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本发明公开一种超纯纳米电子级气体过滤装置，包括筒体、封头、以及若干个金属烧结滤芯，所述封头安装在所述筒体的两端，位于出气口一端的所述筒体上设置有花盘，所述金属烧结滤芯安装在所述花盘上，所述花盘将筒体与封头封闭形成的空间分隔成第一空间和第二空...
该专利属于上海闰铭精密技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海闰铭精密技术有限公司授权不得商用。

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