The utility model discloses an electrostatic chuck comprises a reaction chamber, sealed, the top end of the reaction chamber is provided with an air inlet, the bottom of the reaction chamber is arranged at the other end of the exhaust port, an air inlet communicated with the reaction gas supply device, the air outlet is communicated with the exhaust pump; the lower part of the reaction chamber inlet is provided with base plate, a first insulating layer, a second insulating the adsorption layer and the electrode, a first insulating layer above the base plate, a second insulating layer is located on the first insulating layer above the adsorption electrode is located between the first insulating layer and the second insulating layer; adsorption electrode voltage regulator, voltage regulating device is arranged on the side wall of the reaction chamber, a second insulating layer on the substrate. The silicon dioxide layer can be deposited on the surface of the wafer. It can limit the flow path of silica, and make the silica easier to deposit on the substrate, thus improving the production efficiency of the chip.
【技术实现步骤摘要】
一种静电吸盘
本技术涉及一种静电吸盘,属于半导体气相沉积设备耗材
技术介绍
在以与半导体制造工艺有关的离子注入装置、离子掺杂装置、等离子体浸没装置为代表的、使用了电子束、极紫外线(EUV)光刻等的曝光装置、硅晶片等的晶片检查装置等各种装置等中,为了吸附/保持半导体基板而使用了静电吸盘。另外,在液晶制造领域中,在对玻璃基板等进行液晶的压入时使用的基板层压装置、离子掺杂装置等中,为了吸附/保持绝缘基板而使用了静电吸盘。目前我国进口的最大宗贸易物品是芯片,超2000多亿美元/年,在芯片制造流程中,IC制程设备最为重要,而发达国家又对中国实行技术封锁。CVD的英文是ChemicalVaporDep.是IC晶圆生产过程中使用化学气相沉积方法使二氧化硅层沉积在晶圆表面的关键过程,而这一过程没有CVD静电吸盘是做不到的,因静电吸盘高容差及超强导热性能,可以使二氧化硅层不断成长,形成多次沉积。目前该产品完全依赖进口且价格昂贵。
技术实现思路
本技术的目的在于,提供一种静电吸盘,采用本装置能够二氧化硅层沉积在晶圆表面。为解决上述技术问题,本技术采用如下的技术方案:一种静电吸盘,包括密封的反应仓,反应仓的顶部一端设有进气口,反应仓的底部另一端设有排气口,进气口连通反应气体供应装置,排气口连通排气泵;反应仓内进气口的下方设有基盘、第一绝缘层、第二绝缘层和吸附电极,第一绝缘层位于基盘的上方,第二绝缘层位于第一绝缘层的上方,吸附电极位于第一绝缘层和第二绝缘层之间;吸附电极接有电压调节装置,电压调节装置安装在反应仓的侧壁外,第二绝缘层上放有基板。前述的一种静电吸盘中,排气口的上方设 ...
【技术保护点】
一种静电吸盘,其特征在于,包括密封的反应仓(5),反应仓(5)的顶部一端设有进气口(2),反应仓(5)的底部另一端设有排气口(6),进气口(2)连通反应气体供应装置(1),排气口(6)连通排气泵(7);反应仓(5)内进气口(2)的下方设有基盘(8)、第一绝缘层(13)、第二绝缘层(11)和吸附电极(12),第一绝缘层(13)位于基盘(8)的上方,第二绝缘层(11)位于第一绝缘层(13)的上方,吸附电极(12)位于第一绝缘层(13)和第二绝缘层(11)之间;吸附电极(12)接有电压调节装置(14),电压调节装置(14)安装在反应仓(5)的侧壁外,第二绝缘层(11)上放有基板(9)。
【技术特征摘要】
1.一种静电吸盘,其特征在于,包括密封的反应仓(5),反应仓(5)的顶部一端设有进气口(2),反应仓(5)的底部另一端设有排气口(6),进气口(2)连通反应气体供应装置(1),排气口(6)连通排气泵(7);反应仓(5)内进气口(2)的下方设有基盘(8)、第一绝缘层(13)、第二绝缘层(11)和吸附电极(12),第一绝缘层(13)位于基盘(8)的上方,第二绝缘层(11)位于第一绝缘层(13)的上方,吸附电极(12)位于第一绝缘层(13)和第二绝缘层(11)之间;吸附电极(12)接有电压调节装置(14),电压调节装置(14...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘国家,
申请(专利权)人:中山市思考电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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