和电磁联合驱动多孔制备微滴的实验装置。设有电磁铁、质量流量计、储液腔、陶瓷装置、信号源、功率放大器、真空泵、氩气罐、连接导液管的上盖板和带多孔喷嘴的下盖板。喷射腔固定在电磁铁之间，陶瓷结构设有电极和喷射腔，陶瓷结构和上下盖板组成的喷头处于负压环境中；电极置于腔体内部，并用螺母压紧导线，保证电流均匀分布；通过信号源和功率放大器产生信号可变的多种驱动电信号。

A device for preparing liquid metal microdroplets by non contact multi field regulation of demand type

A device for preparing liquid metal microdroplets by a multi field controlled porous multi field regulation, which relates to a micro spray device. An experimental device for the preparation of microdroplets for a porous metal (or conducting liquid) with a pressure and electromagnetic combined drive. It is equipped with electromagnet, mass flowmeter, liquid storage cavity, ceramic device, signal source, power amplifier, vacuum pump, argon tank, upper cover plate connecting liquid guide pipe and lower cover plate with porous nozzles. The jet cavity is fixed on the electromagnet between electrode and ceramic structure with cavity injection nozzle, ceramic structure and upper plate in vacuum environment; internal electrodes placed in the cavity, and nut pressing wire, to ensure uniform current distribution; a variety of signal generated by the signal source and variable power amplifier drive signal.

【技术实现步骤摘要】
一种按需式无接触多场调控多孔制备液态金属微滴的装置
本专利技术属于微喷射装置
，尤其涉及电子封装用液态金属(GaIn合金)的多场调控微滴喷射。
技术介绍
随着电子封装技术的发展，电子封装技术对产生大小可控的多孔微喷射技术需求越来越多。微液喷射技术广泛应用在芯片固定、芯片封装。在封装技术中，多孔微喷射技术可显著提高密封效率。这项技术以一种按需可控的方式多滴同时对液态金属进行精确分配，以实现元器件之间的机械或电器连接。目前，按需喷射模式的微喷射装置主要有接触式驱动(压电式，气压驱动式等)。中国专利CN200610138558.1公开了一种气压脉冲式微滴按需驱动制备系统，该装置制备微滴频率较低且用于单孔喷射，不能用于多孔喷射。中国专利CN200910305515.1公开了一种气动膜片式微滴喷射方法及装置，该方法制备微滴的频率为5HZ且用于单孔喷射。中国专利CN201620228328.3公开了一种按需供料电液动力微喷装置，该方法难以实现溶液微喷的精确控制，极大的限制了该技术的快速应用和发展。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供适用于金属液体多孔按需喷射的一种无接触多场调控多孔制备金属液本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种按需式无接触多场调控多孔制备液态金属微滴的装置，其特征在于，设有电磁铁(15)、质量流量计(3)、储液腔(4)、陶瓷装置(7)、信号发生器(13)、功率放大器(14)、真空泵(22)、保护气罐(1)、具有空腔结构的上盖板(6)、带多孔喷嘴的下盖板(12)、四通管(23)、负压腔(24)、气瓶(25)。保护气罐(1)通过导气管、质量流量计(3)与储液腔(4)连通，储液腔(4)通过导液管(5)与具有空腔结构的上盖板(6)的空腔连通，上盖板(6)为长方体结构，长方体内有空腔，长方体结构的一个端面设有通孔与导液管(5)连接，长方体结构的一个侧面或下表面中间设有小通孔(31)，设有小通孔(26)的下...

【技术特征摘要】
1.一种按需式无接触多场调控多孔制备液态金属微滴的装置，其特征在于，设有电磁铁(15)、质量流量计(3)、储液腔(4)、陶瓷装置(7)、信号发生器(13)、功率放大器(14)、真空泵(22)、保护气罐(1)、具有空腔结构的上盖板(6)、带多孔喷嘴的下盖板(12)、四通管(23)、负压腔(24)、气瓶(25)。保护气罐(1)通过导气管、质量流量计(3)与储液腔(4)连通，储液腔(4)通过导液管(5)与具有空腔结构的上盖板(6)的空腔连通，上盖板(6)为长方体结构，长方体内有空腔，长方体结构的一个端面设有通孔与导液管(5)连接，长方体结构的一个侧面或下表面中间设有小通孔(31)，设有小通孔(26)的下表面或侧面紧贴固定组合有长方体陶瓷装置(7)，长方体陶瓷装置(7)的下表面设有电极放置孔(8)和喷射腔(9)，两个电极放置孔(8)通过喷射腔(9)连通；喷射腔(9)设有直通上表面的小通孔，此喷射腔(9)小通孔与长方体结构的小通孔相对并连通(长方体陶瓷装置(7)的上表面和下表面是相对的两个表面)；长方体陶瓷装置(7)的下表面紧贴固定有带多...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷永平，王同举，张楠，林健，符寒光，夏志东，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：北京,11