多晶硅还原尾气的冷凝方法和冷凝系统技术方案

本发明专利技术提供一种多晶硅还原尾气的冷凝方法，包括：利用环境空气对还原尾气进行第一次冷却处理；利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行第二次冷却处理；利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气进行第三次冷却处理；对第三次冷却后的还原尾气进行第一次气液分离处理；利用制冷剂对第一次气液分离后得到的不凝气进行冷却处理；对制冷剂冷却后的不凝气进行第二次气液分离处理，并将两次气液分离后得到的液相氯硅烷混合后输出至脱吸塔；利用第二次气液分离后得到的不凝气的冷量，在利用冷冻盐水进行冷却处理之前，对第二次冷却后的还原尾气进行冷却处理。相应地，提供一种冷凝系统。本发明专利技术所述冷凝方法和冷凝系统的冷量利用合理。

Condensing method and condensing system for polysilicon reduction tail gas

The present invention provides a method for condensation, polysilicon reduction include: the reduction of exhaust gas for the first time by air cooling; cooling capacity from absorption tower kettle by reduction of exhaust first cooling again after the second cooling treatment; reduction of exhaust second times after cooling third cooling treatment by freezing salt water; reduction of third exhaust after cooling the first gas-liquid separation processing; on the first gas-liquid separation after non condensable gas cooling by refrigerant; the Refrigerant cooled noncondensable gas second gas-liquid separation process, and will be two times the gas-liquid separation obtained after liquid phase mixing chlorosilane output to the desorption tower; the second gas-liquid separation by non condensable gas cooling capacity, before cooling in the use of frozen brine, for second times Cooling reduced tail gas for cooling treatment. Accordingly, a condensing system is provided. The condensing method and the cooling capacity of the condensing system are reasonable.

【技术实现步骤摘要】
多晶硅还原尾气的冷凝方法和冷凝系统
本专利技术涉及多晶硅生产
，具体涉及一种多晶硅还原尾气的冷凝方法和一种多晶硅还原尾气的冷凝系统。
技术介绍
多晶硅是太阳能光伏行业的基础材料。目前，多晶硅生产主要采用改良西门子法(即三氯氢硅还原法)，指的是利用气相沉积法在还原炉中通过H2来还原SiHCl3从而制备多晶硅，具体反应方程式为：3SiHCl3+H2→2Si+5HCl+SiCl4由于还原炉中的温度等条件很难达到均一，导致实际的还原过程十分复杂，并伴随副反应发生，这样就使得还原尾气中的成分较为复杂，主要包括H2、HCl气体和气相氯硅烷等，其中气相氯硅烷包括SiHCl3(也称为TCS)气体、SiCl4(也称为STC)气体和SiH2Cl2(也称为DCS)气体的混合气。虽然还原尾气的成分复杂，但其中的其他干扰杂质较少，可对其进行分离、回收后，再次进入还原系统。目前，一般采用冷凝分离法对还原尾气进行分离处理，以使其中的可被冷凝的氯硅烷与不可被冷凝的氢气和氯化氢分离开来。其中，冷凝分离法采用能量梯级利用的原理对还原尾气进行梯级冷凝。然而，现有的冷凝分离法需要耗费大量昂贵的低温冷量，能耗及成本较高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅还原尾气的冷凝方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，所述冷凝方法包括如下步骤：利用环境空气对所述还原尾气进行冷却处理，得到第一次冷却后的还原尾气；利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第二次冷却后的还原尾气；利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第三次冷却后的还原尾气；对第三次冷却后的还原尾气进行第一次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气；利用制冷剂对第一次气液分离后得到的不凝气进行冷却处理；对制冷剂冷却后的不凝气进行第二次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气，并将两次气液分离后得到的液相氯硅烷混合后输出至...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原尾气的冷凝方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，所述冷凝方法包括如下步骤：利用环境空气对所述还原尾气进行冷却处理，得到第一次冷却后的还原尾气；利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第二次冷却后的还原尾气；利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气再次进行冷却处理，得到第三次冷却后的还原尾气；对第三次冷却后的还原尾气进行第一次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气；利用制冷剂对第一次气液分离后得到的不凝气进行冷却处理；对制冷剂冷却后的不凝气进行第二次气液分离处理，得到液相氯硅烷和不凝气，并将两次气液分离后得到的液相氯硅烷混合后输出至脱吸塔；利用第二次气液分离后得到的不凝气的冷量，在利用冷冻盐水进行冷却处理之前，对第二次冷却后的还原尾气进行冷却处理。2.根据权利要求1所述的冷凝方法，其特征在于，所述来自吸收塔塔釜的冷量为来自吸收塔塔釜的-10～0℃的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量。3.根据权利要求1所述的冷凝方法，其特征在于，所述冷冻盐水为-25℃盐水。4.根据权利要求1所述的冷凝方法，其特征在于，所述制冷剂为氟利昂。5.根据权利要求1-4中任一项所述的冷凝方法，其特征在于，所述第二次气液分离后得到的不凝气利用自身的冷量对第二次冷却后的还原尾气进行冷却处理后，存入气相缓冲罐中，以备回收利用。6.一种多晶硅还原尾气的冷凝系统，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，所述冷凝系统包括：空气冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：王东，杨海军，苟海龙，牛潇萌，摆军，李国苑，常芙萍，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：新疆,65