下载多晶硅还原尾气的冷凝方法和冷凝系统的技术资料

文档序号:16571712

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本发明提供一种多晶硅还原尾气的冷凝方法,包括:利用环境空气对还原尾气进行第一次冷却处理;利用来自吸收塔塔釜的冷量对第一次冷却后的还原尾气再次进行第二次冷却处理;利用冷冻盐水对第二次冷却后的还原尾气进行第三次冷却处理;对第三次冷却后的还原尾气...
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