去静电剥离装置及液晶面板制作设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。

【技术实现步骤摘要】
去静电剥离装置及液晶面板制作设备
本专利技术涉及液晶面板制造
，特别涉及一种去静电剥离装置及液晶面板制作设备。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay，TFT-LCD)已经成为了现代IT、视讯产品中重要的显示平台。TFT-LCD一般包括上下相对设置的薄膜晶体管基板、彩膜基板和夹设在二基板之间的液晶材料。薄膜晶体管基板上设有多层电路走线，在制作过程中，有些设备需要真空吸附来固定住基板，比如在配向膜印刷的过程中，将基板固定于设备上进行涂布或者印刷，在做完配向膜后将基板与设备剥离。但是在破除真空玻璃过程中会产生静电，会损伤基板上的电路。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在剥离过程中有效去除静电的去静电剥离装置。本专利技术一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。其中，所述气体离子化装置内设置有离子棒且为高压环境。其中，所述气体离子化装置内设置有离子风机且为高压环本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，其特征在于，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。

【技术特征摘要】
1.一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，其特征在于，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。2.如权利要求1所述的去静电剥离装置，其特征在于，所述气体离子化装置内设置有离子棒且为高压环境。3.如权利要求1所述的去静电剥离装置，其特征在于，所述气体离子化装置内设置有离子风机且为高压环境。4.如权利要求1所述的去静电剥离装置，其特征在于，所述去静电剥离装置从所述基台下方吹气且设有用于吹气的吹气喷嘴。5.如权利要求1所述的去静电剥离装置，其特征在于，所述基板为阵列基板或者液...

【专利技术属性】
技术研发人员：李任鹏，米田公太郎，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42