IGBT及FRD芯片动态测试夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具，在壳体内固定有隔板，在隔板上开设有抽气口，在隔板上设有芯片吸腔，在芯片吸腔的上腔板上开设有负压吸口，隔板上方的壳体上安装有惰性气体输入接口、惰性气体输出接口与负母排端口，在芯片吸腔上方设有可插拔测试探针与栅极测试探针，在隔板下方的壳体上安装有抽气管、正母排端口与通讯控制保护接口，正母排端口的连接线接在芯片吸腔的上腔板上，抽气管通过抽气口与芯片吸腔相连，在隔板下方的壳体内设有驱动板，在隔板下方设有陪测功率器件，在陪测功率器件上安装有第一、二负载电感插孔。本实用新型专利技术可以在不同温度下，根据不同电压电流等级的IGBT芯片调整不同的测试探针来安全、可靠、测试芯片。

【技术实现步骤摘要】
IGBT及FRD芯片动态测试夹具
本技术涉及一种芯片测试夹具，本技术尤其是涉及一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具。
技术介绍
当前，因IGBT芯片从研发、设计、工艺定型、芯片封装到最终的产品使用，这个过程周期长、效率低、问题多，这些都会对新产品的研发定型或产品优化带来不可避免的麻烦。为了加快产品的研发、优化速度并对封装的产品提前做好相关参数的测试，就会加快芯片器件设计、优化的效率。目前国内对芯片级的测试只是出于静态测试，动态测试还处于盲区，因此就需要一种能够提供高效、安全、精准测试的芯片动态模块测试夹具。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以进行高效、安全且精准测试的IGBT及FRD芯片动态测试夹具。按照本技术提供的技术方案，所述IGBT及FRD芯片动态测试夹具，在壳体内固定有隔板，在隔板上开设有抽气口，在隔板上设有芯片吸腔，在芯片吸腔的上腔板上开设有负压吸口，隔板上方的壳体上安装有惰性气体输入接口、惰性气体输出接口与负母排端口，在芯片吸腔上方设有可插拔测试探针与栅极测试探针，可插拔测试探针的连接线从负母排端口接出，在隔板下方的壳体上安装有抽气管、正母排端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具，其特征是：在壳体（20）内固定有隔板（19），在隔板（19）上开设有抽气口，在隔板（19）上设有芯片吸腔（4），在芯片吸腔（4）的上腔板上开设有负压吸口，隔板（19）上方的壳体（20）上安装有惰性气体输入接口（11）、惰性气体输出接口（12）与负母排端口（15），在芯片吸腔（4）上方设有可插拔测试探针（5）与栅极测试探针（7），可插拔测试探针（5）的连接线从负母排端口（15）接出，在隔板（19）下方的壳体（20）上安装有抽气管（18）、正母排端口（14）与通讯控制保护接口（13），正母排端口（14）的连接线接在芯片吸腔（4）的上腔板上，抽气管（18）通过抽...

【技术特征摘要】
1.一种IGBT及FRD芯片动态测试夹具，其特征是：在壳体（20）内固定有隔板（19），在隔板（19）上开设有抽气口，在隔板（19）上设有芯片吸腔（4），在芯片吸腔（4）的上腔板上开设有负压吸口，隔板（19）上方的壳体（20）上安装有惰性气体输入接口（11）、惰性气体输出接口（12）与负母排端口（15），在芯片吸腔（4）上方设有可插拔测试探针（5）与栅极测试探针（7），可插拔测试探针（5）的连接线从负母排端口（15）接出，在隔板（19）下方的壳体（20）上安装有抽气管（18）、正母排端口（14）与通讯控制保护接口（13），正母排端口（14）的连接线接在芯片吸腔（4）的上腔板上，抽气管（18）通过抽气口与芯片吸腔（4）相连，在隔板（19）下方的壳体（20）内设有驱动板（3），驱动板（3）与栅极测试探针（7）相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：程炜涛，董志意，赵鹏，张伟勋，王海军，
申请(专利权)人：江苏中科君芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32