A kind of self doped strontium titanate ferroelectric film and preparation method thereof, composed of molecular formula of SrTi1+xO3 material, the range of X 0.015~0.02; membrane preparation methods: according to 1: (1.015~1.02): 0.7 the molar ratio of tetrabutyl titanate and strontium acetate, acetyl acetone, strontium acetate dissolved in acetic acid. Adding ethylene glycol methyl ether, butyl titanate and acetylacetone, adding ethylene glycol monomethyl ether the molar concentration of dilute solution to strontium acetate was 0.3mol/L, stirring to obtain C solution; the solution C drops in the substrate on the spinning machine, spinning, drying and thermal decomposition, until SrTi1+xO3 dry film thickness 300nm, annealing SrTi1+xO3 film. The invention induces ferroelectricity by annealing under Ti excess and oxygen atmosphere, and measures the ferroelectric loop at zero or above room temperature without introducing other elements.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及功能材料领域的铁电薄膜，具体的说是一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜及其制备方法。
技术介绍
量子顺电体钛酸锶（SrTiO3）作为一种用途广泛的电子功能材料，它具有高介电常数、低介电损耗和热稳定性等优点，被广泛的应用于电子、机械和陶瓷工业。铁电薄膜具有良好的铁电性、压电性、热释电性及非线性光学等特性，其中，钛酸锶铁电薄膜可广泛应用于微电子学、集成光学信息存储及微电子机械系统等领域。研究发现，钛酸锶是一种典型的先兆性铁电体材料，当温度从室温降到液氦温度时，钛酸锶具有很大的介电常数且一直保持在顺电状态。钛酸锶中的离子堆垛是一种理想的钙钛矿结构，任何外部的扰动或内部结构的变化都会影响到钛酸锶性能的变化，完全摩尔比的SrTiO3为绝缘体。在缺陷的诱导下，钛酸锶出现的反常性质吸引了大量科研人员对此进行研究，如掺铌钛酸锶材料，具有超导性、半导性、铁电性、压敏性、热敏性及光敏性，介电损耗低、色散频率高，热稳定性好；掺锰钛酸锶材料，具有介电、热释电和导电等多种特性；掺镨钛酸锶材料，具有较高的光学透过率等。钛酸锶为什么不出现铁电性以及铁电性诱导...
【技术保护点】
一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜，其特征在于：由分子式为SrTi1+xO3的材料组成，其中，x的取值范围为0.015~0.02，Sr和Ti的摩尔比为Sr：Ti=1：（1+x）。
【技术特征摘要】
1.一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜，其特征在于：由分子式为SrTi1+xO3的材料组成，其中，x的取值范围为0.015~0.02，Sr和Ti的摩尔比为Sr：Ti=1：（1+x）。
2.根据权利要求1所述的一种自掺杂钛酸锶铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、按1:（1.015~1.02）：0.7的摩尔比分别称取乙酸锶、钛酸丁脂和乙酰丙酮，备用；
步骤二、将步骤一称取的乙酸锶全部溶解于纯度为99.5%的乙酸中，形成透明无色溶液后加入适量乙二醇甲醚，使溶液中乙酸锶的摩尔浓度达到0.4mol/L，搅拌1h，形成溶液A，在溶液A中加入所称取的钛酸丁酯，搅拌30min，形成溶液B，备用；
步骤三、将步骤一称取的乙酰丙酮加入到溶液B中，再添加适量乙二醇甲醚将溶液B稀释至乙酸锶的摩...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓飞，胡秋波，李新忠，张超，王赵武，
申请(专利权)人：河南科技大学，
类型：发明
国别省市：河南;41
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