一种气体动态稀释配气系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种气体动态稀释配气系统，包括：用于连通载气钢瓶与混合容器的第一管道；设置在第一管道上的第一流量控制器、第一流量测量计；与第一流量控制器及第一流量测量计相连的第一校准模块，第一校准模块计算第一校准值并将其发送至第一流量控制器以修正第一预设流量值；用于连通组气钢瓶与混合容器的第二管道；设置在第二管道上的第二流量控制器、第二流量测量计；与第二流量控制器及第二流量测量计相连的第二校准模块，第二校准模块计算第二校准值并将其发送至第二流量控制器以修正第二预设流量值。本实用新型专利技术解决了因气体种类、浓度不同造成的准确度偏差，可以实现宽范围、高浓度的气体稀释法动态配气，且大大提高了配气准确度。

A gas dynamic dilution gas distribution system

The utility model provides a gas dynamic dilution gas distribution system, including: a first pipe carrier gas cylinder and mixing container; the first set in the first pipeline flow controller, the first flow meter; the first calibration module is connected to the first flow controller and a first flow meter, the first calibration module calculates a first calibration value and send it to the first flow controller to correct the first preset value flow; for second pipe gas cylinders and mixed group containers; set second flow controller, second flow measurement on the second pipeline and second meter; flow controller and two flow meter calibration module is connected to the second, second calibration module calculates second calibration value and send it to the second flow controller to amend the second preset value flow. The utility model solves the accuracy deviation caused by different gas type and concentration, and can realize dynamic distribution of gas with wide range and high concentration gas dilution method, and greatly improves the accuracy of gas distribution.

【技术实现步骤摘要】
一种气体动态稀释配气系统
本技术涉及气体动态稀释配气
，尤其涉及一种气体动态稀释配气系统。
技术介绍
现有的技术有选用不同的质量流量控制器进行流量控制，通过控制不同通道的体积流量，来达到对气体标准物质的定量稀释，从而实现从高浓度的气体稀释到不同低浓度的气体的目标。一般地，气体的动态稀释至少要包括两路流量控制器(流量控制器的原理包括多种，如质量流量控制器、毛细管流量控制器、临界锐孔流量控制器等)，假如为A路和B路，在对A路的气体进行稀释时，控制流量分别为FA，FB，按照下面公式(1)计算稀释后的目标气体浓度值：其中，C为稀释后的目标气体浓度值；CS为稀释前钢瓶装标准气体的浓度值；FA为A路流量控制器的流量；FB为B路流量控制器的流量。此时，对应的稀释比例为X，在同一条件下，分别对FA，FB，进行了体积流量的测量，即被稀释气体和载气的体积流量。稀释系统使用A路500mL/min和B路500mL/min两个流量控制点进行稀释(即稀释比例,X＝0.5)。两路流量控制器在一定的流量范围内控制流量时，流量设置和实际测量数据如下：测量条件：温度15.2℃；压力100.6kPa；A路介质为5.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体动态稀释配气系统，其特征在于，包括：第一管道，用于连通载气钢瓶与混合容器；第一流量控制器，设置在所述第一管道上，用于根据第一预设流量值控制所述第一管道的气体流量；第一流量测量计，设置在所述第一管道上，用于测量所述第一管道的流量测量值；第一校准模块，与所述第一流量控制器及所述第一流量测量计相连，用于根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值，并将所述第一校准值发送至所述第一流量控制器，以供所述第一流量控制器修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；第二管道，用于连通组气钢瓶与所述混合容器；第二流量控制器，设置在所述第二管道上，用于根据第二...

【技术特征摘要】
1.一种气体动态稀释配气系统，其特征在于，包括：第一管道，用于连通载气钢瓶与混合容器；第一流量控制器，设置在所述第一管道上，用于根据第一预设流量值控制所述第一管道的气体流量；第一流量测量计，设置在所述第一管道上，用于测量所述第一管道的流量测量值；第一校准模块，与所述第一流量控制器及所述第一流量测量计相连，用于根据所述第一预设流量值与所述第一管道的流量测量值计算第一校准值，并将所述第一校准值发送至所述第一流量控制器，以供所述第一流量控制器修正所述第一预设流量值使所述第一管道的实际流量值达到所述第一预设流量值；第二管道，用于连通组气钢瓶与所述混合容器；第二流量控制器，设置在所述第二管道上，用于根据第二预设流量值控制所述第二管道的气体流量；第二流量测量计，设置在所述第二管道上，用于测量所述第二管道的流量测量值；第二校准模块，与所述第二流量控制器及所述第二流量测量计相连，用于根据所述第二预设流量值与所述第二管道的流量测量值计算第二校准值，并将所述第二校准值发送至所述第二流量控制器，以供所述第二流量控制器修正所述第二预设流量值使所述第二管道的实际流量值达到所述第二预设流量值。2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘沂玲，王德发，李士良，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：新型
国别省市：北京,11