靶材固定装置及靶材固定方法制造方法及图纸
Fixing device for target and fixing method of target
The invention relates to a fixing device for the target, the target in the process of replacement is fixed, the target fixing device comprises a substrate and a surface layer, wherein the surface layer comprises a first surface and a second surface opposite to the first surface, the surface layer and the target are placed on the substrate, and the target the adsorption layer attached to the surface of the first surface of the mirror layer, the second surface of the substrate. The objective of the invention is to adsorb and fix the target material through the mirror surface. It can only remove the target material from the substrate when replacing the target material, thereby increasing the service life of the substrate, saving time and reducing the cost of replacing the target material.
【技术实现步骤摘要】
靶材固定装置及靶材固定方法
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种靶材固定装置及靶材固定方法。
技术介绍
在薄膜材料制备过程中，需利用高速的离子流去轰击固体表面，被轰击的固体称为靶材，当靶材消耗完毕后，需要更换靶材，一般的做法为将粘结有旧靶材的基板拆下，将基板上剩余的旧靶材剥离，之后使用锡铟合金作为粘结剂，将新靶材粘附到基板上，如此反复使用。而基板再利用的方式需经过旧靶材剥离、粘结剂融化、新靶材再贴附等过程，此过程会导致基板在多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种靶材固定装置以及一种靶材固定的方法，用以解决靶材更换过程中，基板经多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本的问题。本专利技术提供一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。其中，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固...
【技术保护点】
一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。
【技术特征摘要】
1.一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。2.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固定。3.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。4.如权利要求3所述的靶材固定装置，其特征在于，所述第一驱动件为气缸或者马达。5.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括支撑体以及第二驱动件，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：易天华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42
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