一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达制造技术

本发明专利技术涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动新型微马达，属于微机电系统与电机工程领域，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)。固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。定子(1)与转子(2)均为圆柱形的结构，两者都由PN结环形阵列结构构成，通过微波源(7)调制两者之间的静电力驱动转子(2)产生持续振动。

A microwave driven micro motor based on MEMS process

The invention relates to a microwave MEMS process based on model driven micro motor, which belongs to the micro electro mechanical system and electrical engineering field, which includes: (1) the stator and rotor (2), a drive shaft (3), a first bearing (4), second (5), bearing shell (6), microwave source (7) and fixed structure (8). Fixed structure (8) and the casing (6) as a whole structure; the rotor (2) and a drive shaft (3) for the integrated structure, the fixed structure (8) support horizontal fixed in a housing (6); the drive shaft (3) the middle part has a groove, the stator (1) on the drive shaft (3) the groove of the rotor (2) and second (5) are connected to the bearing. The stator (1) and the rotor (2) are both cylindrical structures, both of which are composed of a PN junction and an annular array structure, and the static electricity is modulated by a microwave source (7) to drive the rotor (2) to produce a sustained vibration.

【技术实现步骤摘要】
一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达
本专利技术属于微机电系统与电机工程领域，具体涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达。
技术介绍
近年来，科学技术发展的一个重要趋势是朝着快速度、大容量和微型化方向飞速迈进。其中尤以微、纳米技术、微机械技术、光学与光电子技术等的发展为主要代表。在许多特殊领域，需要采用特种性能的电机(或马达)作为动力源和运动源，例如在光学与精密机械系统中用于器件的精确驱动和定位的马达，要求速度高、响应快、尽可能小型化。随着人类社会全面向信息化迈进，信息系统的微型化、多功能化和智能化是人们不断追求的目标，也是电子整机部门的迫切需求。信息系统的微型化不仅使系统体积大大减小、功能大大提高，同时也使性能、可靠性大幅度上升，功耗和价格却大幅度降低。目前，信息系统的微型化不单是电子系统的微型化，如果相关的非电子系统小不下来，整个系统将难以达到微型化的目标。电子系统可以采用微电子技术达到系统微型化的目标，而对于非电子系统来说，尽管人们已做了很大努力，其微型化程度远远落后于电子系统，这已成为整个系统微型化发展的瓶颈。微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechani本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)，其特征在于：固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。

【技术特征摘要】
1.一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)，其特征在于：固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构；转子(2)与驱动轴(3)为一体化结构，由固定结构(8)提供支撑横向固定于机壳(6)中；驱动轴(3)中间部位有一凹槽，定子(1)置于驱动轴(3)的凹槽内，转子(2)与第二轴承(5)相联接。2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其特征在于：所述的固定结构(8)包括第一固定柱(81)、第二固定柱(82)及第三固定柱(83)，三根固定柱依次竖立于机壳(6)的左端、中间与右端。3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其特征在于：所述的第一轴承(4)安装在第一固定柱(81)上，第二轴承(5)安装在第三固定柱(83)上，第一轴承(4)与第二轴承(5)与固定结构(8)共同支撑驱动轴(3)与转子(2)的一体化结构。4.根据权利要求2所述的一种基于MEMS工艺的微波驱动微马达，其特征在于：所述的第二固定柱(82)与定子(1)相联接，两者之间的联接为静联接。5.根据权利要求1所述的一种基于M...

【专利技术属性】
技术研发人员：李立，祝贝贝，张斌，田凤军，王世杰，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23