The present disclosure relates to a wafer processor. The chip processor has a rotor in the process storage tank and a rotor fixed wafer. The rotor rotates and sequentially moves the wafer through the storage tank stored in the process tank. The tank can have an I-beam shape to reduce the volume of the treated liquid. The loading port is provided at the top of the process storage tank to load and unload the wafer into the process storage tank. The flushing and cleaning chambers can be associated with the loading port to remove the treated liquid from the treated wafer. The processor can be oriented so that the rotor rotates around the horizontal axis or around the vertical axis.
【技术实现步骤摘要】
一种晶片处理器
本申请涉及了用于处理半导体材料晶片的处理器、系统和方法,以及用于微电子器件的类似的工件或基板。
技术介绍
微电子器件(诸如半导体器件)通常制造在半导体材料晶片上和/或在半导体材料晶片中。通过光刻在晶片表面上形成图案化层。通过化学剥离去除在光刻步骤中使用的光刻胶。这可能是相对耗时的工艺,对于具有较厚的光刻胶层的晶片或无法利用可用处理液体(诸如溶剂)来快速去除的硬化的光刻胶来说尤其如此。为了加速制造工艺,常常成批处理晶片,通常是多个晶片在固定在托盘、匣盒或类似固定装置中时进行处理。虽然成批处理可以高产量或处理速率操作,但是由于晶片不均匀地暴露于处理液体下,因此可能难以一致地实现期望的结果。例如,在批次中间的晶片可不直接暴露于处理液体喷料下。另一方面,单个晶片处理在很大程度上实现均匀处理,但是相较成批处理来说产量速度较低。因此,在提供用于处理晶片的系统和方法上(尤其是相对于更耗时的工艺步骤来说)仍存在着工程挑战。
技术实现思路
晶片处理器具有处于工艺储槽内的转子,转子固定晶片。转子旋转,从而顺序地将晶片移动通过工艺储槽中保存的处理液体。储槽可以具有工字梁形,以便减小所需要处理的处理液体体积。装料端口提供在工艺储槽顶部处,以将晶片装卸进出工艺储槽。冲洗和清洁腔室可与装料端口相关联,以将处理液体从处理过的晶片上去除。转子可取向为围绕基本上水平的轴线或围绕基本上竖直的轴线来旋转。一种晶片处理器,所述晶片处理器包括:工艺储槽;转子,所述转子在所述工艺储槽中;多个晶片固定装置,所述晶片固定装置在所述转子上;以及马达,所述马达用于旋转所述转子以使所述晶片固定装置穿过 ...
【技术保护点】
一种晶片处理器,其特征在于,所述晶片处理器包括:工艺储槽;转子,所述转子在所述工艺储槽中;多个晶片固定装置,所述晶片固定装置在所述转子上;以及马达,所述马达用于旋转所述转子以使所述晶片固定装置穿过所述工艺储槽。
【技术特征摘要】
2016.03.08 US 62/305,3761.一种晶片处理器,其特征在于,所述晶片处理器包括:工艺储槽;转子,所述转子在所述工艺储槽中;多个晶片固定装置,所述晶片固定装置在所述转子上;以及马达,所述马达用于旋转所述转子以使所述晶片固定装置穿过所述工艺储槽。2.如权利要求1所述的处理器,其特征在于,所述马达使得所述转子仅沿第一方向旋转,其中所述转子在每个晶片固定装置移向所述工艺储槽中的装料端口时暂停。3.如权利要求1所述的处理器,其特征在于,所述工艺储槽具有圈环区段和卷材区段,其中所述圈环区段所具有的宽度为臂部狭槽宽度的2-20倍。4.如权利要求1所述的处理器,其特征在于,所述工艺储槽具有圈环区段和卷材区段,并且所述转子具有多个径向臂部,其中每个径向臂部从中心轮毂延伸穿过所述卷材区段到晶片固定装置。5.如权利要求1所述的处理器,其特征在于,所述转子能够围绕基本上水平的轴线旋转。6.如权利要求1所述的处理器,其特征在于,所述转子能够围绕基本上竖直的轴线旋转。7.如权利要求1所述的处理...
【专利技术属性】
技术研发人员:约翰·L·洛克,凯尔·M·汉森,约瑟夫·A·乔纳森,斯图尔特·克兰,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:新型
国别省市:美国,US
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