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一种气体动态稀释配气系统技术方案
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下载一种气体动态稀释配气系统的技术资料
文档序号:16448834
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本实用新型提供一种气体动态稀释配气系统,包括:用于连通载气钢瓶与混合容器的第一管道;设置在第一管道上的第一流量控制器、第一流量测量计;与第一流量控制器及第一流量测量计相连的第一校准模块,第一校准模块计算第一校准值并将其发送至第一流量控制器以...
该专利属于中国计量科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量科学研究院授权不得商用。
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