下载一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置的技术资料

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本实用新型涉及一种基于电容法测量气膜间隙内气体密度的测试装置,属于精密设备性能检测领域。本实用新型包括隔振平台、大理石支撑台面、空气静压轴承Ⅰ、空气静压轴承Ⅱ、压力传感器、传感器支架、微位移传感器、支架、气缸、节流阀、空气静压轴承进气管、压...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。

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