靶材固定装置及靶材固定方法制造方法及图纸

本发明专利技术一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。本发明专利技术通过镜面层镜面吸附固定所述靶材的方式，可以实现更换所述靶材时，只需要将所述靶材从所述基板上拆除，进而增加了基板的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材所需成本。

Fixing device for target and fixing method of target

The invention relates to a fixing device for the target, the target in the process of replacement is fixed, the target fixing device comprises a substrate and a surface layer, wherein the surface layer comprises a first surface and a second surface opposite to the first surface, the surface layer and the target are placed on the substrate, and the target the adsorption layer attached to the surface of the first surface of the mirror layer, the second surface of the substrate. The objective of the invention is to adsorb and fix the target material through the mirror surface. It can only remove the target material from the substrate when replacing the target material, thereby increasing the service life of the substrate, saving time and reducing the cost of replacing the target material.

【技术实现步骤摘要】
靶材固定装置及靶材固定方法
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种靶材固定装置及靶材固定方法。
技术介绍
在薄膜材料制备过程中，需利用高速的离子流去轰击固体表面，被轰击的固体称为靶材，当靶材消耗完毕后，需要更换靶材，一般的做法为将粘结有旧靶材的基板拆下，将基板上剩余的旧靶材剥离，之后使用锡铟合金作为粘结剂，将新靶材粘附到基板上，如此反复使用。而基板再利用的方式需经过旧靶材剥离、粘结剂融化、新靶材再贴附等过程，此过程会导致基板在多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本。
技术实现思路
本专利技术提供一种靶材固定装置以及一种靶材固定的方法，用以解决靶材更换过程中，基板经多次剥离后使用寿命减短，增加靶材更换成本的问题。本专利技术提供一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。其中，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固定。其中，所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。其中，所述第一驱动件为气缸或者马达。其中，所述靶材固定装置还包括支撑体以及第二驱动件，所述支撑体支撑所述基板，所述第二驱动件连接于所述支撑体，用以驱动所述支撑体上升以及下降。其中，所述第二驱动件可以是气缸或者马达。其中，所述靶材固定装置还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动件以及第二驱动件的启动以及关闭。本专利技术还提供一种靶材固定的方法，包括：对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁；将靶材压合到清洁后的所述镜面层表面；采用所述陶瓷定位架定位所述靶材。其中，对所述靶材固定装置中的镜面层进行清洁的步骤之前还包括采用支撑体支撑基板的方式以及采用夹具夹紧所述基板相对两侧的方式接收吸附有所述靶材的所述靶材固定装置。其中，所述镜面层为钛合金镜面层。综上所述，本专利技术的所述靶材固定装置将所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，使得所述靶材吸附贴合于所述镜面层的第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合，实现了更换所述靶材时，只需将所述靶材从所述基板上拆除，进而增加了基板的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材所需成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例靶材固定装置的截面示意图，其中包括了靶材。图2是本专利技术实施例所述靶材固定装置的另一实施例结构示意图，其中包括了靶材。图3是图2所示的所述靶材固定装置的截面示意图，其中包括了靶材。图4是图1中靶材与镜面层镜面吸附过程第一种状态结构示意图。图5是图1中靶材与镜面层镜面吸附过程第二种状态结构示意图。图6是图1中靶材与镜面层镜面吸附过程第三种状态机构示意图。图7是实施例中所述的靶材固定方法流程图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，本专利技术提供一种靶材固定装置，用于靶材1在更换过程中的固定，所述靶材固定装置包括基板2以及镜面层3，所述镜面层3包括第一表面31以及与所述第一表面31相对的第二表面32，所述镜面层3与所述靶材1依次放置于所述基板2上，且所述靶材1吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面31，所述镜面层2的所述第二表面32与所述基板2贴合。在本实施例中，所述镜面层3为钛合金镜面层。其有益效果在于：所述镜面层3镜面吸附固定所述靶材1的方式，可以实现更换所述靶材1时，只需要将所述靶材1从所述基板2上拆除，进而增加了基板2的使用寿命，同时节约时间，减少更换靶材1所需成本。所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。进一步地，所述夹具位于所述基板2的相对两侧，用于夹紧或松弛所述基板2。所述靶材固定装置还包括支撑体4以及第二驱动件，所述支撑体4支撑所述基板2，所述第二驱动件连接于所述支撑体4，用以驱动所述支撑体4上升以及下降。在本实施例中，所述支撑体4位于所述基板2正下方，支撑所述基板2，且可以带动所述基板2上升以及下降。进一步地，所述第一驱动件以及所述第二驱动件可以是气缸或者马达。当需要更换靶材时，所述夹具以及所述支撑体4配合以接收吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置。具体为，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板2的相对两侧，所述支撑体4支撑所述基板2，所述第二驱动件带动所述支撑体4下降，进而带动所述吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置下降，待所述吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置下降到操作室预设高度时，所述支撑体4停止下降，所述夹具松弛所述基板2的相对两侧，所述靶材1开始更换，待所述靶材1更换结束后，所述夹具重新夹紧所述基板2的相对两侧，所述第二驱动件驱动所述支撑体5上升，进而带动吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置上升到操作室预设另一高度时，所述支撑体4停止上升，吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置被取走。所述靶材固定装置还包括控制装置，所述控制装置用于控制所述第一驱动件以及第二驱动件的启动以及关闭。具体为，所述靶材1需要更换时，所述控制装置控制所述第一驱动件以及第二驱动件开启；当吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置下降到操作室预设高度时，所述控制装置控制所述第一驱动件以及第二驱动件关闭。所述靶材1更换结束后，所述控制装置控制所述第一驱动件以及第二驱动件重新开启，当吸附有所述靶材1的所述靶材固定装置上升到操作室预设另一高度时，所述控制装置控制所述第一驱动件以及第二驱动件关闭。请参阅图2、图3，在本专利技术另一实施例中，所述基板2的周缘设有陶瓷定位架5，所述陶瓷定位架5定位于所述基板2的周缘且将所述靶材1固定。具体为，所述陶瓷定位架5设置于所述基板2的四周，且所述陶瓷定位架5配置于所述靶材1的周缘，所述陶瓷定位架5远离所述基板2的一端具有一凸起51，所述陶瓷定位架5的所述凸起51贴合部分所述靶材1以固定所述靶材1，进而实现所述陶瓷定位架5可以进一步固定所述靶材1。本专利技术还提供一种利用所述靶材固定装置固定靶材的方法，包括：步骤1，对所述靶材固定装置中的镜面层3进行清洁；步骤2，将靶材1压合到清洁后的所述镜面层3表面；步骤3，采用所述陶瓷定位架5定位所述靶材1。进一步地，对所述靶材固定装置中的镜面层3进行清洁的步骤之前还包括将所述靶材固定装置中的陶瓷定位架5以及靶材1拆除。在本步骤中，所述靶材1为待拆除的旧靶材。进一步地，将所述靶材固定装置中的陶瓷定位架5以及靶材1拆除的步骤之前还包括采用支撑体4支撑基板2的方式以及采用夹具夹紧所述基板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。

【技术特征摘要】
1.一种靶材固定装置，用于靶材在更换过程中的固定，其特征在于，所述靶材固定装置包括基板以及镜面层，所述镜面层包括第一表面以及与第一表面相对的第二表面，所述镜面层与所述靶材依次放置于所述基板上，且所述靶材吸附贴合于所述镜面层的所述第一表面，所述镜面层的所述第二表面与所述基板贴合。2.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述基板的周缘设有陶瓷定位架，所述陶瓷定位架定位于所述基板的周缘且将所述靶材固定。3.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括夹具以及第一驱动件，所述第一驱动件连接于所述夹具，所述第一驱动件驱动所述夹具夹紧所述基板相对两侧。4.如权利要求3所述的靶材固定装置，其特征在于，所述第一驱动件为气缸或者马达。5.如权利要求1所述的靶材固定装置，其特征在于，所述靶材固定装置还包括支撑体以及第二驱动件，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：易天华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42