一种可调激光器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种热调谐的波长可调激光器，所述激光器包括：加热层、介质层、反射镜、传输层、支撑层和衬底层。其中，所述加热层，位于所述传输层的上方；所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层；所述反射镜，位于所述传输层中；所述支撑层，位于所述传输层和所述衬底层之间，具有保护结构，所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构，所述中空的部分具有支撑结构；所述衬底层，位于所述支撑层的下方。其中，所述加热层，反射镜和部分传输层组成悬空结构，可以防止热量散失。本发明专利技术的激光器利用底部支撑的悬空结构进行隔热，制作方式简单，可以提高热调谐效率，降低功耗。

【技术实现步骤摘要】
一种可调激光器及制备方法
本专利技术涉及光纤通信领域，尤其涉及一种波长可调的激光器及制备方法。
技术介绍
在光通信领域，可调激光器(TunableLaser，简称TL)指的是输出波长可在一定范围内进行调节的激光器。可调激光器主要应用于相干调制光传输，而相干调制已经成为100G及以上速率长途光传输的业界主流方案。随着对带宽持续增长的需求驱动，市场规模持续快速增长，对可调光激光器的尺寸、成本、性能、可靠性等方面提出了更高的要求。单片集成可调激光器具有体积小、集成度高等优点，因此成为当前光通信领域的主流技术。可调激光器可以大体上通过增益区与磷化铟(IndiumPhosphide，简称InP)衬底上的无源区对接制造。增益区一般为多量子阱(MultipleQuantumWell，简称MQW)，而无源区主要包括反射镜(例如，分布布拉格反射器(DistributedBraggReflector，简称DBR))和相位区段。波长调谐是通过调谐DBR区段的折射率来实现。调谐机制主要包含电流注入调谐和通过局部加热层的热调谐两种。热调谐具有比电流注入调谐更低的调谐损耗，因此会带来更窄的激光器线宽，可以满足高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热调谐的波长可调激光器，其特征在于，包括：加热层，传输层，反射镜，支撑层和衬底层，其中，所述加热层，位于所述传输层的上方；所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层；所述反射镜，位于所述传输层中；所述支撑层，位于所述传输层和所述衬底层之间，具有保护结构，所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构，所述中空的部分具有支撑结构；所述衬底层，位于所述支撑层的下方。

【技术特征摘要】
1.一种热调谐的波长可调激光器，其特征在于，包括：加热层，传输层，反射镜，支撑层和衬底层，其中，所述加热层，位于所述传输层的上方；所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层；所述反射镜，位于所述传输层中；所述支撑层，位于所述传输层和所述衬底层之间，具有保护结构，所述保护结构与所述传输层和所述衬底层一起形成中空结构，所述中空的部分具有支撑结构；所述衬底层，位于所述支撑层的下方。2.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，所述支撑结构与所述保护结构之间具有空隙，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。3.根据权利要求1或2所述的激光器，其特征在于，沿第二方向，所述支撑结构与所述保护结构之间具有空隙，所述第二方向垂直于光在波导层中的传输方向。4.根据权利要求3所述的激光器，其特征在于，所述支撑结构的数量大于或等于一个。5.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述反射镜位于所述传输层中上包层的下半部分，或所述下包层的上半部分，或在上包层和波导层中各存在一部分，或在下包层和波导层中各存在一部分。6.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述传输层还包括：第一阻挡层，位于所述下包层的下方。7.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述衬底层还包括：第二阻挡层，位于所述衬底材料层上方；衬底材料层，位于所述第二阻挡层下方。8.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述传输层还包括：介质层，位于所述上包层上方。9.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，包含反射镜部分的传输层与两侧传输层材料具有空隙，形成悬空结构，所述空隙在反射镜沿第一方向的长度范围内，将所述悬空结构和所述两侧传输层材料完全隔离开，使所述悬空结构和所述两侧传输层材料无连接，其中，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。10.根据权利要求1所述的激光器，其特征在于，沿第一方向，包含反射镜的部分传输层与两侧传输层材料具有空隙，形成悬空结构，所述空隙在反射镜沿第一方向的长度范围内，将所述悬空结构和所述两侧传输层材料部分隔离开，使所述悬空结构和所述两侧传输层材料具有一个或多个连接结构，其中，所述第一方向为光在波导层中的传输方向。11.根据权利要求9或10所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构沿第一方向具有宽窄不一的宽度。12.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构更宽的部分下方具有所述支撑结构，所述悬空结构更窄的部分下方不具有所述支撑结构。13.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构更宽的部分下方具有体积大的支撑结构，所述悬空结构更窄的部分下方具有体积小的支撑结构。14.根据权利要求11所述的激光器，其特征在于，所述悬空结构沿第一方向的宽度，要大于或等于所述反射镜沿第一方向的宽度。15.一种热调谐的波长可调激光器的制备方法，其特征在于，包括：生长出带有多层材料的基底，所述多层基底包括传输层，支撑层和衬底层，其中，所述传输层，位于所述支撑层上方，从上到下包括上包层，波导层和下包层，在所述传输层中还存在反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺继方，陈宏民，雷红兵，沈晓安，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44