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本发明提供一种去静电剥离装置，用于真空吸附于基台的基板剥离，包括供气装置及连接于所述供气装置出气端的气体离子化装置，所述气体离子化装置将供气装置内的气体离子化形成电离气体后对基台进行吹气剥离以剥离基板。...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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