一种用于工艺设备的监测装置及其方法制造方法及图纸

一种用于工艺设备的监测装置及其方法，用于工艺设备的监测装置针对一具有一第一、第二检测单元及一与该第一、第二检测单元连接的第一、第二显示单元的第一、第二工艺设备进行监测，该监测装置包含一第一影像撷取单元、一第二影像撷取单元及一数据处理器，该第一、第二影像撷取单元分别撷取该第一、第二显示单元的一第一信息画面及一第二信息画面，该数据处理器分别与该第一、第二影像撷取单元连接，并接受该第一信息画面及该第二信息画面而进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。

Monitoring device for process equipment and its method

A monitoring device for process equipment and method for monitoring the process equipment for a device has a first and a second detection unit and a detection unit, and the first second connected to the first and second display the first and second process equipment unit for monitoring, the monitoring device includes a first image capturing unit, a second image the acquisition unit and a data processor, the first and the second image capturing units respectively capture the first and second display a first picture information unit and a second picture information, the data processor is respectively connected with the first and the second image acquisition unit, and received the first picture information and the second information of the first picture information the picture and the second picture information as a first and a second conversion process parameters are parameters, an image identification processing Number and integration.

【技术实现步骤摘要】
一种用于工艺设备的监测装置及其方法
本专利技术涉及一种用于工艺设备的监测装置及其方法，尤指一种可整合多设备数据的工艺设备监测装置及其方法。
技术介绍
无论是电子、医药、食品、纺织、化学、材料等产品或领域的制造，皆会使用大量的工艺设备生产产品。各项设备的正常运作，是确保产品合格率和产能的重要因素之一，故一般会在工艺设备安装多种检测器来监测工艺的各项参数。举例来说，高温炉是广泛用于化学、材料以及半导体工厂的生产流程。以炉具的监测来说，例如中国大陆技术专利CN203629703，提出一种炉台温度监控装置，包括一测温元件，该测温元件设置为能够放置在炉台内的结构，该测温元件与一显示炉台内的温度数值的温度记录仪连接，该温度记录仪与一按设定时间间歇性记录炉台内的温度数值的电脑连接。或如美国专利技术专利公开第US2010/0208765号，公开一种炉具阻尼控制系统，包括一炉具、一检测器以及一控制器，该炉具具有至少一让该炉具内的电磁辐射可被检测的开口、一用于接收自该炉具排出的废气的排气管以及一用于调整该排气管压力的可控阻尼，该检测器用于检测经由该开口发射的电磁辐射且产生一对应电磁辐射的检测信号，该控制器用于根据该检测信号控制该阻尼。又一般来说，工厂往往购置有多台工艺设备，且会因购置时间的差异、不同需求、工艺考量或其他因素，而使多台工艺设备的规格、厂商、介面等也为不同。当欲针对不同工艺设备的工艺数据进一步做分析整合时，往往需要进行大规模的汰换工艺设备，或是针对各台工艺设备进行硬件和软件方面的调整及更新，如此不仅提高成本，也会造成工艺停摆，实有待改进之处。
技术实现思路
本专利技术的目的，在于解决现有多台工艺设备的工艺数据难以整合的问题。为实现上述目的，本专利技术提供一种用于工艺设备的监测装置，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，该监测装置包含一第一影像撷取单元、一第二影像撷取单元及一数据处理器，该第一影像撷取单元用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面，该第二影像撷取单元用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面，该数据处理器与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接，为接受该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。为实现上述目的，本专利技术另外提供一种用于工艺设备的监测方法，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，该监测方法包含下列步骤：提供一第一影像撷取单元，用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面；提供一第二影像撷取单元，用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面；以及提供一与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接的数据处理器，为接受该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元撷取的该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。由以上可知，本专利技术相较于现有技术可实现的有益效果在于，由于是直接通过该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元分别撷取该第一显示单元及该第二显示单元所显示的该第一信息画面及该第二信息画面，并通过该数据处理器的该影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为该第一工艺参数以及该第二工艺参数并予以整合，并非现有技术须大规模的汰换工艺设备或是针对各台工艺设备进行硬件和软件方面的调整及更新，故可减少额外的设备购置成本，也不会造成工艺的停摆。以下结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述，但不作为对本专利技术的限定。附图说明图1，为本专利技术第一实施例用于工艺设备的监测装置的示意图；图2，为本专利技术第二实施例用于工艺设备的监测装置的示意图；图3，为本专利技术一实施例用于工艺设备的监测方法的步骤流程图。具体实施方式涉及本专利技术的详细说明及
技术实现思路
，现就配合附图说明如下：请搭配参阅图1所示，为本专利技术第一实施例用于工艺设备的监测装置的示意图，本专利技术为一种用于工艺设备的监测装置，是针对一第一工艺设备10以及一第二工艺设备11进行监测，该监测装置包含一第一影像撷取单元12、一第二影像撷取单元13及一数据处理器14，该第一工艺设备10具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元101，该第二工艺设备11具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元111，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备10和该第二工艺设备11的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元101和该第二显示单元111。于本专利技术中，该第一显示单元101用于显示与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面，该第二显示单元111用于显示与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面。于本实施例中，该第一工艺设备10及该第二工艺设备11是以高温炉设备举例说明，然本专利技术并不限于此，只要为工艺设备即可。于本专利技术中，该第一工艺设备10和该第二工艺设备11是分别为无法通过通讯连接的方式以进行数据整合者，例如为相异的厂牌、相异规格、相异工艺用途、相异设备介面等。该第一影像撷取单元12及该第二影像撷取单元13分别撷取该第一显示单元101及该第二显示单元111的该第一信息画面及该第二信息画面，其中该第一影像撷取单元12及该第二影像撷取单元13设置于一壁面上。于本专利技术中，该第一影像撷取单元12及该第二影像撷取单元13的种类为一感光耦合元件(Chargecoupleddevice，简称CCD)摄影机或一互补式金属氧化物半导体(Complementarymetaloxidesemiconductor，简称CMOS)摄影机，而该数据处理器14为一电脑。该数据处理器14分别与该第一影像撷取单元12及该第二影像撷取单元13连接，用于接收该第一影像撷取单元12及该第二影像撷取单元13分别传送的该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理，使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合，待该影像辨识处理完成后于该数据处理器14的一第三显示单元141显示一与该第一工艺参数及该第二工艺参数相对应的第三信息画面。于本实施例中，该第一信息画面及该第二信息画面于该第一显示单元101及该第二显示单元111的显示方式可为一数字显示或一模拟显示，其中该数字显示种类可为一字体显示，例如阿拉伯数字、一线状连续显示、一线状非连续显示、一点状非连续显示或上述组合，该模拟显示可为一表针本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于工艺设备的监测装置，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，其特征在于，该监测装置包含：一第一影像撷取单元，用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面；一第二影像撷取单元，用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面；以及一与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接的数据处理器，为接受该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。

【技术特征摘要】
1.一种用于工艺设备的监测装置，是针对一具有一第一检测单元及一与该第一检测单元连接的第一显示单元的第一工艺设备以及一具有一第二检测单元及一与该第二检测单元连接的第二显示单元的第二工艺设备进行监测，该第一检测单元和该第二检测单元分别检测该第一工艺设备和该第二工艺设备的至少一第一工艺条件和至少一第二工艺条件，并分别显示于该第一显示单元和该第二显示单元，其特征在于，该监测装置包含：一第一影像撷取单元，用于撷取显示于该第一显示单元上且与该第一工艺条件相对应的一第一信息画面；一第二影像撷取单元，用于撷取显示于该第二显示单元上且与该第二工艺条件相对应的一第二信息画面；以及一与该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元连接的数据处理器，为接受该第一信息画面及该第二信息画面并进行一影像辨识处理使该第一信息画面及该第二信息画面分别转换为一第一工艺参数以及一第二工艺参数并予以整合。2.根据权利要求1所述的用于工艺设备的监测装置，其特征在于，该第一信息画面及该第二信息画面于该第一显示单元及该第二显示单元的显示方式为一数字显示或一模拟显示。3.根据权利要求2所述的用于工艺设备的监测装置，其特征在于，该数字显示种类选自由一字体显示、一线状连续显示、一线状非连续显示及一点状非连续显示所组成的群组。4.根据权利要求2所述的用于工艺设备的监测装置，其特征在于，该模拟显示为一表针显示。5.根据权利要求1所述的用于工艺设备的监测装置，其特征在于，该第一影像撷取单元及该第二影像撷取单元的种类为一感光耦合元件摄影机或一互补式金属氧化物半导体摄影机。6.根据权利要求1所述的用于工艺设备的监测装置，其特征在于，该数据处理器为一电脑。7.一种用于工艺设备的监测方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆永忠，林财池，李文宗，王柏崴，徐陟峰，
申请(专利权)人：台耀科技股份有限公司，苏州中耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71