一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，其结构包括散热板、柜门、上盖板、密封圈、机杆、转动夹紧装置、连件、电控箱、显示屏、高温加工室、透明窗、加工头、底座、底脚座，所述散热板设在底座上，所述上盖板与密封圈相连接，所述机杆与转动夹紧装置相连接，所述转动夹紧装置由第一夹板、咬合座、第二夹件、转动固件、手柄、分离底板组成，所述第一夹板与咬合座相嵌合，所述咬合座与第二夹件相嵌合，所述底座与底脚座紧固连接。本实用新型专利技术设有转动夹紧装置，能够通过咬合座与夹板夹紧连件，利用手柄的转动特性，提高灵活性，方便作业中随时查看显示器数据，提高控制精准度。

A high temperature diffusion process for improving toughness and ductility of materials

The utility model discloses the ductility of material device for improving the high-temperature diffusion process, the structure comprises a radiating plate, a cabinet door, an upper cover plate, a sealing ring, rotating machine rod, clamping device, connector, electric control box, display screen, high temperature processing chamber, a transparent window, the processing head, base, foot seat, the the cooling plate is arranged on the base, the upper cover plate and the sealing ring is connected with the connecting rod and the rotating machine clamping device, the rotating device comprises a first clamping seat, occlusal splint, second clamping part, rotating handle, separation of firmware, bottom plate, the first splint and occlusal seat is tabled by the bite seat and the second clamps are embedded, the base is connected with a foot. The utility model is provided with a rotary clamping device, through the occlusal splint clamping seat and the connecting element, by rotating the handle of the characteristics, increase flexibility, convenient operation at any time to view the display data, improve the control precision.

【技术实现步骤摘要】
一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置
本技术是一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，属于加工设备

技术介绍
扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，即将元素磷、硼扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。现有技术公开了申请号为：201220302081.7的一种用于硼扩散工艺的石英炉门，包括石英门本体，所述石英门本体的内壁附着有一层在硼扩散高温条件下化学性能稳定、且热胀冷缩系数低于所述石英门体材料的热胀冷缩系数的保护膜；本技术中通过在石英门本体内壁上设置高温条件下稳定性比较强、且热胀冷缩系数小的保护膜，避免了硼玻璃与石英门本体内壁的直接接触，缓解了石英门本体内壁由于较大热胀冷缩现象产生的较大应力，对石英门的损坏，可以提高石英炉门的使用寿命，并且延长石英炉门的维护周期，降低了石英炉门的频繁检修损耗、节省人力、物力，相应提高了生产效率和太阳能电池片的生产质量，进而可以大大降低太阳能电池片生产成本。此外，本技术还提供了一种包括上述石英炉门的设备。但是其不足之处在于外部因素影响加工件掺杂元素，容易降低控制精准度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，其特征在于：其结构包括散热板（1）、柜门（2）、上盖板（3）、密封圈（4）、机杆（5）、转动夹紧装置（6）、连件（7）、电控箱（8）、显示屏（9）、高温加工室（10）、透明窗（11）、加工头（12）、底座（13）、底脚座（14），所述散热板（1）设在底座（13）上，所述上盖板（3）与密封圈（4）相连接，所述机杆（5）与转动夹紧装置（6）相连接，所述转动夹紧装置（6）由第一夹板（601）、咬合座（602）、第二夹件（603）、转动固件（604）、手柄（605）、分离底板（606）组成，所述第一夹板（601）与咬合座（602）相嵌合，所述咬合座（602）...

【技术特征摘要】
1.一种高温扩散工艺提高材料的韧性和延展性装置，其特征在于：其结构包括散热板（1）、柜门（2）、上盖板（3）、密封圈（4）、机杆（5）、转动夹紧装置（6）、连件（7）、电控箱（8）、显示屏（9）、高温加工室（10）、透明窗（11）、加工头（12）、底座（13）、底脚座（14），所述散热板（1）设在底座（13）上，所述上盖板（3）与密封圈（4）相连接，所述机杆（5）与转动夹紧装置（6）相连接，所述转动夹紧装置（6）由第一夹板（601）、咬合座（602）、第二夹件（603）、转动固件（604）、手柄（605）、分离底板（606）组成，所述第一夹板（601）与咬合座（602）相嵌合，所述咬合座（602）与第二夹件（603）相嵌合，所述第二夹件（603）与转动固件（604）相连接，所述转动固件（604）与手柄（605）相连接，所述分离底板（606）...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯英育，聂景颢，
申请(专利权)人：北京会盛百模具材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11