静电电容检测电路制造技术

本发明专利技术提供一种抑制噪声的静电电容检测电路。本发明专利技术的静电电容检测电路（30）检测物理量传感器的一对电极部间的静电电容变化，该物理量传感器具备根据物理量变化而产生静电电容变化的所述一对电极部，该静电电容检测电路（30）包括：载波信号生成电路（21），该载波信号生成电路（21）向所述一对电极部的一端提供载波信号；运算放大器（Q31），该运算放大器（Q31）的反相输入端子输入所述一对电极部的另一端；虚设电容（Cd），该虚设电容（Cd）与所述一对电极部并联连接；以及载波信号调整电路（31），该载波信号调整电路（31）使相对于所述虚设电容的来自载波信号生成电路的载波信号的相位反转，同时调整增益来抑制虚设电容。

Electrostatic capacitance detecting circuit

The invention provides an electrostatic capacitance detecting circuit for suppressing noise. The capacitance detection circuit of the invention (30) between a pair of electrodes of the electrostatic capacitance change detection for physical quantity sensor, the sensor has the physical quantity according to the physical quantity changes due to the change of capacitance of the pair of electrodes, the capacitance detection circuit (30) comprises a carrier signal generation circuit (21), the carrier signal generation circuit (21) provide a carrier signal to one end of the pair of electrode; operational amplifier (Q31), the operational amplifier (Q31) on the other side of the inverting input terminal of the input of a pair of electrodes; nominal capacitance (Cd), the dummy capacitor (Cd) connected with the pair of electrodes in parallel; and the carrier signal adjustment circuit (31), the carrier signal adjustment circuit (31) with respect to the phase from the carrier signal generating circuit of the carrier signal the dummy capacitor. The inversion capacitor adjusts the gain to suppress dummy capacitors.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及检测物理量传感器一对电极部间的静电电容变化的静电电容检测电路，其中，该物理量传感器具备根据物理量的变化而产生静电电容变化的所述一对电极部。
技术介绍
在加速度传感器、陀螺仪、位移传感器、压力传感器等检测物理变化来作为静电电容变化的物理传感器中，在需要静电电容检测电路具有高分辨率的情况下、或在追求低成本、小型化而将MEMS（MicroElectroMechanicalSystem:微电子机械系统）传感器与静电电容检测电路进行组合的情况下，要求降低电路噪声。作为这种静电电容检测电路，例如已知有以下静电电容检测电路，即：通过传感器驱动电路对静电电容型传感器元件施加驱动电压，利用连续时间型C-V转换电路将传感器元件的静电电容的变化转换为电压信号，通过同步检波电路从该转换得到的电压信号中检测出信号分量，并利用滤波电路对同步检波电路的输出信号进行滤波（例如，参照专利文献1）。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2011－107086号公报本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电电容检测电路，该静电电容检测电路检测物理量传感器的一对电极部间的静电电容变化，所述物理量传感器具备静电电容根据物理量变化而产生变化的所述一对电极部，其特征在于，包括：载波信号生成电路，该载波信号生成电路向所述一对电极部的一端提供载波信号；运算放大器，该运算放大器的反相输入端子输入所述一对电极部的另一端；虚设电容，该虚设电容与所述一对电极部并联连接；以及载波信号调整电路，该载波信号调整电路使相对于所述虚设电容的来自载波信号生成电路的载波信号的相位反转，同时调整增益来抑制虚设电容。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.11.15 JP 2011-2499801.一种静电电容检测电路，该静电电容检测电路检测物理量传感器的一对电
极部间的静电电容变化，所述物理量传感器具备静电电容根据物理量变化而产生变
化的所述一对电极部，其特征在于，包括：
载波信号生成电路，该载波信号生成电路向所述一对电极部的一端提供载波
信号；
运算放大器，该运算放大器的反相输入端子输入所述一对电极部的另一端；
虚设电容，该虚设电容与所述一对电极部并联连接；以及
载波信号调整电路，该载波信号调整电路使相对于所述虚设电容的来自载波
信号生成电路的载波信号的相位反转，同时调整增益来抑制虚设电容。
2.如权利要求1所述的静电电容检测电路，其特征在于，
所述载波信号调整电路由反相放大器构成，该反相放大器的反相输入端子经
由第一电阻连接至所述载波信号生成电路，非...

【专利技术属性】
技术研发人员：木代雅巳，
申请(专利权)人：富士电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP