超纯纳米电子级气体过滤装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。本发明专利技术中的气体过滤装置过滤精度及过滤效率高、结构强度高、使用寿命长。

Ultra pure nanometer electronic grade gas filtering device

The invention discloses an ultra pure nano electronic grade gas filtering device, comprising a cylinder, head, and a plurality of sintered metal filter, the two ends of the head mounted on the cylinder body, the cylinder is located at the outlet end is arranged on the disk, the sintered metal filter is installed on the disk the disk, the cylinder and the head of the formation of closed space is divided into first and second space, transfer to the filtered air in the first place, to transfer the filtered air in second space, and the first space communicated with the head is provided with an air inlet joint, a gas outlet joint and communicated with the space head set second. The gas filtering device has the advantages of high filtering accuracy, high filtering efficiency, high structural strength and long service life.

【技术实现步骤摘要】
超纯纳米电子级气体过滤装置
本专利技术属于气体净化设备
，具体涉及一种超纯纳米电子级气体过滤装置。
技术介绍
超纯电子级气体由氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等组成，它们大部分是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到。超纯电子级气体通常根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。在超纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，在使用气前须安装过滤器。目前国内电子级气体整体水平和国外还有较大的差距，纯度在99.999％以上的电子级气体几乎全部依赖国外进口。和快速发展的国内微电子产业相比，与之相关的国内电子级气体的研究与生产相对落后。解决国内半导体、微电子、LED、光伏等行业对国外进口电子级气体的依赖。对超纯纳米电子级气体的生产工艺及过滤技术研究已经非常有必要、并且意义重大。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种超纯纳米电子级气体过滤装置，可以解决现有技术中气体过滤装置过滤精度低以及过滤效率低、结构强度弱、使用寿命短的技术问题。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案：一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。本专利技术中，采用独特的金属烧结滤芯替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。且过滤器采用封闭式结构，可以防止过滤过程中引入污染；此外本专利技术装置中，筒体两端的封头上分别设置有接头，使本专利技术不但实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能，即通过出气接头通入洁净气体至金属烧结滤芯内，使金属烧结滤芯外表面杂质吹落，滤芯重新保持洁净，可以进一步循环使用。进一步地，所述金属烧结滤芯为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且所述管状滤芯水平间隔排列在第一空间内，开口一端的所述管状滤芯与所述花盘固定。本专利技术中，管状滤芯水平间隔排列可以提高单根滤芯的过滤效果，有效延长超纯纳米电子级气体过滤装置的使用寿命。更进一步地，所述筒体上设置有多孔支撑板，管状滤芯的封闭一端固定在多孔支撑板上。本专利技术中，在筒体的第一空间内还安装有多孔支撑板，用于固定管状滤芯，可以保证滤芯的强度和稳定性；同时多孔支撑板对进入的气体进行布气，进一步提高单根滤芯的过滤效果，延长其使用寿命。进一步地，所述进气接头与出气接头均为VCR接头。采用独特的VCR接头可以保证出气接头与进气接头具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险。进一步地，所述封头与筒体之间通过焊接连接；所述金属烧结滤芯采用焊接连接。采用焊接固定可以提高器件的固定强度，同时也可以避免安装金属烧结滤芯造成的二次污染。进一步地，所述筒体与封头的粗糙度低于0.2。本专利技术的有益效果：1、本专利技术中，采用独特的金属烧结滤芯替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。且过滤器采用封闭式结构，可以防止过滤过程中引入污染；此外本专利技术装置中，筒体两端的封头上分别设置有接头，使本专利技术不但实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能，即通过出气接头通入洁净气体至金属烧结滤芯内，使金属烧结滤芯外表面杂质吹落，滤芯重新保持洁净，可以进一步循环使用。2、本专利技术中，在筒体的第一空间内还安装有多孔支撑板，用于固定管状滤芯，可以保证滤芯的强度和稳定性；同时多孔支撑板对进入的气体进行布气，进一步提高单根滤芯的过滤效果，延长其使用寿命。3、本专利技术采用独特的VCR接头可以保证出气接头与进气接头具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险。附图说明图1为实施例1的结构示意图。图中附图标记，1-进气接头，1’-出气接头；2，2’-封头；3-多孔支撑板；4-筒体；5-金属烧结滤芯；6-花盘；A-第一空间；B-第二空间。具体实施方式下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。实施例1：一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体4、封头2，2’、以及若干个金属烧结滤芯5，筒体4的两端通过焊接固定有封头2，2’，筒体4与封头2，2’形成一密封空间。筒体4的一端为进气口，相对应的筒体4另一端为出气口，位于出气口一端的筒体4上焊接有花盘6。金属烧结滤芯5安装在所述花盘6上，花盘6将筒体4与封头2，2’封闭形成的空间分隔成第一空间A和第二空间B，待过滤气体的传送发生在第一空间A，已过滤气体的传送发生在第二空间B，与第一空间A相通的封头2上设置有进气接头1，与第二空间B相通的封头2’上设置有出气接头1’。需要说明的是，本专利技术中金属烧结滤芯5的数量不做具体的限定，可以根据实际需求确定具体的金属烧结滤芯5的数量。采用独特的金属烧结滤芯5替代传统的陶瓷膜滤芯，使得超纯纳米电子级气体过滤装置能耐更高的温度和压力，其过滤效率更高，结构强度更好，且使用寿命更长。本实施例中，为了保证滤芯的强度和稳定性，优选的，在筒体4上设置有多孔支撑板3，金属烧结滤芯5的封闭一端固定在多孔支撑板3上。多孔支撑板3用于固定金属烧结滤芯5，保证金属烧结滤芯5的强度和稳定性；同时多孔支撑板3上分布有多个布气孔(图中没有标注)，可以对进入的气体进行布气，进一步提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，延长其使用寿命。本实施例中为了提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，优选的，金属烧结滤芯5为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且管状滤芯水平间隔排列在第一空间A内，开口一端的管状滤芯与花盘6固定。管状滤芯水平间隔排列可以提高单根金属烧结滤芯5的过滤效果，有效延长超纯纳米电子级气体过滤装置的使用寿命。且本专利技术中金属烧结滤芯5采用焊接连接，可以避免安装金属烧结滤芯5造成的二次污染。本实施中筒体4与封头2，2’焊接形成一密封空间。采用封闭式结构可以防止过滤过程中引入杂质。封头2，2’与筒体4之间通过焊接连接，可以提高器件的固定强度；此外，本专利技术装置中，筒体4两端的封头2，2’上分别设置有出气接头1’和进气接头1，且该接头都采用VCR接头，独特的VCR接头可以保证出气接头1’与进气接头1具备良好的气密性，降低泄漏率，从而有效避免气源泄露造成的危险；此外，通过出气接头1’和进气接头1，本专利技术不但可以实现过滤气体的功能，同时还能实现反吹功能。当该装置中进出口两端的压差达到设定值后装置需要反吹，将进气接头1停止通入超纯气体，将洁净的超纯气体通入出气接头1’，气体经过花盘6进入金属烧结滤芯5，从而将附着在金属烧结滤芯5外表面的杂质和颗粒吹本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。

【技术特征摘要】
1.一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空间，待过滤气体的传送发生在第一空间，已过滤气体的传送发生在第二空间，与第一空间相通的封头上设置有进气接头，与第二空间相通的封头上设置有出气接头。2.根据权利要求1所述一种超纯纳米电子级气体过滤装置，其特征在于：所述金属烧结滤芯为一端开口、另一端封闭的管状滤芯，且所述管状滤芯水平...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小明，苏林杰，樊丽琴，
申请(专利权)人：上海闰铭精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31