一种触探式扫描装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种触探式扫描装置，包括：扫描分析组件，包括由顶壁、底壁和与底壁相垂直的侧壁共同围成的不透明的封闭式腔体，底壁内表面固定有多个组成块，组成块高度均小于腔体高度；顶壁上设有对应于组成块的空洞轨道，空洞轨道贯穿顶壁且宽度小于任意一个组成块在各个方向上的边长；扫描探针，用于自空洞轨道插入腔体内部来依次扫描各个组成块，包括针柄和针头，针头至少在一个方向上的宽度小于空洞轨道的宽度。本实用新型专利技术利用但简化了传统的扫描式探针显微镜的扫描式间接触探原理，不需任何光电或者特殊材料，可作为简单的教育玩具或科学工具为儿童等群体提供安全、低成本的玩耍新体验与学习科学的乐趣，具有很高的市场推广价值。

【技术实现步骤摘要】
一种触探式扫描装置
本技术涉及一种物体分析的探测仪器，尤其是一种触探式扫描装置。
技术介绍
扫描式探针显微镜是利用探针探触材料的纳米表面的仪器，是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器。专利号为CN03156917.X的中国专利文献公开了一种扫描探针显微镜，包括带针尖的微悬臂，微悬臂与振荡装置固定连接。针尖位于微悬臂的一端，振荡装置位于微悬臂的另一端。振荡装置包括压电陶瓷晶体，和对该压电陶瓷晶体的振荡频率及振幅进行控制的振荡频率控制器，微悬臂固定在压电陶瓷晶体上。压电陶瓷晶体带动微悬臂以20nm-100nm的振幅在压电陶瓷的谐振频率附近振荡，并使得针尖的振动频率与针尖的固有频率相同，以形成共振峰。共振峰的振幅采用均方根测试电路测试，并转化为电信号传输至振荡频率控制器，振荡频率控制器使针尖以该振幅在样品表面振荡。微悬臂的上方设置有通过光路系统检测微悬臂振幅变化的光斑位置检测器，光斑位置检测器将微悬臂振幅变化的电信号传输至控制扫描管伸缩变化的反馈回路，扫描管的伸缩变化数据以及扫描位移数据通过计算机数据处理系统以灰度值本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触探式扫描装置，其特征在于，包括：扫描分析组件，所述扫描分析组件包括由顶壁、底壁和与所述底壁相垂直的侧壁共同围成的不透明的封闭式腔体，所述底壁的内表面固定有多个组成块，所述组成块的高度均小于所述腔体的高度；所述顶壁上设有对应于所述组成块的空洞轨道，所述空洞轨道贯穿所述顶壁，且宽度小于任意一个所述组成块在各个方向上的边长；扫描探针，用于自所述空洞轨道插入所述腔体内部来依次扫描各个所述组成块，所述扫描探针包括针柄和针头，所述针头至少在一个方向上的宽度小于所述空洞轨道的宽度。

【技术特征摘要】
1.一种触探式扫描装置，其特征在于，包括：扫描分析组件，所述扫描分析组件包括由顶壁、底壁和与所述底壁相垂直的侧壁共同围成的不透明的封闭式腔体，所述底壁的内表面固定有多个组成块，所述组成块的高度均小于所述腔体的高度；所述顶壁上设有对应于所述组成块的空洞轨道，所述空洞轨道贯穿所述顶壁，且宽度小于任意一个所述组成块在各个方向上的边长；扫描探针，用于自所述空洞轨道插入所述腔体内部来依次扫描各个所述组成块，所述扫描探针包括针柄和针头，所述针头至少在一个方向上的宽度小于所述空洞轨道的宽度。2.如权利要求1所述的触探式扫描装置，其特征在于，所述底壁的内表面设有固定单位长度的网格，所述网格由沿宽度方向的多条平行横线和沿厚度方向的多条平行纵线相交而成，各个所述组成块的底面中心置于所述网格的交点处，所述空洞轨道对应于所述网格设置。3.如权利要求2所述的触探式扫描装置，其特征在于，所述空洞轨道包括对应于一条所述纵线的一条纵向轨道和对应于多条所述横线的多条横向轨道，所述纵向轨道将多条所述横向轨道贯穿连通。4.如权利要求3所述的触探式扫描装置，其特征在于，所述横向轨道为对应于所述横线的直线轨道。5.如权利要求3所述的触探式扫描装置，其特征在于，所述横向轨道为对应于所述横线的“凸”字型轨道，每条所述横向轨道包括间隔排布的多个突出部分，每个所述突出部分均对应于所述网格的一个交点。6.如权利要求2所述的触探式扫描装置，其特征在于，所述腔体的所述顶壁上和/或侧壁上标...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈弼梅，秦冰，
申请(专利权)人：飞锦信息技术服务上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31