一种高精度的石英挠性加速度传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度的石英挠性加速度传感器。该传感器包括表头和伺服电路，表头包括检测质量摆组件、电磁力矩器和差动电容传感器；伺服电路包括正弦波发生器、整流桥电路、放大器电路、反馈网络和三端稳压器。三端稳压器包括第一三端稳压器和第二三端稳压器。其中，检测质量摆组件与电磁力矩器相连；差动电容传感器与整流桥电路相连；第一三端稳压器分别与正弦波发生器和放大器电路相连；正弦波发生器与整流桥电路相连；整流桥电路与放大器电路相连；第二三端稳压器与放大器电路相连；放大器电路分别与反馈网络和电磁力矩器相连。该伺服电路能分辨表头的细微变化，以电流形式反馈给表头的力矩器线圈，从而提高石英挠性加速度传感器的工作精度。

A high precision quartz flexible acceleration sensor

The utility model discloses a quartz flexible acceleration sensor with high precision. The sensor comprises a header and a servo circuit, including header detection quality components, electromagnetic actuator and swing differential capacitance sensor; servo circuit including sine wave generator, rectifier circuit, amplifier circuit, feedback network and three terminal regulator. The three terminal voltage regulator includes a first three terminal voltage regulator and a two or three terminal voltage regulator. Among them, the quality detection of pendulum assembly is connected with the electromagnetic actuator; differential capacitance sensor is connected with the rectifier circuit; the first three terminal voltage regulator are respectively connected with the sine wave generator and amplifier circuit; sine wave generator is connected with a bridge rectifier circuit; rectifier circuit is connected with the amplifier circuit; the two or three terminal regulator is connected with the amplifier circuit amplifier circuit are respectively connected; with the feedback network and electromagnetic actuator. The servo circuit can distinguish the slight change of the meter head and feed the torque coil of the meter in the form of current, thus improving the working accuracy of the quartz flexible acceleration sensor.

【技术实现步骤摘要】
一种高精度的石英挠性加速度传感器
本技术涉及一种加速度传感器，尤其涉及一种高精度的石英挠性加速度传感器，属于传感器

技术介绍
石英挠性加速度传感器是惯性导航系统的主要元件之一，被广泛应用于航天、航空、航海及武器系统的导航制导与控制等领域。该石英挠性加速度传感器是一种机械摆式加速度传感器，主要通过将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号进行测量，具有精度高、灵敏度高、功耗低的特点，同时其结构简单、体积小、重量轻，便于使用和更换。石英挠性加速度传感器由表头和伺服电路构成。其中，伺服电路主要用于将表头感应的外界加速度产生的电容微小变化转换为相应的电流输出。在现有技术中，该伺服电路一般由调制解调器、功率放大器、三端稳压器和阻容器件组成。但是，现有产品中的伺服电路工作原理复杂，电路环节繁多，出现故障不便进行检修，并且不能准确分辨表头的微小变化，从而影响石英挠性加速度传感器的工作精度。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种高精度的石英挠性加速度传感器。为实现上述的目的，本技术采用以下的技术方案：一种高精度的石英挠性加速度传感器，包括表头和伺服电路，所述表头包括检测质量摆组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度的石英挠性加速度传感器，包括表头和伺服电路，所述表头包括检测质量摆组件、电磁力矩器和差动电容传感器；其特征在于：所述伺服电路包括正弦波发生器、整流桥电路、放大器电路、反馈网络和三端稳压器，所述三端稳压器包括第一三端稳压器和第二三端稳压器，其中，所述检测质量摆组件与所述电磁力矩器相连，所述差动电容传感器与所述整流桥电路相连，所述第一三端稳压器分别与所述正弦波发生器和所述放大器电路相连，所述正弦波发生器与所述整流桥电路相连，所述整流桥电路与所述放大器电路相连，所述第二三端稳压器与所述放大器电路相连，所述放大器电路分别与所述反馈网络和所述电磁力矩器相连。

【技术特征摘要】
1.一种高精度的石英挠性加速度传感器，包括表头和伺服电路，所述表头包括检测质量摆组件、电磁力矩器和差动电容传感器；其特征在于：所述伺服电路包括正弦波发生器、整流桥电路、放大器电路、反馈网络和三端稳压器，所述三端稳压器包括第一三端稳压器和第二三端稳压器，其中，所述检测质量摆组件与所述电磁力矩器相连，所述差动电容传感器与所述整流桥电路相连，所述第一三端稳压器分别与所述正弦波发生器和所述放大器电路相连，所述正弦波发生器与所述整流桥电路相连，所述整流桥电路与所述放大器电路相连，所述第二三端稳压器与所述放大器电路相连，所述放大器电路分别与所述反馈网络和所述电磁力矩器相连。2.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：所述正弦波发生器为LC振荡器。3.如权利要求2所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：所述LC振荡器包括第一电容、第二电容、第三电容、第四电容、电感、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第一二极管、三极管和工作电压；其中，所述工作电压分别与所述第一电容、所述电感、所述第三电容和所述第一电阻的一端相连；所述第一电容的另一端分别与所述第二电容的一端、所述三极管的发射极和所述第三电阻的一端相连，所述第二电容分别与所述第四电容的一端和所述三极管的集电极相连；所述电感并联在所述第一电容与所述第二电容的两端；所述第一电阻的另一端分别与所述第三电容的另一端、所述三极管的基极和所述第一二极管的阳极相连；所述第一二极管的阴极与所述第二电阻的一端相连，所述第二电阻和所述第三电阻的另一端都与第一地线端相连。4.如权利要求3所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：所述第四电容的另一端与整流桥电路的输入端相连。5.如权利要求1所述的石英挠性加速度传感器，其特征在于：所述整流桥电路包括第二二极管、第三二极管、第四二极管、第五二极管、第五...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜琨，
申请(专利权)人：廊坊市北斗神舟测控仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13