一种带自标定振动台的电容式加速度传感器制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种带自标定振动台的电容式加速度传感器
本专利技术属于微电子机械
，涉及一种微惯性传感器，具体涉及一种带自标定振动台的电容式加速度传感器。
技术介绍
在各类检测原理的微机械传感器中，电容式加速度传感器由于具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好等优点，是目前研制得最多的一类加速度传感器。目前研发的电容式加速度传感器可以用于石油勘探、桥梁振动状态监测等领域。电容式加速度传感器在使用以前，通常采用传统的校准方法如振动台标定系统等进行校准，以确定其幅频响应特性、相频响应特性等。但是在传感器用于石油勘探，或者安装在跨海大桥等结构上后，当传感器发生性能变化如比例因子漂移、灵敏度随时间退化等，传感器采集到的振动数据会产生很大的检测误差。而把振动标定系统搬运到现场或者把传感器拆下进行一个个校准又不现实。若设计微机械传感器时，把校准系统设计到传感器结构当中去便是解决方法之一。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种带自标定振动台的电容式加速度传感器，可以实现电容式传感器的现场敏感方向驱动校准功能和交叉轴驱动校准功能，本专利技术集成了校准振动台测试传感器，实现振动基准信号的测量，同...
【技术保护点】
一种带自标定振动台的电容式加速度传感器，包括第一基板及其上表面的检测电极对、固定于第一基板上的敏感器锚点、驱动器锚点、振动台吸合固定孤岛、吸合器锚点、传感器固定电极锚点、第二基板的悬于第一基板上方的可横向和纵向运动的敏感振动台、四根将敏感器锚点和敏感振动台相连的振动台支撑梁、纵向敏感加速度电容式传感器、二个将纵向敏感加速度电容式传感器和敏感振动台相连的传感器锚点、二根传感器纵向敏感支撑梁、第二基板的悬于第一基板上方的横向驱动固定梳齿、纵向驱动固定梳齿、横向驱动可动梳齿、纵向驱动可动梳齿、吸合固定梳齿、吸合可动梳齿、传感器可动梳齿、传感器固定梳齿、可动吸合块；位于固定驱动电极...
【技术特征摘要】
1.一种带自标定振动台的电容式加速度传感器，包括第一基板及其上表面的检测电极对、固定于第一基板上的敏感器锚点、驱动器锚点、振动台吸合固定孤岛、吸合器锚点、传感器固定电极锚点、第二基板的悬于第一基板上方的可横向和纵向运动的敏感振动台、四根将敏感器锚点和敏感振动台相连的振动台支撑梁、纵向敏感加速度电容式传感器、二个将纵向敏感加速度电容式传感器和敏感振动台相连的传感器锚点、二根传感器纵向敏感支撑梁、第二基板的悬于第一基板上方的横向驱动固定梳齿、纵向驱动固定梳齿、横向驱动可动梳齿、纵向驱动可动梳齿、吸合固定梳齿、吸合可动梳齿、传感器可动梳齿、传感器固定梳齿、可动吸合块；位于固定驱动电极上的驱动端引出电极、位于敏感器锚点上的敏感振动台引出电极、位于吸合器锚点上的吸合端引出电极、传感器固定电极上的传感器固定引出电极；所述的第二基板的悬于第一基板上方的可横向运动和纵向运动的敏感振动台由横向敏感硅条、纵向敏感硅条、横向外侧驱动梳齿、纵向外侧驱动梳齿、内侧吸合保持梳齿、部件连接框架组成；横向敏感硅条由n个等间距纵向放置的长条形硅条组成，n≥1,其长度方向跟纵向平行；纵向敏感硅条由m个等间距横向放置的长条硅条组成，m≥1，其长度方向跟纵向垂直；横向外侧驱动梳齿固定于部件连接框架的横向左侧、横向右侧，纵向外侧驱动梳齿固定于部件连接框架的纵向上侧、纵向下侧，横向左侧和横向右侧的横向外侧驱动梳齿长度方向同横向平行放置，每组的梳齿间纵向等间距排列，部件连接框架的左侧、右侧分别有两组；纵向上侧和纵向下侧的纵向外侧驱动梳齿长度方向同横向垂直放置，每组的梳齿间横向等间距排列，部件连接框架的上侧、下侧分别有两组；内侧吸合保持梳齿位于敏感振动台内侧，位置与吸合固定梳齿对应设置；横向敏感硅条和纵向敏感硅条悬浮在第一基板表面上的检测电极上方，且位置一一对应设置；所述的第一基板上表面的检测电极对由自检测引出电极、电极连接线、叉指电极组成，共有四组检测电极对，每组检测电极对在第一基板上与悬于第一基板上的敏感振动台上的横向敏感硅条、纵向敏感硅条对应放置，以形成变面积检测电容对；所述的敏感器锚点...
【专利技术属性】
技术研发人员：王耀田，董林玺，王高峰，王路文，汶飞，赵文生，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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