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本发明提供一种真空用直线电动机的动子，其是即使不增大罐的板厚也能够利用简单的结构抑制变形、能够尽可能地减小动子与定子之间的间隙、且能够在与大气环境相同的系统中使用的划时代的真空用直线电动机的动子。一种由排列设置磁铁(1)而成的定子(2)、和...
该专利属于佳能特机株式会社;日机电装株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社;日机电装株式会社授权不得商用。

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