The invention provides a vacuum mover linear motor, which is without the increase of tank thickness can also use a simple structure, can restrain the deformation as much as possible to reduce the dynamic gap, between rotor and stator and can be used in the same system and atmospheric environment in the epoch of the vacuum dynamic line motor. A magnet is arranged by the stator (1) and (2), and a magnet in the rotor (1) moving the arranged direction (3) of the linear motor with a vacuum rotor (3), receiving part of the box shaped by the receiving coil and having openings. The (4), and closed the receiving section (4) of the cover part of the opening portion (5), in the accommodating part (4) and closed the opening part of the cover (5) face or the bottom surface of the cover portion (5) is arranged on the the reinforcing rib (6), with the help of the fastening parts of reinforcing rib (6) and the cover (5) or the receiving section (4) fastened.
【技术实现步骤摘要】
真空用直线电动机的动子
本专利技术涉及真空用直线电动机的动子。
技术介绍
一直以来,在真空装置内利用直线电动机的情况下,例如专利文献1所公开那样,通常用金属制的罐(外壳)包围电动机动子和定子(线圈或磁铁)中的任一方,抑制向真空环境中的气体排放。但是,难以将大气从罐中完全排除,因此,由于真空和罐中的残留大气的差压而引起的应力,罐产生挠曲,动子和定子有时发生接触。因此,现状是不得不采取如下等对策:扩大动子与定子之间的间隙,或者为了防止罐的变形而增大罐的板厚来提高刚性。专利文献1:日本特开2005-51906号公报但是,如果扩大动子与定子之间的间隙,或者增大罐的板厚,则导致电动机推力的下降,需要线圈匝数的增加、驱动用电源容量的增大以及安全对策等,导致成本的上升。
技术实现思路
本专利技术解决了上述那样的问题,提供一种即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙、且能够在与大气环境相同的系统中使用的划时代的真空用直线电动机的动子。涉及一种真空用直线电动机的动子,该真空用直线电动机由排列设置磁铁而成的定子、和在所述磁铁的排列设置方向上移动的所述动子构成,所述真空用直线电动机的动子的特征在于,所述动子由收纳线圈并具有开口部的箱状的收纳部和封闭该收纳部的所述开口部的盖部构成,在所述收纳部的与封闭所述开口部的所述盖部面对的底面或所述盖部上设置有加强肋,该加强肋与所述盖部或所述收纳部借助于紧固部件紧固起来。本专利技术由于如上述那样构成,因此成为即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙的划时代的真 ...
【技术保护点】
一种真空用直线电动机的动子,该真空用直线电动机由排列设置磁铁而成的定子和在所述磁铁的排列设置方向上移动的所述动子构成,所述真空用直线电动机的动子的特征在于,所述动子由收纳线圈并具有开口部的箱状的收纳部和封闭该收纳部的所述开口部的盖部构成,在所述收纳部的与封闭所述开口部的所述盖部面对的底面或所述盖部上设置有加强肋,该加强肋与所述盖部或所述收纳部借助于紧固部件紧固起来。
【技术特征摘要】
2016.03.28 JP 2016-0641451.一种真空用直线电动机的动子,该真空用直线电动机由排列设置磁铁而成的定子和在所述磁铁的排列设置方向上移动的所述动子构成,所述真空用直线电动机的动子的特征在于,所述动子由收纳线圈并具有开口部的箱状的收纳部和封闭该收纳部的所述开口部的盖部构成,在所述收纳部的与封闭所述开口部的所述盖部面对的底面或所述盖部上设置有加强肋,该加强肋与所述盖部或所述收纳部借助于紧固部件紧固起来。2.一种真空用直线电动机的动子,该真空用直线电动机由排列设置磁铁而成的定子和在所述磁铁的排列设置方向上移动的所述动子构成,所述真空用直线电动机的动子的特征在于,所述动子由收纳无芯线圈并具有开口部的箱状的收纳部和封闭该收纳部的所述开口部的盖部构成,在所述收纳部的与封闭所述开口部的所述盖部面对的底面上,一体成型有加强肋,所述加强肋位于被收纳于该收纳部的所述无芯线圈的中空部,该加强肋与所述盖部借助于紧固部件紧固起来。3.根据权利要求2所述的真空用直线电动机的动子,其特征在于,所述加强肋分别被设置于按照规定的间隔排列设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:中村谕,高桥悌二,寺岛弘二,
申请(专利权)人:佳能特机株式会社,日机电装株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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