干式真空泵装置和真空排气系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供干式真空泵装置和真空排气系统，在负载增大时能够不使马达及逆变器发生故障地稳定运转。一种具有至少1个泵单元和控制泵单元的控制装置(5)的干式真空泵装置(1)，泵单元具有干式真空泵(2)、驱动干式真空泵(2)的马达(3)、和控制马达(3)的转速的逆变器(4)，控制装置(5)具有将逆变器(4)的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，第1电流限制值是逆变器(4)能够连续流向马达(3)的电流的最大值即连续额定电流值，第2电流限制值是超过连续额定电流值的值。

Dry vacuum pump device and vacuum exhaust system

The invention provides a dry vacuum pump device and a vacuum exhaust system, which can stably operate a motor and an inverter when the load is increased. A control device has at least 1 pump unit and a control unit pump (5) the dry vacuum pump device (1), pump unit with dry vacuum pump (2) driven, dry vacuum pump (2) of the motor (3), and (3) inverter control motor speed (4). The control device (5) with the inverter (4) of the output current limit value of first from the current limit switch limit value of second current, first current limit value is the inverter (4) capable of continuous flow to the motor (3) of the maximum current is continuous rated current value, the current limit value is more than second continuous rated current value.

【技术实现步骤摘要】
干式真空泵装置和真空排气系统本申请是申请日为2013年9月30日、申请号为201310460434.5、专利技术名称为“干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置。
技术介绍
通常而言，干式真空泵装置具有干式真空泵、驱动干式真空泵的马达、控制马达转速(旋转频率)的逆变器、和控制逆变器动作的控制装置。干式真空泵有时为了将半导体制造装置的真空室内的气体排出而使用，但根据气体种类不同有时因化学反应而生成生成物(反应生成物)。当排出这样的气体时，有时在泵内生成生成物，生成物进入泵转子。另外，附着于真空室的内壁的生成物有时会剥落而进入泵转子。其结果，泵的转速降低。存在在真空室与泵之间设置有加载互锁室(loadlockchamber)的所谓的加载互锁方式的真空排气系统。加载互锁室是用于在对保持真空的真空室进出晶片时进行从大气压向真空的降压和从真空向大气压的升压的小空间。真空室原则上始终处于真空状态。能够在该真空室内的真空空间与大气压空间之间进行晶片输送的是加载互锁室。晶片在真空室内被处理，缩短对真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置，所述干式真空泵装置的特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值，所述控制装置在将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值的频度超过预定的阈值时发出警告。

【技术特征摘要】
2012.10.05 JP 2012-2228781.一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置，所述干式真空泵装置的特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值，所述控制装置在将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值的频度超过预定的阈值时发出警告。2.一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置，所述干式真空泵装置的特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值，所述控制装置对将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值的次数的累计值进行计数，在所述累计值高于预定的阈值的情况下，所述控制装置降低所述第2电流限制值本身，或者，所述控制装置对将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值的次数的频度进行计数，在所述频度高于预定的阈值的情况下，所述控制装置降低所述第2电流限制值本身。3.一种干式真空泵装置，具有至少一个泵单元和控制所述泵单元的控制装置、以及测定流入所述泵单元的气体的流量的流量传感器，所述干式真空泵装置的特征在于，所述泵单元具有：干式真空泵；驱动所述干式真空泵的马达；和控制所述马达的转速的逆变器，所述控制装置具有将所述逆变器的输出电流限制值从第1电流限制值切换为第2电流限制值的功能，所述第1电流限制值是所述逆变器能够连续流向所述马达的电流的最大值即连续额定电流值，所述第2电流限制值是超过所述连续额定电流值的值，所述控制装置在由所述流量传感器测定出的流量为预定的阈值以下、且所述逆变器的输出电流为预定的阈值以上的情况下，将所述逆变器的输出电流限制值从所述第1电流限制值切换为所述第2电流限制值。4.一种干式真空泵装置，具有至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩崎弘一，中泽敏治，吉田真也，大山敦，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP