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一种用于工艺设备的监测装置及其方法，用于工艺设备的监测装置针对一具有一第一、第二检测单元及一与该第一、第二检测单元连接的第一、第二显示单元的第一、第二工艺设备进行监测，该监测装置包含一第一影像撷取单元、一第二影像撷取单元及一数据处理器，该第...该专利属于台耀科技股份有限公司;苏州中耀科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台耀科技股份有限公司;苏州中耀科技有限公司授权不得商用。