管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种管路保持连接结构，能够减小结构整体的宽度，且能够减少零件数及装配作业步骤。所述管路保持连接结构(30a)包括：外壳(32)，以气密地封闭真空容器(4)的开口部(6)的方式而固定；第1管路(50)，端部附近贯穿开口部(6)及外壳(32)；以及第2管路(60)，具有与所述端部的公螺纹部(56)螺合的母螺纹部(64)。管路(50)具有卡止部(52)。两管路(50)、(60)内供流体(2)流动。在管路(50)与外壳(32)及管路(60)的端部之间，分别设置有衬垫(72)、(73)。所述管路保持连接结构(30a)能够用于高频天线装置。

Pipe connection structure and high frequency antenna device with said structure

The invention provides a pipeline retaining connection structure, which can reduce the overall width of the structure, and can reduce the number of parts and the assembly operation step. The pipeline connected structure (30a) includes a housing (32), in a gastight closed vacuum container (4) of the opening (6) and fixed way; first lines (50), near the end of the opening part (6) and a housing (32); second (60), and pipeline the male part is provided with the end portion (56) of the female screw thread part (64). The pipeline (50) has a clamping portion (52). Two pipes (50) and (60) are provided for fluid (2) flow. A gasket (72) and (73) are respectively arranged between the end of the pipeline (50) and the shell (32) and the end of the pipeline (60). The pipeline retention connection structure (30a) can be used for high frequency antenna devices.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置
本专利技术涉及一种管路(pipe)保持连接结构以及具备所述结构的高频天线(antenna)装置，所述管路保持连接结构例如被用于如等离子体(plasma)处理装置或离子(ion)源等具备真空容器的真空装置中，在内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分保持第1管路，并且将所述第1管路与第2管路予以连接。
技术介绍
专利文献1中记载有管路保持连接结构的一例，所述管路保持连接结构是在内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分保持第1管路，并且将所述第1管路与第2管路予以连接。参照图1对其进行说明。在具有开口部6的真空容器4的外壁，以气密地封闭开口部6的方式，使用螺栓(bolt)10而固定有外壳(housing)8。在外壳8与真空容器4之间，设置有对两者间进行真空密封(seal)的O型环(Oring)12。设置于真空容器4内且内部供流体2流动的第1管路16的端部附近贯穿真空容器4的开口部6及外壳8。在外壳8与第1管路16之间，设置有对两者间进行真空密封的O型环14。流体2例如为用于对第1管路16进行冷却的冷却水之类的制冷剂或各种气体。所述第1管路16的端部被插入至设置于真空容器4外且在内部供所述流体2流动的第2管路18的端部内，两管路16、18彼此连接，所述连接部利用O型环28密封。第1管路16朝向真空容器4外侧方向的移动被卡止部20阻止。在第2管路18的端部设置有凸缘部22，在所述凸缘部22与所述外壳8的螺孔9之间，设置有至少两根无头螺栓(studbolt)24，利用所述无头螺栓24将管路18固定于外壳8。26为螺母(nut)。利用如上所述的结构，可相对于真空容器4来保持第1管路16，并且可将所述管路16与第2管路18予以连接。因而，可从管路18向管路16或与此相反地供给流体2。现有技术文献专利文献专利文献1日本专利特开2011-241917号公报(段落0019-段落0028，图2)
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在所述现有的管路保持连接结构中，为了确保O型环28对第1管路16与第2管路18之间的密封性能等，必须将第2管路18相对于外壳8而不倾斜地牢固固定，因此，至少需要两根无头螺栓24。并且，必须在外壳8上设置用于螺入各无头螺栓24的螺孔9，相应地需要空间(space)，因此结构整体的宽度变大。而且，相对于一根第1管路16，无头螺栓24及螺母26分别至少各需要2个，因此零件数变多，并且用于将它们结合装配的装配作业步骤也变多。因此，本专利技术的一个目的在于改善如上所述的方面，提供一种可减小结构整体的宽度且可减少零件数及装配作业步骤的管路保持连接结构。而且，另一目的在于提供一种具备此种管路保持连接结构的高频天线装置。解决问题的技术手段本专利技术的第1管路保持连接结构为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且其端部附近贯穿所述真空容器的开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在端部具有公螺纹部；衬垫(packing)，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在其端部具有母螺纹部，所述母螺纹部与所述第1管路的公螺纹部螺合以连接两管路；以及衬垫，对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。所述第1管路保持连接结构中，可利用所述卡止部来阻止第1管路朝向真空容器外侧方向的移动。而且，由于为第1管路的端部的公螺纹部与第2管路的端部的母螺纹部相螺合而连接两管路的结构，因此即便不使用如现有技术那样的无头螺栓及螺母等，也可确保衬垫对两管路间的密封性能来连接第1管路与第2管路。本专利技术的第2管路保持连接结构为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器外壁，且在其内部具有贯穿孔以及与所述贯穿孔相连的第1母螺纹部及第2母螺纹部；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，其端部附近贯穿所述真空容器的开口部，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在端部具有公螺纹部，所述公螺纹部与所述外壳的第1母螺纹部螺合，以连接所述第1管路与所述外壳；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动；以及接头，具有连接所述第2管路的端部的部分、及与所述外壳的第2母螺纹部螺合的公螺纹部，将所述第2管路以密封所述流体的状态而连接于所述外壳。所述第2管路保持连接结构中，可利用所述卡止部来阻止第1管路朝向真空容器外侧方向的移动。进而，由于为第1管路的端部的公螺纹部与外壳的第1母螺纹部相螺合的结构，因此可协同所述卡止部来更确实地阻止第1管路的轴向移动。而且，由于为使第1管路端部的公螺纹部螺合于外壳的第1母螺纹部，且利用与所述外壳的第2母螺纹部螺合的接头来将第2管路连接于外壳的结构，因此即便不使用如现有技术那样的无头螺栓及螺母等，也可确保各连接部的密封性能来连接第1管路与第2管路。本专利技术的高频天线装置中，所述第1管路包括导体，其两端部附近分别贯穿在所述真空容器的壁面上所设的两个开口部，且在所述第1管路的各端部附近贯穿所述各开口部的部分，包括所述第1管路保持连接结构或所述第2管路保持连接结构。也可在第1管路的其中一个端部附近包括所述第1管路保持连接结构，且在另一个端部附近包括所述第2管路保持连接结构。专利技术的效果根据技术方案1所述的专利技术，由于为第1管路端部的公螺纹部与第2管路端部的母螺纹部相螺合而连接两管路的结构，因此即便不使用如现有技术那样的无头螺栓及螺母等，也可确保衬垫对两管路间的密封性能来连接第1管路与第2管路。其结果，与使用无头螺栓及螺母等的情况相比，可减小所述结构整体的宽度，且可减少零件数及装配作业步骤。根据技术方案2所述的专利技术，由于为使第1管路端部的公螺纹部螺合于外壳的第1母螺纹部，且利用与所述外壳的第2母螺纹部螺合的接头来将第2管路连接于外壳的结构，因此即便不使用如现有技术那样的无头螺栓及螺母等，也可确保各连接部的密封性能来连接第1管路与第2管路。其结果，与使用无头螺栓及螺母等的情况相比，可减小所述结构整体的宽度，且可减少零件数及装配作业步骤。进而，由于为第2管路经由接头而连接于外壳的结构，因此第2管路的形状、材质等的选择自由度增大。根据技术方案3所述的专利技术，可实现起到与技术方案1所述的专利技术的所述效果同样的效果的高频天线装置。根据技术方案4所述的专利技术，可实现起到与技术方案2所述的专利技术的所述效果同样的效果的高频天线装置。根据技术方案5所述的专利技术，可实现一种高频天线装置，对于具备技术方案1所述的管路保持连接结构的部分，起到与技术方案1所述的专利技术的所述效果同样的效果，对于具备技术方案2所述的管路保持连接结构的部分，起到与技术方案2所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在所述第2管路的端部具有母螺纹部，所述母螺纹部与所述第1管路的所述公螺纹部螺合以连接两管路；以及衬垫，对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.28 JP 2015-0139201.一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在所述第2管路的端部具有母螺纹部，所述母螺纹部与所述第1管路的所述公螺纹部螺合以连接两管路；以及衬垫，对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。2.一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器外壁，且在所述外壳的内部具有贯穿孔以及与所述贯穿孔相连的第1母螺纹部及第2母螺纹部；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的开口部，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部，所述公螺纹部与所述外壳的所述第1母螺纹部螺合，以连接所述第1管路与所述外壳；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动；以及接头，具有连接所述第2管路的端部的部分、及与所述外壳的所述第2母螺纹部螺合的公螺纹部，将所述第2管路以密封所述流体的状态而连接于所述外壳。3.一种高频天线装置，其特征在于，所述第1管路包括导体，所述第1管路的两端部附近分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东伟，安东靖典，
申请(专利权)人：日新电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP