具有低压缩的层叠玻璃制品及其形成方法技术

强化玻璃制品(100)，例如用于p‑Si基晶体管的基材，包括第一和第二玻璃包覆层(104、106)以及布置在其间的玻璃芯层(102)。可以由相同玻璃制造的各包覆层(104、106)的热膨胀系数[CTE]至少比芯层(102)的CTE小1x10

Laminated glass product with low compression and method of forming the same

Glass products (100), such as P substrate for Si based transistors, including a first and a second glass coating layer (104, 106), arranged in the glass core layer (102). The thermal expansion coefficient [CTE] of each coating (104, 106) made of the same glass is at least CTE smaller than that of the core layer (102) 1x10

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有低压缩的层叠玻璃制品及其形成方法本申请要求2014年12月8日提交的美国申请第62/089,006号的优先权，其全文通过引用结合于此。
技术介绍
1.
本公开内容涉及玻璃制品，更具体地，涉及具有低压缩的层叠玻璃制品及其形成方法。2.技术背景当熔融玻璃从高温快速冷却时，随着温度的降低，冷却玻璃中的原子移动减慢，最终减小到由于常规振动状态的热群体而绕着固定位置振动。这些固定位置通常不是当玻璃在中间温度(例如玻璃转变温度或者应变点或退火点)保持延长时间(数秒至数天)的情况下会呈现的位置。因此，当将快速猝冷的玻璃制品在成形过程中被再次加热至中间温度时，热集合振动态允许原子弛豫到能够更好地满足其单独和集体键合(bonding)要求的位置。此类弛豫通常伴随玻璃制品的物理尺寸的不可逆减小，因而再次加热之后的热弛豫被认为产生了玻璃制品的压缩。基于多晶硅(p-Si)的晶体管的特征是其电子迁移率高于基于无定形硅(a-Si)的晶体管。在显示器领域，会优选基于多晶硅的薄膜晶体管(TFT)，原因是它们能够更有效地传输电子。更有效的电子传输能够制造更小和更快的晶体管，这最终生产出更亮和更快速的显示器。基于p本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种强化的玻璃制品，其包括：第一玻璃包覆层；第二玻璃包覆层；以及布置在所述第一玻璃包覆层和所述第二玻璃包覆层之间的玻璃芯层；其中，所述第一玻璃包覆层和所述第二玻璃包覆层的热膨胀系数(CTE)分别至少比所述玻璃芯层的CTE小1x10

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.08 US 62/089,0061.一种强化的玻璃制品，其包括：第一玻璃包覆层；第二玻璃包覆层；以及布置在所述第一玻璃包覆层和所述第二玻璃包覆层之间的玻璃芯层；其中，所述第一玻璃包覆层和所述第二玻璃包覆层的热膨胀系数(CTE)分别至少比所述玻璃芯层的CTE小1x10-7℃-1；其中，所述玻璃芯层和玻璃包覆层分别包括小于700℃的应变点；以及其中，所述玻璃制品的压缩至多约20ppm。2.如权利要求1所述的玻璃制品，其特征在于，所述第一玻璃包覆层和所述第二玻璃包覆层分别包括至少约20MPa的压缩应力。3.如权利要求1或2所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层的CTE至少约为35x10-7℃-1。4.如权利要求1-3中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃包覆层基本不含BaO。5.如权利要求1-4中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃包覆层包含：约60-70摩尔％的SiO2、约6-18摩尔％的Al2O3、约6-21摩尔％的B2O3、约0.2-5摩尔％的MgO以及约8-12摩尔％的CaO。6.如权利要求5所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃包覆层还包含约0.2-3摩尔％的SrO。7.如权利要求1-6中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃包覆层基本不含碱金属。8.如权利要求1-7中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃包覆层基本不含As2O3。9.如权利要求1-8中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层包含约50-80摩尔％的SiO2、约5-20摩尔％的Al2O3以及约1-8摩尔％的MgO。10.如权利要求9所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层还包含约3-11摩尔％的B2O3。11.如权利要求9或10所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层还包含约0.01-9摩尔％的CaO。12.如权利要求9-11中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层还包含约3-7摩尔％的SrO。13.如权利要求9-12中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃芯层还包含约0.01-0.1摩尔％的BaO。14.如权利要求1-13中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃制品的压缩至多约为3ppm。15.如权利要求1-14中任一项所述的玻璃制品，其特征在于，所述玻璃制品的压缩至多约为1ppm。16.如权利要求1-15中任一项所述的玻璃制品，所述玻璃制品还包括形成在所述玻璃制品的表面上的多晶硅(p-Si)电子器件。17.如权利要求16所述的玻璃制品，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·J·基克辛斯基，S·J·蔻瑟巴，N·文卡特拉曼，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US