线锯切割设备制造技术

一种实施例的线锯切割设备，包括：用于切割锭块的锯丝；用于传送锭块到锯丝处的锭块传送器部分；用于供应浆液到锯丝处的喷嘴；和设置在由锯丝锯切的锭块的上方的分散浆液阻挡部分，以使得吸收至少部分的从被锯丝切割的锭块的侧面分散的浆液。

Wire saw cutting equipment

An embodiment of the wire cutting equipment, including: wire saw for cutting ingot; for transferring ingot ingot to the saw wire at the transmitter part; for the supply of the wire saw slurry to the nozzle; and set in by the wire sawing of the ingot above the barrier slurry dispersion part, so that the absorption slurry dispersed from the ingot side by wire cutting at least part of the.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
实施例涉及一种线锯切割设备。
技术介绍
为了从单晶硅锭获取晶片，存在利用锯丝来锯切锭块的线锯切割设备。现有的线锯切割设备通过在供应浆液到锯丝的同时高速移动锯丝来锯切锭块，由此获取晶片所期望的形状。然而，从锭块与锯丝在锭块开始被锯切的初始阶段相互接触的区域分散的浆液自由下落，而从锭块与锯丝在初始阶段后的中间阶段相互接触的区域分散的浆液不自由下落，但具有对锭块的锯切有害的影响，由此引起高翘曲。翘曲是对于半导体晶片的切割重要的质量之一，并且必须被进一步减少以满足提高的对半导体质量的要求。技术目的实施例提供了一种减少翘曲的线锯切割设备。技术方案根据实施例的线锯切割设备可包括构造为切割锭块的锯丝、构造为传送锭块到锯丝处的锭块传送器单元、构造为供应浆液到锯丝处的喷嘴和分散浆液阻挡单元，该分散浆液阻挡单元设置在由锯丝锯切的锭块的上方并且构造为吸收至少部分的从被锯丝切割的锭块的侧表面的分散的浆液。分散浆液阻挡单元可具有吸收分散的浆液的网状结构。分散浆液阻挡单元可包括附连到支承锭块传送器单元的支承表面的上部部分、包括构造为吸收分散的浆液的至少一个网板的下部部分和位于上部部分与下部部分之间的侧向部分。上部部分和侧向部分可螺钉连接在一起，而下部部分和侧向部分可成一体。分散浆液阻挡单元可包括由上部部分、侧向部分和下部部分限定的并且构造为在其中贮存分散的浆液的浆液容纳空间，而分散浆液阻挡单元的下部部分可用插设在它们之间的开口与锭块隔开，该开口构造为允许引入分散的浆液到浆液容纳空间中。下部部分的底部与锭块的顶部之间的距离范围可从1cm到2cm。分散浆液阻挡单元还可包括构造为沿垂直于锯丝移动方向的方向排出贮存在浆液容纳空间中的浆液的出口端口。至少一个网板可包括一个堆叠在另一个上的多个网板，并且随着到锯丝距离的增加，各网板中的孔的尺寸可减小。分散浆液阻挡单元可以是能附连的或能脱开的。分散浆液阻挡单元的上部部分可固定到支承表面，并且分散浆液阻挡单元的侧向部分或下部部分中的至少一个的形状可被作成能附连到上部或能从上部脱开。分散浆液阻挡单元的下部部分可沿向内的方向朝向锭块倾斜。下部部分可具有范围从7°到10°的倾斜角。分散浆液阻挡单元的底部可位于比锯丝高的位置。分散浆液阻挡单元可设置在锯丝进入的侧和锯丝退出的侧处。分散浆液阻挡单元可设置为沿锭块的纵向平行于锭块。锭块传送器单元可包括构造为使锭块朝锯丝降低的进料盘、构造为固定锭块到进料盘的保持件以及构造为将保持件和锭块相互连接的梁元件。线锯切割设备还可包括具有构造为卷绕锯丝并引导锯丝的凹槽的锯丝辊、构造为容纳待供应到喷嘴处的浆液的浆液箱、构造为容纳已经从喷嘴排出了的并且用于锯切锭块的浆液的浆液池、构造为卷绕用于锯切锭块的锯丝的第一绕线筒、构造为卷绕已经锯切了锭块的锯丝的第二绕线筒和构造为改变锯丝的移动路径的至少一个滑轮。有益效果根据实施例的线锯切割设备可通过使因分散的浆液的再引入所引起的锭块的过度冷却最小化来减少晶片的翘曲。附图说明图1示出了根据一实施例的线锯切割设备的立体图。图2是用于解释图1所示锭块传送器单元和分散浆液阻挡单元中的每个的一个实施例的剖视图。图3示出了图2所示分散浆液阻挡单元的仅仅下部部分和锭块的仰视图。图4示出了图2所示分散浆液阻挡单元的下部部分的示例性分解立体图。图5是用于解释在多个网板的每个中每英寸的孔的数量取决于浆液的粘度的曲线图。图6示出了用于解释图1所示分散浆液阻挡单元的另一实施例的剖视图。图7示出了图6所示分散浆液阻挡单元的分解立体图。图8示出了图1所示分散浆液阻挡单元的又一实施例的照片。图9示出了图1所示分散浆液阻挡单元的立体图。图10示出了待由锯丝锯切的锭块和锭块传送器单元的剖视图图11a至11c示出了随着锭块的锯切部分增多，浆液的分散情况。图12示出了每个倾斜角度的收集浆液能力的曲线图。图13a示出了根据第一比较例的线锯切割设备的剖视图，该线锯切割设备不包括分散浆液阻挡单元，图13b示出了根据第二比较例的线锯切割设备的剖视图，该线锯切割设备包括不具有网状结构的分散浆液阻挡单元，而图13c则示出了根据实施例的线锯切割设备的剖视图，该线锯切割设备包括具有网状结构的分散浆液阻挡单元。图14示出了在根据第一比较例的线锯切割设备中的翘曲的曲线图。图15和16分别示出了在根据第二比较例的线锯切割设备中的翘曲的曲线图。图17示出了在根据实施例的线锯切割设备中的翘曲的曲线图。最佳模式下文中，将描述各实施例，从而具体地描述本专利技术，并且将参照附图详细地描述各实施例，以便有助于理解本专利技术。然而，在此公开的各实施例可改变为各种其它形式，并且本专利技术的范围不应解释为限于所描述的实施例。提供在此公开的实施例是为了更完整地对本领域普通技术人员描述本专利技术。在实施例的描述中，当元件称为形成在另一元件之“上”或之“下”时，它可以直接形成在其它元件之“上”或之“下”或借助介于其间的中间元件间接地形成。还应理解的是，在该元件之“上”或之“下”可以是相对于附图描述的。此外，在随后的描述中使用的相对术语诸如，例如，“第一”、“第二”、“上部”和“下部”之类，可以用于将任何一种物质或元件与另一物质或元件区分，而不需要或不包括在这些物质或元件之间任何物理或逻辑的关系或顺序。图1示出了根据一实施例的线锯切割设备100的立体图。参照图1，根据实施例的线锯切割设备100可包括锯丝112和114或W(在图1中，“112”和“114”对应于“W”)、锭块传送器单元120、喷嘴132和134、管道136和172、分散浆液(S)阻挡单元140、锯丝辊152和154、浆液箱160、搅拌器162、浆液池170、第一绕线筒和第二绕线筒182和184，以及滑轮191、192、193、194和195。锭块I可由锯丝W切割成晶片的形式。锯丝W或112和114可由碳钢形成。锭块传送器单元120用于朝锯丝W传送锭块I。图2是用于解释图1所示锭块传送器单元120和分散浆液阻挡单元140中的每个的一实施例的剖视图。参照图2，锭块传送器单元120可包括送料盘122、保持件124和梁元件126。送料盘122可使锭块I朝锯丝W降低。送料盘122用于施加压力到保持件124，以便朝锯丝W传送锭块I。即，送料盘122可使锭块I朝锯丝W降低，以使得锭块I的整个直径R可被完全锯切。保持件124用于固定锭块I到送料盘122。例如，以钳型固定方式，送料盘122可作为钳子，而保持件124可以是待由钳子夹持的部分。例如，虽然保持件124的材料可以是CaCO3，但各实施例对于保持件124的材料不限制。梁单元126用于将保持件124和锭块I相互连接。再次参照图1，喷嘴132和134用于供应浆液S到锯丝W处。为此，喷嘴132和134可安装在锯丝辊152和154及锯丝W附近。例如，贮存在浆液箱160中的浆液S通过管道136供应到对应的喷嘴132和134，并且喷嘴132和134用于朝锯丝W喷射供应的浆液S。锯丝辊152和154具有允许锯丝W卷绕在其上并且引导锯丝W的凹槽，并用于锯丝W转动。锯丝辊152和154可通过在钢制的圆筒周围施加聚氨酯树脂并且在其表面上形成固定节距的凹槽来得以实现。浆液箱160用于容纳待供应到喷嘴132和134的浆液S。搅拌器1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线锯切割设备，所述线锯切割设备包括：锯丝，所述锯丝构造为切割锭块；锭块传送器单元，所述锭块传送器单元构造为传送所述锭块到所述锯丝处；喷嘴，所述喷嘴构造为供应浆液到所述锯丝处；和分散浆液阻挡单元，所述分散浆液阻挡单元设置在由所述锯丝锯切的锭块的上方并且构造为吸收至少部分的从由所述锯丝切割的所述锭块的侧表面分散的浆液。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.26 KR 10-2015-00118961.一种线锯切割设备，所述线锯切割设备包括：锯丝，所述锯丝构造为切割锭块；锭块传送器单元，所述锭块传送器单元构造为传送所述锭块到所述锯丝处；喷嘴，所述喷嘴构造为供应浆液到所述锯丝处；和分散浆液阻挡单元，所述分散浆液阻挡单元设置在由所述锯丝锯切的锭块的上方并且构造为吸收至少部分的从由所述锯丝切割的所述锭块的侧表面分散的浆液。2.如权利要求1所述的线锯切割设备，其特征在于，所述分散浆液阻挡单元具有吸收所述分散的浆液的网状结构。3.如权利要求1所述的线锯切割设备，其特征在于，所述分散浆液阻挡单元包括：上部部分，所述上部部分附连到支承所述锭块传送器单元的支承表面；下部部分，所述下部部分包括构造为吸收所述分散的浆液的至少一个网板；和位于所述上部部分与所述下部部分之间的侧向部分。4.如权利要求3所述的线锯切割设备，其特征在于，所述上部部分和所述侧向部分螺钉连接在一起，而所述下部部分与所述侧向部分形成一体。5.如权利要求3所述的线锯切割设备，其特征在于，所述分散浆液阻挡单元包括由所述上部部分、侧向部分和下部部分限定的并且构造为其中贮存所述分散的浆液的浆液容纳空间，并且其中所述分散浆液阻挡单元的所述下部部分与所述锭块用插设在它们之间的开口隔开，所述开口构造为允许引入所述分散的浆液到所述浆液容纳空间中。6.如权利要求3所述的线锯切割设备，其特征在于，所述的下部部分的底部与所述锭块的顶部之间的距离范围从1cm到2cm。7.如权利要求5所述的线锯切割设备，其特征在于，所述分散浆液阻挡单元还包括构造为沿垂直于所述锯丝移动方向的方向排出贮存在所述浆液容纳空间中的浆液的出口端口。8.如权利要求3所述的线锯切割设备，其特征在于，所述至少一个网板包括多个一个堆叠在另一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：全志原，安相珉，
申请(专利权)人：LG矽得荣株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR