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本发明涉及一种基于MEMS工艺的微波驱动新型微马达，属于微机电系统与电机工程领域，其包括：定子(1)、转子(2)、驱动轴(3)、第一轴承(4)、第二轴承(5)、机壳(6)、微波源(7)及固定结构(8)。固定结构(8)与机壳(6)成一体化结构...
该专利属于哈尔滨工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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