臭氧生成装置制造方法及图纸

臭氧生成装置(10)具备：具有产生沿面放电的顶面(11A)的电介质部(11)；和由与顶面(11A)对置地设置在电介质部(11)的导体构成、而且沿着顶面(11A)排列的多个放电部(22A、22B)。在顶面(11A)形成有放电部(22A)与放电部(22B)之间的间隙部分(24)所对置的凹部(15)。

Ozone generating device

The ozone generating device (10) has produced top surface discharge (11A) of the dielectric part (11); and the top surface (11A) of land is arranged in the dielectric part (11) of the conductor, and along the top surface (11A) of a plurality of discharge arrangement (22A, 22B). A recessed portion (15) opposite the clearance portion (24) between the discharge portion (22A) and the discharge portion (22B) is formed on the top surface (11A).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧生成装置
本专利技术涉及沿着电介质表面使沿面放电产生、由与放电面对置的空间中的氧生成臭氧的臭氧生成装置。
技术介绍
图6是对现有的臭氧生成装置100(例如参照专利文献1～专利文献3。)的构成进行说明的图。臭氧生成装置100具备平板部101、第1平面导体104和第2平面导体105。平板部101具有相互层叠设置的基层102与表层103。基层102由氧化铝等陶瓷系的电介质材料构成。表层103由玻璃等电介质材料构成。第1平面导体104及第2平面导体105设置于基层102与表层103的界面。再有，第1平面导体104在俯视下为梳形，且具备相互平行的多个放电部106。第2平面导体105与第1平面导体104同样地为梳形，具备相互平行的多个放电部107。放电部106与放电部107隔开间隔而交替地排列。在该臭氧生成装置100中，通过在放电部106与放电部107之间施加交变电场，从而沿着电介质所组成的表层103的表面(放电面)产生沿面放电。通过该沿面放电而由与放电面对置的空间中的氧生成臭氧。在先技术文献专利文献专利文献1：专利第4220090号专利文献2：JP特开平10-7405号公报专利文献3：JP特开2014-58430号公报
技术实现思路
-专利技术所要解决的技术问题-如上述构成的臭氧生成装置中，为了使沿面放电稳定产生，需要高的驱动电压。因此，臭氧生成装置的驱动电压源需要大型的升压电路，驱动电压源的尺寸大且驱动电压源的成本会升高。再者，为了施加这种高的驱动电压，若在放电部有形状缺陷等，则容易引起火花放电等异常放电。若产生这种异常放电，则臭氧生成装置会遭受损伤或劣化。因而，本专利技术的目的在于提供一种能够使驱动电压低电力化的臭氧生成装置。-用于解决技术问题的手段-本专利技术的臭氧生成装置具备：电介质部，具有产生沿面放电的放电面；和多个放电部，由与所述放电面对置地设置在所述电介质部的导体构成，该多个放电部沿着所述放电面排列，所述放电面在所述多个放电部之间形成有凹部。该构成中，放电部间产生的电力线变得易于从放电面的凹部向电介质部的外侧扩散。为此，在放电面的凹部近旁，电场强度增强，变得易于产生沿面放电。因此，能够使产生沿面放电所需的驱动电压低电压化。优选将所述放电部与所述放电面对置的方向作为上侧，所述凹部的下表面被设置于所述放电部的下表面以上的高度。该构成中，能够增大凹部的下表面附近的电场强度(放电量)，能够使产生沿面放电所需的驱动电压低电压化。优选将所述放电部与所述放电面对置的方向作为上侧，所述凹部的下表面被设置于所述放电部的上表面以上的高度。在该构成中，也能够增大凹部的下表面附近的电场强度(放电量)，能够使产生沿面放电所需的驱动电压低电压化。进而，氧向凹部的供给与臭氧从凹部的脱离变得容易，因此能够增加臭氧的产生量。优选所述臭氧生成装置还具备：驱动电压源，输出具有重复的图案与循环的相位差的N(N≥3)相的驱动电压，所述多个放电部按照它们的排列顺序从所述驱动电压源输入第n(1≤n≤N)相的驱动电压。该构成中，在放电面近旁电场强度沿着排列方向循环地变化。由此，放电面近旁的气体受到电场强度的影响而沿排列方向移动。为此，能促进氧向凹部的供给和臭氧从凹部的脱离，能够增加臭氧生成量。本专利技术的臭氧生成装置，具备：板状的第1电介质层；一对内部平面，设置于所述第1电介质层的第1面；和第2电介质层，覆盖所述一对内部平面导体而被设置，所述一对内部平面导体分别具有引出部、和与所述引出部相连的多个放电部，所述第2电介质层在与所述第1面所对置的面相反侧的第2面、且俯视所述第1面时与所述多个放电部重叠的位置设置凸部。优选所述凸部被设置在所述第2面、且俯视所述第1面时覆盖所述多个放电部。优选一方的内部平面导体的放电部与另一方的内部平面导体的放电部沿着所述第1电介质层的面方向被交替地配置。优选所述凸部的厚度比10μm厚、且比所述一方的内部平面导体的放电部与所述另一方的内部平面导体的放电部之间的最窄的间隙部分的宽度薄。-专利技术效果-根据本专利技术的臭氧生成装置，由于在放电面的凹部近旁电场强度增强，故变得易于产生沿面放电。由此，能够使驱动电压低电压化，能够实现驱动电压源的小型化或低成本化、臭氧生成装置的可靠性的提高。附图说明图1(A)是本专利技术的第1实施方式涉及的臭氧生成装置10的立体图。图1(B)是表示臭氧生成装置10的平面导体形成面14的分解俯视图。图2是臭氧生成装置10的侧面剖视图。图3(A)是示意地表示在本专利技术的第1实施方式涉及的臭氧生成装置10中的凹部15及凸部16的近旁产生的电力线的放大侧视图。图3(B)是为了比较而示意地表示在现有的臭氧生成装置中的平坦面产生的电力线的放大侧视图。图4是表示臭氧生成装置10的制造方法的一例的流程图的图。图5(A)是臭氧生成装置60的电连接图。图5(B)是驱动电压V1～V4的时间波形图。图6是对现有的臭氧生成装置100的构成进行说明的图。具体实施方式《第1实施方式》图1(A)是本专利技术的第1实施方式涉及的臭氧生成装置10的立体图。臭氧生成装置10是板状的，例如为长度5mm、宽度5mm、厚度500μm。臭氧生成装置10具备电介质部11、一对内部平面导体和驱动电压源31。一对内部平面导体具体是第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B。电介质部11由电介质构成，是具有顶面11A与底面11B的板状。电介质部11具备顶面11A侧的第2电介质层12和底面11B侧的第1电介质层13，将第2电介质层12与第1电介质层13层叠而构成。第1电介质层13中第2电介质层12侧的面是平面导体形成面14(相当于本专利技术中的“第1电介质层的第1面”。)。再有，第2电介质层12中与平面导体形成面14所对置的面相反侧的面、即顶面11A相当于本专利技术中的“第2电介质层的第2面”。第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B设置在电介质部11的内部、第2电介质层12与第1电介质层13之间，具体是设置于平面导体形成面14。图1(B)是表示臭氧生成装置10的平面导体形成面14的分解俯视图。第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B分别在俯视下为梳状。具体是，第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B具备多个放电部22A、22B和引出部23A、23B。第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B的宽度例如为50μm。再有，第1内部平面导体21A、第2内部平面导体21B的厚度例如为10μm。多个放电部22A、22B以线路状延伸且相互平行。引出部23A、23B将多个放电部22A、22B的一端间连接并延伸，且被引出至给定的引出位置为止。放电部22A与放电部22B交替排列在与各自延伸的方向(延伸方向)正交的方向(排列方向)上。换言之，放电部22A与放电部22B沿着第1电介质层13的面方向交替地配置。再有，在邻接的放电部22A与放电部22B之间，设置有在排列方向具有给定宽度的间隙部分24。间隙部分24的宽度例如为50μm。从图1(A)所示的驱动电压源31向这样构成的第1内部平面导体21A与第2内部平面导体21B之间施加驱动电压。由此，在放电部22A与放电部22B之间产生交变电场。该交变电场不只是向电介质部11的内部扩散、也向电介质部11的顶面11A侧的外部扩散，电介质本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种臭氧生成装置，具备：电介质部，具有产生沿面放电的放电面；和多个放电部，由与所述放电面对置地设置在所述电介质部的导体构成，该多个放电部沿着所述放电面排列，所述放电面在所述多个放电部之间形成有凹部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.13 JP 2015-0261631.一种臭氧生成装置，具备：电介质部，具有产生沿面放电的放电面；和多个放电部，由与所述放电面对置地设置在所述电介质部的导体构成，该多个放电部沿着所述放电面排列，所述放电面在所述多个放电部之间形成有凹部。2.根据权利要求1所述的臭氧生成装置，其中，将所述放电部与所述放电面对置的方向作为上侧，所述凹部的下表面被设置于所述放电部的下表面以上的高度。3.根据权利要求1或2所述的臭氧生成装置，其中，将所述放电部与所述放电面对置的方向作为上侧，所述凹部的下表面被设置于所述放电部的上表面以上的高度。4.根据权利要求1～3中任一项所述的臭氧生成装置，其中，所述臭氧生成装置还具备：驱动电压源，输出具有重复的图案与循环的相位差的N相的驱动电压，其中，N≥3，所述多个放电部按照它们的排列顺序从所述驱动电压...

【专利技术属性】
技术研发人员：川田秋一，近川修，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP