测试板以及裂纹检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测试板以及裂纹检测装置，所述测试板包括一用于检测一待测基板的裂纹，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。当将一待测基板放置于所述应变区域上时，向所述待测基板施加应力，位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力不同，各所述应变单元所受的应力影响各所述应变单元的阻值，通过测量所述应变单元的阻值变化，从而可以得到位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力，并得到裂纹的尺寸及裂纹的位置的信息。

【技术实现步骤摘要】
测试板以及裂纹检测装置
本技术涉及显示
，特别是涉及一种测试板以及裂纹检测装置。
技术介绍
目前，基板中的阻挡层通常采用沉积氮化硅材料(SiNx)和氧化硅材料(SiOx)的方式形成，但是，由于SiNx和SiOx均为无机材料，在基板弯折的过程中阻挡层容易产生裂缝(crack)。此外，为了防止水氧通过接触孔(pinhole)渗入OLED器件内部，需要SiNx和SiOx具有一定的厚度以达到阻水阻氧的作用，而SiNx和SiOx膜层厚度的增加，又进一步加剧了阻挡层产生裂缝的可能性，因此，及时的检测发现阻挡层上是否存在裂纹，有利于OLED器件的生产良率。现有技术中检测裂纹的方法为通过在制备柔基板过程中，在与所述阻挡层相邻的位置设置一裂缝检测层，通过利用裂缝检测层在通电状态下，对产生裂缝的阻挡层与未产生裂缝的阻挡层呈现的颜色不同来判断阻挡层是否存在裂纹。但是，现有的检测裂纹的方法仅仅局限于获知裂纹是否存在，对于裂纹的尺寸及裂纹的位置等信息一无所知。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种测试板以及裂纹检测装置，以弥补现有技术中检测裂纹的方法无法对裂纹的尺寸及裂纹的位置进行检测确认的不足。为解决上述技术问题，本技术提供一种测试板，用于检测一待测基板的裂纹，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。进一步的，在所述测试板中，每个所述应变单元包括至少一个灵敏栅。进一步的，在所述测试板中，所述应变单元包括第一方向灵敏栅、第二方向灵敏栅、第三方向灵敏栅，所述第一方向灵敏栅和第二方向灵敏栅相互垂直，所述第三方向灵敏栅与所述第一方向灵敏栅和第二方向灵敏栅的夹角均为45°。进一步的，在所述测试板中，所述测试板还包括多个第一灵敏栅连接端和多个第二灵敏栅连接端，所述灵敏栅的两端分别连接一个所述第一灵敏栅连接端和一个所述第二灵敏栅连接端。进一步的，在所述测试板中，所述测试板还包括一电路区域，所述电路区域内包括多个应变测量电路，所述应变测量电路包括第一连接端和第二连接端以及输出端，每个所述灵敏栅的两端分别连接一所述应变测量电路的第一连接端和第二连接端。进一步的，在所述测试板中，所述应变测量电路还包括第三连接端和第四连接端，所述第二连接端和第三连接端之间接入一第一电阻，所述第三连接端和第四连接端之间接入一第二电阻，所述第四连接端和第一连接端之间接入一第三电阻，所述第二连接端和第四连接端之间接入一驱动电源，所述第一连接端和第三连接端之间形成所述输出端。根据本技术的另一面，还提供一种裂纹检测装置，包括：如上任意一项所述的测试板；用于检测所述灵敏栅应变情况的信号处理器，所述信号处理器的输入端与所述灵敏栅的两端电连接；以及微处理器，所述微处理器的一输入端连接所述信号处理器的输出端。进一步的，在所述裂纹检测装置中，所述待测基板通过胶粘贴在所述应变区域上。进一步的，在所述裂纹检测装置中，所述测试板还包括多个第一灵敏栅连接端和多个第二灵敏栅连接端，所述灵敏栅的两端分别连接一个所述第一灵敏栅连接端和一个所述第二灵敏栅连接端；所述信号处理器包括多个第一输入端和多个第二输入端，每个所述第一输入端对应连接一个所述第一灵敏栅连接端，每个所述第二输入端对应连接一个所述第二灵敏栅连接端。进一步的，在所述裂纹检测装置中，所述测试板还包括一电路区域，所述电路区域内包括多个应变测量电路，所述应变测量电路包括第一连接端和第二连接端以及输出端，每个所述灵敏栅的两端分别连接一所述应变测量电路的第一连接端和第二连接端；所述信号处理器包括多个电路连接端，每个所述电路连接端对应连接一个所述应变测量电路的输出端。本技术提供的测试板具有以下优点：在本技术提供的测试板中，所述测试板包括一用于检测一待测基板的裂纹，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。当将一待测基板放置于所述应变区域上时，向所述待测基板施加应力，位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力不同，各所述应变单元所受的应力影响各所述应变单元的阻值，通过测量所述应变单元的阻值变化，从而可以得到位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力，并得到裂纹的尺寸及裂纹的位置的信息，满足实际生产中对于基板的裂纹检测需求，有利于及时发现基板的缺陷，以提高OLED等器件的产品良率。附图说明图1为一基板出现圆洞裂纹时的应力分布示意图；图2为一基板出现条形裂纹时的应力分布示意图；图3为本技术一实施例的测试板与待测基板粘贴时的剖面结构示意图；图4为本技术一实施例的测试板的俯视图；图5为本技术一实施例的应变单元的俯视图；图6为本技术一实施例的裂纹检测装置的电路示意图；图7为本技术一实施例的测试结果的示意图；图8为本技术另一实施例的测试板的俯视图；图9为本技术另一实施例的应变测量电路的俯视图；图10为本技术另一实施例的裂纹检测装置的电路示意图。具体实施方式专利技术人对现有技术研究发现，如果一基板出现裂纹，则对所述基板施加均布载荷时，所述基板的部分区域会出现应力集中的现象。如图1所示，当一基板出现圆洞裂纹时，向对所述基板施加均布载荷(在图1中施加压应力σ1)时，应力在圆洞裂纹的边缘出现应力集中，其中，σ1x表示x方向的应力分布，σ1y表示y方向的应力分布，x方向和y方向相互垂直。如图2所示，当一基板出现条形裂纹时，向对所述基板施加均布载荷(在图2中施加压应力σ2)时，应力在圆洞裂纹的边缘出现应力集中，其中，σ2x表示x方向的应力分布，σ2y表示y方向的应力分布，x方向和y方向相互垂直。专利技术人进一步研究发现，如果在基板的一侧粘贴一可以检测基板应力分布的测试板，则可以根据所述应力分布的情况得到裂纹的位置以及形状。根据上述研究，专利技术人提出一种测试板，所述测试板包括一用于检测一待测基板的裂纹，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。当将一待测基板放置于所述应变区域上时，向所述待测基板施加应力，位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力不同，各所述应变单元所受的应力影响各所述应变单元的阻值，通过测量所述应变单元的阻值变化，从而可以得到位于所述应变区域上的各所述应变单元所受的应力，并得到裂纹的尺寸及裂纹的位置的信息，满足实际生产中对于基板的裂纹检测需求，有利于及时发现基板的缺陷，以提高OLED等器件的产品良率。下面将结合示意图对本技术的测试板进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试板，用于检测一待测基板的裂纹，其特征在于，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。

【技术特征摘要】
1.一种测试板，用于检测一待测基板的裂纹，其特征在于，所述测试板包括一用于感应所述待测基板应力的应变区域，所述应变区域内包括多个应变单元，至少所述应变区域为柔性，所述应变区域的柔软度大于所述待测基板的柔软度。2.如权利要求1所述的测试板，其特征在于，每个所述应变单元包括至少一个灵敏栅。3.如权利要求2所述的测试板，其特征在于，所述应变单元包括第一方向灵敏栅、第二方向灵敏栅和第三方向灵敏栅，所述第一方向灵敏栅和第二方向灵敏栅相互垂直，所述第三方向灵敏栅与所述第一方向灵敏栅和第二方向灵敏栅的夹角均为45℃。4.如权利要求2所述的测试板，其特征在于，所述测试板还包括多个第一灵敏栅连接端和多个第二灵敏栅连接端，所述灵敏栅的两端分别连接一个所述第一灵敏栅连接端和一个所述第二灵敏栅连接端。5.如权利要求2所述的测试板，其特征在于，所述测试板还包括一电路区域，所述电路区域内包括多个应变测量电路，所述应变测量电路包括第一连接端和第二连接端以及输出端，每个所述灵敏栅的两端分别连接一所述应变测量电路的第一连接端和第二连接端。6.如权利要求5所述的测试板，其特征在于，所述应变测量电路还包括第三连接端和第四连接端，所述第二连接端和第三连接端之间接入一第一电阻，所述第三连接端和第四连接端之间接入一第二电阻，所述第四连接端...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹敏，
申请(专利权)人：霸州市云谷电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13