一种扭摆平移式微机电磁场传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层，牺牲层的中部空心，氧化层的中部为扭转板，金属层的顶面设有锚区，金属层位于扭转板上方；扭转板的上方设置第一电容、第二电容，第三电容和第四电容，扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线，第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线；金属线的两端分别与一个焊盘连接；底电极层与金属层连接；在氧化硅层的边部上方设置焊盘，金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本专利技术属于传感器
，具体来说，涉及一种扭摆平移式微机电磁场传感器。
技术介绍
磁场传感器有着悠久的历史，指南针的专利技术到现代交通导航，磁场传感器越来越被人重视。磁传感器的应用十分广泛，已在国民经济、国防建设、科学技术、医疗卫生等领域都发挥着重要作用，成为现代传感器产业的一个主要分支。在传统产业应用和改造、资源探查及综合利用、环境保护、生物工程、交通智能化管制等各个方面，它们发挥着愈来愈重要的作用。目前已研制出利用各种物理、化学和生物效应的磁传感器，并已在科研、生产和社会生活的各个方面得到广泛应用，承担起探究种种信息的任务。随着微机电系统技术的发展，极大地推动了MEMS磁场传感器的发展，出现了一些微型磁场传感器的结构，同时新发展的MEMS工艺能够在硅衬底上利用IC后处理工艺制作各种机械结构，为磁场传感器的设计开辟了新的途径，近年来，提出了一些微型磁场传感器的结构，如法国的VincentBeroulle、LaurentLatorre提出的MEMS磁场传感器，在悬臂梁与锚区附近做压阻，通过测量压阻的输出检测磁场。扭摆式MEMS磁场传感器最早由Be本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扭摆平移式微机电磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的衬底(1)、底电极层(2)、牺牲层(3)、氧化硅层(4)和金属层(5)；牺牲层(3)为中空结构，氧化硅层(4)的顶面上设有第一焊盘(6)、第二焊盘(7)、第三焊盘(8)、第四焊盘(9)、第五焊盘(10)、第六焊盘(11)、第七焊盘(12)、第八焊盘(13)、第九焊盘(14)、第十焊盘(15)、第十一焊盘(16)、第十二焊盘(17)、第十三焊盘(18)、第十四焊盘(19)、第十五焊盘(20)和第十六焊盘(21)；氧化硅层(4)的中部设有两个扭摆梁(22)，每个扭摆梁(22)一端通过一支撑梁(23)与氧化硅层(4)固...

【技术特征摘要】
1.一种扭摆平移式微机电磁场传感器，其特征在于，该磁场传感器包括从下向上依次叠加设置的衬底(1)、底电极层(2)、牺牲层(3)、氧化硅层(4)和金属层(5)；牺牲层(3)为中空结构，氧化硅层(4)的顶面上设有第一焊盘(6)、第二焊盘(7)、第三焊盘(8)、第四焊盘(9)、第五焊盘(10)、第六焊盘(11)、第七焊盘(12)、第八焊盘(13)、第九焊盘(14)、第十焊盘(15)、第十一焊盘(16)、第十二焊盘(17)、第十三焊盘(18)、第十四焊盘(19)、第十五焊盘(20)和第十六焊盘(21)；氧化硅层(4)的中部设有两个扭摆梁(22)，每个扭摆梁(22)一端通过一支撑梁(23)与氧化硅层(4)固定连接，扭摆梁(22)和支撑梁(23)处于悬空状态；扭摆梁(22)的内侧设有可动平板(24)，可动平板(24)通过四个s型支撑梁(25)与两个扭摆梁(22)的内壁固定连接，可动平版(24)和s型支撑梁(25)处于悬空状态；扭摆梁(23)边缘和支撑梁(25)边缘布设有第一驱动金属线(26)、第二驱动金属线(27)、第三金属驱动线(28)和第四金属驱动线(29)；可动平板(24)的顶面设有第一电容(30)、第二电容(31)、第三电容(32)和第四电容(33)；第一电容(30)通过第一电容引线(34)与第八焊盘(13)连接；第二电容(31)通过第二电容引线(35)与第九焊盘(14)连接；第三电容(32)通过第三电容引线(36)与第十...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈洁，惠肇宇，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32