一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨制造技术

本实用新型专利技术公开一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，包括承载段、过渡段和连接段，承载段为弧形管壳，连接段为石英空心管，过渡段的两端分别连接承载段和连接段，连接段底部设置有固定柱，固定柱的中心线与弧形管壳的轴线平行，本实用新型专利技术解决了现有技术中石英桨的强度以及耐久性的技术问题。

A highly loaded quartz propeller for semiconductor bulk diffusion

The utility model discloses a semiconductor bulk diffusion with strong load quartz oar, including bearing section, transition section and a connecting section, bearing section of curved shell, connecting section for quartz hollow tube, both ends of the transition section are respectively connected with the bearing section and a connecting section, the connecting section is arranged at the bottom part of the fixed column, the center of the axis line fixed column and arc tube shell in parallel, the utility model solves the strength of quartz oar in the existing technology and technical problems of durability.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨
本技术涉及半导体工艺装置
，尤其涉及一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨。
技术介绍
在半导体扩散工艺中，硅片是放在高温石英管内进行杂质扩散的，载片的石英舟是由石英桨传送到石英管的特定位置上的，具体讲，石英桨一端与扩散炉的推拉机构相连，特定的程序设计把石英桨在规定的时间内推入到扩散炉的指定位置，放下载片石英舟然后再撤出石英桨，完成一次批量硅片的进炉；当扩散完成之后，石英桨再由推拉机构推入石英管内，托起载片石英舟，按设置的程序拉出载片石英舟的浆，冷却，完成一次扩散过程。现有的石英桨是一种石英管加工成与横截面为弧形悬臂梁的连接。可分为四个部分：承载段、过渡段、连接段和加强段，承载段用于承载硅片，连接段与扩散炉的推拉传送装置控制相连，按规定的程序传送，而加强段是在承载段的中部还设计了一条烧焊的石英板状加强筋，以期得到预期的增多载片量、整体牢固的效果，但是在实际使用过程中，发现这种有加强筋的桨结构难以长期承受每次2批芯片的重量，在长期的承重和高温的作用下，桨就很容易断裂，不仅如此，由于桨的断裂带来的是桨上的石英舟或硅片同时被打碎，从而给公司带来较大的损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，解决了现有技术中石英桨的强度以及耐久性的技术问题。一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，包括承载段、过渡段和连接段，所述承载段为弧形管壳，所述连接段为石英空心管，所述过渡段的两端分别连接承载段和连接段，所述连接段底部设置有固定柱，所述固定柱的中心线与弧形管壳的轴线平行。在上述技术方案的基础上，本技术还可以做如下改进：进一步地，所述过渡段为圆弧形，采用本步的有益效果是便于承载硅片。进一步地，所述承载段的末端设置有倒角。进一步地，所述承载段壁的厚度自承载段的连接端至自由端呈线性递减，采用本步的有益效果是不仅增加了承载强度，而且能够有效防止变形。进一步地，所述承载段的圆心角为100-120°。本技术的有益效果：本技术为一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，去除了现有技术中的加强段，而且本技术还在连接段的下方设置有固定柱，这样就能限定住本技术的位置，保证每次清洗过后石英桨的位置一致，并使石英桨与扩散炉推拉机构契合，方便与推拉机构联动；本技术将所述承载段的厚度设计为递减，这样不仅能够增加承载段的强度，同时还能防止石英桨变形。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施例所述的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨的结构示意图；图2为本技术具体实施例所述的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨的剖视图；图3为本技术具体实施例所述的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨的连接段的左视图；图4为本技术具体实施例所述的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨的承载段的右视图；附图标记：1-承载段；2-过渡段；3-连接段；4-固定柱。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1-4所示，本技术所提供的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，包括承载段1、过渡段2和连接段3，所述承载段1为弧形管壳，所述连接段3为石英空心管，所述过渡段2的两端分别连接承载段1和连接段3，所述连接段3底部设置有固定柱4，所述固定柱4的中心线与弧形管壳的轴线平行；本技术中承载段的横截面为弧形，可插入石英舟底部的空间把载片石英舟托起来，悬空推入扩散炉的恒温区，完成按要求将载片石英舟的传送；本技术中还通过固定柱保证每次清洗过后石英桨的位置一致，并使石英桨与扩散炉推拉机构契合，方便与推拉机构联动。其中，所述过渡段2为圆弧形，这样有利于承载硅片。其中，所述承载段1的末端设置有倒角。其中，所述承载段1壁的厚度自承载段1的连接端至自由端呈线性递减，这样不仅增加了承载强度，而且能够有效防止变形，本技术中将以前承载段1厚度由5mm改为了从6mm到5mm逐渐递减。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，其特征在于,包括承载段、过渡段和连接段，所述承载段为弧形管壳，所述连接段为石英空心管，所述过渡段的两端分别连接承载段和连接段，所述连接段底部设置有固定柱，所述固定柱的中心线与弧形管壳的轴线平行。

【技术特征摘要】
1.一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，其特征在于,包括承载段、过渡段和连接段，所述承载段为弧形管壳，所述连接段为石英空心管，所述过渡段的两端分别连接承载段和连接段，所述连接段底部设置有固定柱，所述固定柱的中心线与弧形管壳的轴线平行。2.根据权利要求1所述的一种半导体批量扩散用的强负荷石英桨，其特征在于,所述过渡段为圆弧形。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：刘美蓉，魏守国，李本想，陈月秋，陈美玲，
申请(专利权)人：扬州晶新微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32