The present invention provides a spray device for cleaning the glass substrate, which comprises a nozzle and the nozzle in the transmission platform, transfer platform above the nozzle comprises a water inlet pipe, buffer, buffer support bracket and two nozzles, including buffer buffer cavity and two opposite and a buffer cavity communicated with the outlet end of the water. The tube is located between the two outlet and the buffer chamber, two nozzles are located at the outlet end, and connected with the buffer cavity, two nozzle forms an angle setting, the water inlet pipe into the liquid through the buffer cavity respectively into two outlet and the nozzle, the spray liquid on the two-way two nozzle outlet pressure at the same time reduced, to ensure that the two-way spray liquid outflow pressure perpendicular to the glass substrate pressure force will not weaken the glass substrate surface film quality impact on the extent of agreement, The bad rate of glass substrate is reduced.
【技术实现步骤摘要】
喷头、喷淋装置以及喷淋方法
本专利技术涉及显示器制造
,特别涉及一种喷头、喷淋装置以及喷淋方法。
技术介绍
在有机发光二极管制程中会使用HPMJ(HighPressureMicroJet,高压微射流)设备进行清洗产品表面的细颗粒。一般制程使用的压力为8-10Mpa,强大压力冲洗产品表面的细颗粒时,会因HPMJ设备的喷嘴出口压力过大,作用于产品表面的力不均匀,进而导致产品表面膜质受冲击程度不一致,引发后续产品出现与HPMJ相关的不良。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种喷头、喷淋装置以及喷淋方法,解决了从喷嘴喷出的液体压力过大,作用于产品表面的力不均匀导致产品表面膜质受冲击程度不一致的技术问题。本专利技术提供了一种喷头,包括进水管、缓冲器以及两个喷嘴,所述缓冲器包括缓冲腔和两个相对的与缓冲腔连通的出口端,所述进水管位于两个所述出口端之间与所述缓冲腔连通,所述两个喷嘴分别位于所述出口端,并且与所述缓冲腔连通,两个所述喷嘴呈一夹角设置,所述进水管进入的液体经所述缓冲腔分别流向两个所述出口端并经所述喷嘴喷出。其中,所述两个喷嘴中心轴之间的夹角小于等于90°。其中,所述缓冲腔呈向下弯着折的弧形,所述进水管连接于所述缓冲腔的弧形顶部并与所述缓冲腔连通。本专利技术提供了一种喷淋装置,用于对玻璃基板的清洗,包括喷头及传输平台,所述喷头位于所述传输平台上方,所述喷头包括进水管、缓冲器以及两个喷嘴,所述缓冲器包括缓冲腔和两个相对的与所述缓冲腔连通的出口端,所述进水管位于两个所述出口端之间与所述缓冲腔连通,所述两个喷嘴分别位于所述出口端,并且与所述缓冲腔连通,两个所述 ...
【技术保护点】
一种喷头,其特征在于,包括进水管、缓冲器以及两个喷嘴,所述缓冲器包括缓冲腔和两个相对的与缓冲腔连通的出口端,所述进水管位于两个所述出口端之间与所述缓冲腔连通,所述两个喷嘴分别位于所述出口端,并且与所述缓冲腔连通,两个所述喷嘴呈一夹角设置,所述进水管进入的液体经所述缓冲腔分别流向两个所述出口端并经所述喷嘴喷出。
【技术特征摘要】
1.一种喷头,其特征在于,包括进水管、缓冲器以及两个喷嘴,所述缓冲器包括缓冲腔和两个相对的与缓冲腔连通的出口端,所述进水管位于两个所述出口端之间与所述缓冲腔连通,所述两个喷嘴分别位于所述出口端,并且与所述缓冲腔连通,两个所述喷嘴呈一夹角设置,所述进水管进入的液体经所述缓冲腔分别流向两个所述出口端并经所述喷嘴喷出。2.根据权利要求1所述的喷头,其特征在于,所述两个喷嘴中心轴之间的夹角小于等于90°。3.根据权利要求1所述的喷头,其特征在于,所述缓冲腔呈向下弯折的弧形,所述进水管连接于所述缓冲腔的弧形顶部并与所述缓冲腔连通。4.一种喷淋装置,用于对玻璃基板的清洗,其特征在于,包括喷头及传输平台,所述喷头位于所述传输平台上方,所述喷头包括进水管、缓冲器以及两个喷嘴,所述缓冲器包括缓冲腔和两个相对的与所述缓冲腔连通的出口端,所述进水管位于两个所述出口端之间与所述缓冲腔连通,所述两个喷嘴分别位于所述出口端,并且与所述缓冲腔连通,两个所述喷嘴呈一夹角设置,所述进水管进入的液体经所述缓冲腔分别流向两个所述出口端并经所述喷嘴喷出,以清洗所述玻璃基板的不同区域。5.根据权利要求4所述的喷淋装置,其特征在于,所述传输平台包括平行间隔设置的多个第一传送滚轴以及套设于每一所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:谢锐,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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