The utility model discloses a high-efficiency vacuum plating with mixed electroplating device, including assembling door, vacuum coating machine, cylindrical rake, workpiece rotating frame, wherein the door assembly is provided with a planar rake, the vacuum coating machine and assembling door fixed, the cylindrical rake ring is arranged on the turntable above the workpiece rotation frame and vacuum coating machine through the connecting shaft is fixed, and the connection between the shaft and the top wall is provided with a bearing vacuum coating machine. The utility model by installing plane rake in cylindrical rake in lateral arc source under the action of the first target plating to second target, then sputtered onto the surface of workpiece, forming different color effect and improve the wear-resisting degree, a bias power supply interface is arranged between the planar rake and assembling door, to provide positive and negative bias for the workpiece in the coating process in the change of electroplating colors in rotary stepper motor drives, the cylindrical rotating rake plating, arbitrary surface, can cover the products reasonable structure, suitable for wide popularization.
【技术实现步骤摘要】
一种具有混镀的高效真空电镀装置
本技术涉及真空镀膜设备
,特别涉及一种具有混镀的高效真空电镀装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,但是已有的镀膜设备的耙材安装于炉内两边或者单边,耙与耙有一定的距离,混合的均匀度不均,难控制,致使调机次数频繁,浪费人力、物力及材料,使得电镀的金属材料不均匀,颜色也不明显,无法达到高效镀膜的效果,大大提高了企业的经营成本,也降低生产的效率。因此我们对此做出改进,提出一种具有混镀的高效真空电镀装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种具有混镀的高效真空电镀装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种具有混镀的高效真空电镀装置,包括拼装门、真空镀膜机、圆柱耙和工件转架,所述拼装门一端安装有平面耙,所述平面耙一侧设置有弧源,且平面耙上放置有第一靶材,所述弧源连接在固定板侧面,所述固定板顶端设有弧源电源,所述弧源电源一侧设有靶材电源,所述真空镀膜机与拼装门固定,且真空镀膜机外围固定安装有真空系统,所述圆柱耙环设在转盘上方,且圆柱耙上放置有第二靶材,所述转盘底部焊接有旋转轴,所述旋转轴一点固定在步进电机输出端,所述步进电机安装在底座内,所述工件转架与真空镀膜机之间通过连接轴固定,且连接轴顶端与真空镀膜机内壁之间设有轴承。进一步地,所述平面耙与拼装门之间安装有偏压电源接口。进一步地,所述第一靶材和第二靶材为不 ...
【技术保护点】
一种具有混镀的高效真空电镀装置,包括拼装门(1)、真空镀膜机(5)、圆柱耙(7)和工件转架(14),其特征在于:所述拼装门(1)一端安装有平面耙(2),所述平面耙(2)一侧设置有弧源(3),且平面耙(2)上放置有第一靶材(11),所述弧源(3)连接在固定板(16)侧面,所述固定板(16)顶端设有弧源电源(8),所述弧源电源(8)一侧设有靶材电源(9),所述真空镀膜机(5)与拼装门(1)固定,且真空镀膜机(5)外围固定安装有真空系统(4),所述圆柱耙(7)环设在转盘(6)上方,且圆柱耙(7)上放置有第二靶材(15),所述转盘(6)底部焊接有旋转轴(18),所述旋转轴(18)一点固定在步进电机(19)输出端,所述步进电机(19)安装在底座(17)内,所述工件转架(14)与真空镀膜机(5)之间通过连接轴(13)固定,且连接轴(13)顶端与真空镀膜机(5)内壁之间设有轴承(12)。
【技术特征摘要】
1.一种具有混镀的高效真空电镀装置,包括拼装门(1)、真空镀膜机(5)、圆柱耙(7)和工件转架(14),其特征在于:所述拼装门(1)一端安装有平面耙(2),所述平面耙(2)一侧设置有弧源(3),且平面耙(2)上放置有第一靶材(11),所述弧源(3)连接在固定板(16)侧面,所述固定板(16)顶端设有弧源电源(8),所述弧源电源(8)一侧设有靶材电源(9),所述真空镀膜机(5)与拼装门(1)固定,且真空镀膜机(5)外围固定安装有真空系统(4),所述圆柱耙(7)环设在转盘(6)上方,且圆柱耙(7)上放置有第二靶材(15),所述转盘(6)底部焊接有旋转轴(18),所述旋转轴(18)一点固定在步进电机(19)输出端,所述步进电机(19)安装在底座(17)内,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:张玉西,
申请(专利权)人:深圳市宏基真空镀膜有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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