管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种管路保持连接结构，能够减小结构整体的宽度，且能够减少零件数及装配作业步骤。所述管路保持连接结构(30a)包括：外壳(32)，以气密地封闭真空容器(4)的开口部(6)的方式而固定；第1管路(50)，端部附近贯穿开口部(6)及外壳(32)；以及第2管路(60)，具有与所述端部的公螺纹部(56)螺合的母螺纹部(64)。管路(50)具有卡止部(52)。两管路(50)、(60)内供流体(2)流动。在管路(50)与外壳(32)及管路(60)的端部之间，分别设置有衬垫(72)、(73)。所述管路保持连接结构(30a)能够用于高频天线装置。

Pipe connection structure and high frequency antenna device with said structure

The invention provides a pipeline retaining connection structure, which can reduce the overall width of the structure, and can reduce the number of parts and the assembly operation step. The pipeline connected structure (30a) includes a housing (32), in a gastight closed vacuum container (4) of the opening (6) and fixed way; first lines (50), near the end of the opening part (6) and a housing (32); second (60), and pipeline the male part is provided with the end portion (56) of the female screw thread part (64). The pipeline (50) has a clamping portion (52). Two pipes (50) and (60) are provided for fluid (2) flow. A gasket (72) and (73) are respectively arranged between the end of the pipeline (50) and the shell (32) and the end of the pipeline (60). The pipeline retention connection structure (30a) can be used for high frequency antenna devices.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】管路保持连接结构以及具备所述结构的高频天线装置
本专利技术涉及一种管路(pipe)保持连接结构以及具备所述结构的高频天线(antenna)装置，所述管路保持连接结构例如被用于如等离子体(plasma)处理装置或离子(ion)源等具备真空容器的真空装置中，在内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分保持第1管路，并且将所述第1管路与第2管路予以连接。
技术介绍
专利文献1中记载有管路保持连接结构的一例，所述管路保持连接结构是在内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分保持第1管路，并且将所述第1管路与第2管路予以连接。参照图1对其进行说明。在具有开口部6的真空容器4的外壁，以气密地封闭开口部6的方式，使用螺栓(bolt)10而固定有外壳(housing)8。在外壳8与真空容器4之间，设置有对两者间进行真空密封(seal)的O型环(Oring)12。设置于真空容器4内且内部供流体2流动的第1管路16的端部附近贯穿真空容器4的开口部6及外壳8。在外壳8与第1管路16之间，设置有对两者间进行真空密封的O型环14。流体2例如为用于对第1管路16进行冷却的冷却水之类的制冷剂或各种气体。所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在所述第2管路的端部具有母螺纹部，所述母螺纹部...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.28 JP 2015-0139201.一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器的外壁；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，且所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的所述开口部及所述外壳，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动，且在所述第2管路的端部具有母螺纹部，所述母螺纹部与所述第1管路的所述公螺纹部螺合以连接两管路；以及衬垫，对所述第1管路的端部与所述第2管路的端部之间进行密封。2.一种管路保持连接结构，其为内部供流体流动的管路贯穿真空容器的开口部的部分的结构，所述管路保持连接结构的特征在于包括：外壳，以气密地封闭所述开口部的方式而固定于所述真空容器外壁，且在所述外壳的内部具有贯穿孔以及与所述贯穿孔相连的第1母螺纹部及第2母螺纹部；第1管路，设置于所述真空容器内且在内部供所述流体流动，所述第1管路的端部附近贯穿所述真空容器的开口部，且在所述端部附近具有卡止部，所述卡止部与所述外壳的真空容器侧端部卡合，以阻止所述第1管路朝向真空容器外侧方向的移动，进而在所述第1管路的端部具有公螺纹部，所述公螺纹部与所述外壳的所述第1母螺纹部螺合，以连接所述第1管路与所述外壳；衬垫，对所述外壳与所述第1管路之间进行真空密封；第2管路，设置于所述真空容器外且在内部供所述流体流动；以及接头，具有连接所述第2管路的端部的部分、及与所述外壳的所述第2母螺纹部螺合的公螺纹部，将所述第2管路以密封所述流体的状态而连接于所述外壳。3.一种高频天线装置，其特征在于，所述第1管路包括导体，所述第1管路的两端部附近分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东伟，安东靖典，
申请(专利权)人：日新电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP