超纯纳米电子级气体过滤装置制造方法及图纸
Ultra pure nanometer electronic grade gas filtering device
The invention discloses an ultra pure nano electronic grade gas filtering device, comprising a cylinder, head, and a plurality of sintered metal filter, the two ends of the head mounted on the cylinder body, the cylinder is located at the outlet end is arranged on the disk, the sintered metal filter is installed on the disk the disk, the cylinder and the head of the formation of closed space is divided into first and second space, transfer to the filtered air in the first place, to transfer the filtered air in second space, and the first space communicated with the head is provided with an air inlet joint, a gas outlet joint and communicated with the space head set second. The gas filtering device has the advantages of high filtering accuracy, high filtering efficiency, high structural strength and long service life.
【技术实现步骤摘要】
超纯纳米电子级气体过滤装置
本专利技术属于气体净化设备
，具体涉及一种超纯纳米电子级气体过滤装置。
技术介绍
超纯电子级气体由氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等组成，它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到。超纯电子级气体通常根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。在超纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，在使用气前须安装过滤器。目前国内电子级气体整体水平和国外还有较大的差距，纯度在99.999％以上的电子级气体几乎全部依赖国外进口。和快速发展的国内微电子产业相比，与之相关的国内电子级气体的研究与生产相对落后。解决国内半导体、微电子、LED、光伏等行业对国外进口电子级气体的依赖。对超纯纳米电子级气体的生产工艺及过滤技术研究已经非常有必要、并且意义重大。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种超纯纳米电子级气体过滤装置，可以解决现有技术中气体过滤装置过滤精度低...
【技术保护点】
一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。
【技术特征摘要】
1.一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。2.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述金属烧结滤芯为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且所述管状滤芯水平...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐小明，苏林杰，樊丽琴，
申请(专利权)人：上海闰铭精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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