一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，属于精密设备性能检测领域。本实用新型专利技术包括隔振平台、大理石支撑台面、空气静压轴承Ⅰ、空气静压轴承Ⅱ、压力传感器、传感器支架、微位移传感器、支架、气缸、节流阀、空气静压轴承进气管、压力调节阀、压力表和空气压缩机。本实用新型专利技术装置简单，只需要额外添加微位移传感器、电容测量仪以及微力传感器；模型简化，容易理解，数据处理量小，简单方便；便于实现不同的气膜厚度的调节，通过气膜厚度变化对电容的影响，从而利用所测得的电容变化计算出气膜间隙内气体密度，可通过多次测试将气膜间隙内气体密度测量出来，可靠性高且易于实现；仪器应用普遍，成本低。

A test device for measuring gas density in gas film gap based on capacitance method

The utility model relates to a testing device for measuring the gas density in the gas film gap based on the capacitance method, belonging to the field of the performance testing of the precision equipment. The utility model comprises a vibration isolation platform, marble countertops, aerostatic bearing support of aerostatic bearing II, pressure sensor, sensor bracket, micro displacement sensor, frame, cylinder, throttle valve, air bearing inlet pipe, pressure regulating valve, pressure gauge and air compressor. The utility model has the advantages of simple device, only need to add extra micro displacement sensor, capacitance measuring instrument and micro force sensor; model simplification, easy to understand, small amount of data, simple and convenient; easy to realize the adjustment of gas film thickness different, by changing the film thickness effect on capacitance, thus the calculation of air gap membrane gas density the capacitance change is measured, through several tests to the clearance of gas film gas density measurement, high reliability and easy to implement; instrument widely used, low cost.

【技术实现步骤摘要】
一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置
本技术涉及一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，属于精密设备性能检测领域。
技术介绍
随着空气静压轴承在各个领域的广泛应用，其气膜间隙的变化，会引起气膜间隙电容的变化，通过实验测试空气静压轴承电容的变化也是求出气膜密度的重要手段之一。空气静压轴承以空气为润滑介质，具有超低的摩擦系数和很高的运动精度，对环境如低温、高温、辐射等耐受力较强，在航空航天以及精密机械中得到了广泛应用，气膜密度影响到空气静压轴承承载力，所以控制空气静压轴承的密度是提高轴承承载力的重要保证，如何更准确地测量空气静压轴承的气膜密度是提高其应用的重要研究内容之一。
技术实现思路
本技术提供了一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，以用于测量气膜间隙内气体密度。本技术的技术方案是：一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，包括隔振平台1、大理石支撑台面2、空气静压轴承Ⅰ3、空气静压轴承Ⅱ4、压力传感器5、传感器支架6、微位移传感器7、支架8、气缸9、节流阀10、空气静压轴承进气管11、压力调节阀12、压力表13和空气压缩机14；所述隔振平台1放置在支架本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，其特征在于：包括隔振平台（1）、大理石支撑台面（2）、空气静压轴承Ⅰ（3）、空气静压轴承Ⅱ（4）、压力传感器（5）、传感器支架（6）、微位移传感器（7）、支架（8）、气缸（9）、节流阀（10）、空气静压轴承进气管（11）、压力调节阀（12）、压力表（13）和空气压缩机（14）；所述隔振平台（1）放置在支架（8）上，大理石支撑台面（2）放置于水平的隔振平台（1）上，空气静压轴承Ⅰ（3）气孔向上放置在大理石台面（2）的中心位置，空气静压轴承Ⅱ（4）气孔向下放置在空气静压轴承Ⅰ（3）上，压力传感器（5）放置在空气静压轴承Ⅱ（4）正上方，传感器支架（6）...

【技术特征摘要】
1.一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置，其特征在于：包括隔振平台（1）、大理石支撑台面（2）、空气静压轴承Ⅰ（3）、空气静压轴承Ⅱ（4）、压力传感器（5）、传感器支架（6）、微位移传感器（7）、支架（8）、气缸（9）、节流阀（10）、空气静压轴承进气管（11）、压力调节阀（12）、压力表（13）和空气压缩机（14）；所述隔振平台（1）放置在支架（8）上，大理石支撑台面（2）放置于水平的隔振平台（1）上，空气静压轴承Ⅰ（3）气孔向上放置在大理石台面（2）的中心位置，空气静压轴承Ⅱ（4）气孔向下放置在空气静压轴承Ⅰ（3）上，压力传感器（5）放置在空气静压轴承Ⅱ（4）正上方，传感器支架（6）一端固定在隔震平台（1）上，传感器支架（6）的另一端连接微位移传感器（7）接入微力传感器，支架（8）固定在水平地面上，气缸（9）位于压力传感器（...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙威，柴辉，杨绍华，裴浩，陈娅君，吴张永，张晓龙，魏镜弢，王庭有，莫子勇，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：新型
国别省市：云南,53