一种喷淋式进气管的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种喷淋式进气管的检测装置，喷淋式进气管包括管体，管体分别设有与其内腔连通的进气口和若干出气口，检测装置包括用于固定管体的支架、用于将其流体通入进气口以在若干出气口形成喷淋气流或喷淋液柱的流体源以及用于在其液面上形成由喷淋气流吹出的波纹或用于汇集喷淋液柱的储液槽。本实用新型专利技术通过在喷淋式进气管的进气口驳接一定流量（或流速）的流体，使得流体通过喷淋式进气管的出气口淋出形成喷淋气流或喷淋液柱，通过观察储液槽形成波纹或直接观察喷淋液柱以确定喷淋式进气管的出气口是否有堵塞或者孔径错误或者位置错误。

【技术实现步骤摘要】
一种喷淋式进气管的检测装置
本技术涉及太阳电池制造
，具体涉及喷淋式进气管的小孔状态的检测装置。
技术介绍
常规的化石燃料日益消耗殆尽，在现有的可持续能源中，太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。光伏发电是利用太阳光能使半导体电子器件有效地吸收太阳光辐射能，并使之转变成电能的直接发电方式，是当今太阳光发电的主流。时下，人们通常所说太阳光发电就是太阳能光伏发电，亦称太阳能电池发电。可以将太阳能直接转换成电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。其中，晶体硅太阳能电池由于丰富的硅储量得到了广泛应用。现有的晶体硅太阳能电池的制备工艺如下：清洗制绒→扩散→刻蚀/去PSG→PECVD→丝网印刷→烧结→测试分档→分选→包装。现有技术中，通常采用喷淋式进气管进行扩散，该种扩散方式大大提高了光伏电池产品的各项性能和制程稳定性。而喷淋式进气管的出气口的通孔状态则会大大影响喷淋式扩散的性能。在以往的检测中，我们通过使用钢针抽测出气口状态、结合肉眼逐个观察的办法来判断喷淋式进气管是否合格。由于出气口密度大、孔径小，肉眼观察容易晕眩和判断不准确。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种喷淋式进气管的检测装置，通过观察波纹或喷淋液柱来判断出气口的状态，直观明显，且效率较高。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种喷淋式进气管的检测装置，所述喷淋式进气管包括管体，所述管体分别设有与其内腔连通的进气口和若干出气口，所述检测装置包括：-支架，其与所述管体连接，用于固定所述管体以使所述管体水平设置；-流体源，其与所述进气口连接，用于将其流体通入所述进气口以在所述出气口形成喷淋气流或喷淋液柱；-储液槽，其设置在所述喷淋气流或喷淋液柱的喷淋轨迹上，用于在其液面上形成由所述喷淋气流或所述喷淋液柱扰动出的波纹或用于汇集所述喷淋液柱。进一步的，所述流体源为气源或液体源，所述出气口没入所述储液槽液面以下或与所述储液槽液面齐平或位于所述储液槽液面上方。所述流体源为气源时，所述出气口没入所述储液槽液面以下或与所述储液槽液面齐平或位于所述储液槽液面上方以在所述液面上形成波纹。当所述气源的气体流量较大时，所述出气口没入所述储液槽液面以下，当所述气源的气体流量较小时，所述出气口位于所述储液槽液面以上且二者靠近或者所述出气口与所述储液槽液面齐平。其中，所述气源的输出管道上设有流量计。可选的，所述流量计为可移除结构。所述流体源为液体源时，所述出气口没入所述储液槽液面以下以在所述液面以下形成与所述液面颜色不同的喷淋液柱或波纹，所述液体源通入喷淋式进气管液体较少时，即最初通入时，在出气口形成的喷淋液柱与出气口附近储液槽的液体颜色差别较大，可以观察到在所述储液槽的液面以下与所述液面颜色不同的喷淋液柱，所述液体源通入喷淋式进气管液体较多时，即通入一段时间后，先前形成的喷淋液柱的液体混入出气口附近的所述储液槽的液体中，后续形成的喷淋液柱与出气口附近的储液槽的液体颜色差别变小，较难观察到在出气口形成的喷淋液柱，但可以观察到所述喷淋液柱扰动出气口附近的液体，在和储液槽液体交汇处形成与储液槽液体颜色不同的波纹，或所述出气口与所述储液槽液面齐平以在所述液面上形成与所述液面颜色不同的波纹，或所述出气口位于所述储液槽液面上方以在所述液面的上方空间中形成喷淋液柱，当所述液体源的液体颜色与所述储液槽中的液体颜色相同时，所述出气口位于所述储液槽液面上方并且二者远离，当所述液体源的液体颜色与所述储液槽中的液体颜色不同时，所述出气口没入所述储液槽液面以下或与所述储液槽液面齐平或位于所述储液槽液面上方。进一步的，所述支架的底端固定于所述储液槽槽底，所述支架的顶端设有与所述管体的弧形外壁匹配的弧形凹槽以支撑定位所述管体。进一步的，所述支架具有沿竖直方向升降的自由度。可选的，所述支架设有调节其竖直高度的调节螺丝。进一步的，所述管体一端设有球碗，所述球碗作为所述进气口，所述管体的其中一段作为喷淋段，所述喷淋段侧壁设有若干作为所述出气口的通孔，所述支架设置为三个，三个所述支架的位置分别对应标准喷淋式进气管的球碗输出侧位置、喷淋段起始位置以及喷淋段终止位置。进一步的，所述流体源的输出管道上设有调节阀。可选的，所述调节阀包括配合使用的手动调节阀和精密节流阀。进一步的，所述流体源的输出管道设有用于与不同规格所述进气口连接的变径接头。可选的，所述变径接头为聚四氟乙烯变径接头。进一步的，所述储液槽分别设有与外界连通的进液口和排液口，所述进液口设有进液阀，所述排液口设有排液阀。进一步的，所述管体设有一个出气单元或位于所述管体不同周向位置的多个出气单元，每个出气单元包括沿管体轴向依次设置的多个所述出气口。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：（1）本技术通过在喷淋式进气管的进气口驳接一定流量（或流速）的流体，使得流体通过喷淋式进气管的出气口淋出形成喷淋气流或喷淋液柱，通过观察储液槽液面上形成波纹或直接观察喷淋液柱以确定喷淋式进气管的出气口是否有堵塞或者孔径错误或者位置错误；（2）本技术通过将支架设置为高度可调节，方便将喷淋式进气管和液面的相对距离调整到最佳状态；（3）本技术通过将多个支架之间的间隔长度设置为标准长度，可以检测喷淋段长度是否合格；（4）本技术改进了以往钢针抽测并结合肉眼逐个观察检测出气孔状态的办法通过本技术的检测装置将出气孔的状态（是否堵塞，孔径是否错误，位置是否错误）转化为喷淋气流或喷淋液柱扰动出的液面波纹或者是喷淋液柱等可视化的形式，更为方便，判断更为准确，节约了时间和人力成本，同时避免了之前抽查存在的漏检，由此避免了后续使用不合格喷淋式进气管造成损失；（5）本技术通过在流体源的输出管道设置变径接头，可以适用于不同规格喷淋式进气管的检测。附图说明图1是本技术公开的喷淋式进气管的结构示意图。图2是本技术公开的喷淋式进气管的检测装置的结构示意图。图3是本技术公开的支架的结构示意图。图4是本技术公开的气源的输出管道的结构示意图。其中：11、管体；12、进气口；13、喷淋段；14、出气口；20、支架；21、弧形槽；30、储液槽；41、流量计；42、手动调节阀；43、精密节流阀。具体实施方式结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例一参见图1至图4，如其中的图例所示，一种喷淋式进气管的检测装置，喷淋式进气管包括管体11，管体11一端设有球碗作为进气口12，管体11的其中一段作为喷淋段13，喷淋段13侧壁设有若干通孔作为出气口14，检测装置包括：-支架20，其与管体11连接，用于固定管体11以使管体11水平设置；-气源（图中未视出），其与进气口12连接，用于将气体通入进气口12以在若干出气口14形成喷淋气流；-储液槽30，其设置在喷淋气流的喷淋轨迹上，用于在其液面上形成由喷淋气流扰动出的波纹；其中，支架20的底端固定于储液槽30槽底，支架20的顶端设有与管体11的弧形外壁匹配的弧形凹槽以支撑定位管体11，出气口14没入储液槽30液面以下，若干出气口14喷出的气体扰动储液槽30中的液体，进而在储液槽30液面上形成波纹，气源的输出管道上设有流量计41。本实施例中气源中气体为氮气，在其他实施方式中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷淋式进气管的检测装置，所述喷淋式进气管包括管体，所述管体分别设有与其内腔连通的进气口和若干出气口，其特征在于，所述检测装置包括：‑支架，其与所述管体连接，用于固定所述管体以使所述管体水平设置；‑流体源，其与所述进气口连接，用于将其流体通入所述进气口以在所述出气口形成喷淋气流或喷淋液柱；‑储液槽，其设置在所述喷淋气流或喷淋液柱的喷淋轨迹上，用于在其液面上形成由所述喷淋气流或所述喷淋液柱扰动出的波纹或用于汇集所述喷淋液柱。

【技术特征摘要】
1.一种喷淋式进气管的检测装置，所述喷淋式进气管包括管体，所述管体分别设有与其内腔连通的进气口和若干出气口，其特征在于，所述检测装置包括：-支架，其与所述管体连接，用于固定所述管体以使所述管体水平设置；-流体源，其与所述进气口连接，用于将其流体通入所述进气口以在所述出气口形成喷淋气流或喷淋液柱；-储液槽，其设置在所述喷淋气流或喷淋液柱的喷淋轨迹上，用于在其液面上形成由所述喷淋气流或所述喷淋液柱扰动出的波纹或用于汇集所述喷淋液柱。2.根据权利要求1所述的喷淋式进气管的检测装置，其特征在于，所述流体源为气源或液体源，所述出气口没入所述储液槽液面以下或与所述储液槽液面齐平或位于所述储液槽液面上方。3.根据权利要求1所述的喷淋式进气管的检测装置，其特征在于，所述支架的底端固定于所述储液槽槽底，所述支架的顶端设有与所述管体的弧形外壁匹配的弧形凹槽以支撑定位所述管体。4.根据权利要求1所述的喷淋式进气管的检测装置，其特征在于，所述支架具有沿竖直方向升降的自由度。5.根据权利要求1所述的喷淋式进气管的检测装...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩树果，王宏波，乔勇，谢贤清，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32