一种干泵尾气管道制造技术

本实用新型专利技术提供一种干泵尾气管道，包括：管体，所述管体外侧壁设有进气口，用于输入吹扫气体，所述管体内部与所述进气口相对应的位置设置有与所述进气口相连通的环形通道，所述环形通道上设有排气孔或者排气狭缝。本实用新型专利技术所提供的干泵尾气管道解决了现有的干泵尾气管道在进气口位置容易沉积粉尘，造成干泵尾气管道堵塞的问题，从而减少设备出现故障的几率，有利于生产。

Exhaust pipe of dry pump

The utility model provides a dry pump exhaust pipe comprises a pipe body, the outside wall of the tube body is provided with an air inlet, for the input of purge gas, the annular channel inside of the pipe body and the air inlet is arranged at the position corresponding to the air inlet and is communicated, the annular channel is arranged on the exhaust the exhaust hole or slit. The utility model provides a dry pump exhaust pipe solves the existing dry pump exhaust pipe at the inlet position easily deposited dust, caused by dry pump exhaust pipe blockage, so as to reduce the probability of equipment failure, is conducive to the production.

【技术实现步骤摘要】
一种干泵尾气管道
本技术涉及一种干泵尾气管道，尤其涉及一种用于半导体或者显示面板制程工艺中的干泵尾气管道。
技术介绍
液晶显示面板以及半导体制程中某些工艺需要在真空腔室中进行，此时一般利用干泵(DryPump)对制程设备及真空腔室进行净化和抽真空处理，同时将制程尾气排出干泵外，例如，液晶显示面板的栅极绝缘层或者钝化保护层的制备过程，就是利用化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition；CVD)工艺在真空腔室中进行的，而形成栅极绝缘层或者钝化保护层则会产生氮化硅，氧化硅等粉尘以及硅烷、磷烷等有毒易燃气体，干泵在对CVD真空处理腔室抽真空的同时还会将制程尾气以及粉尘颗粒排出干泵外。现有地，为了侦测干泵尾气管道的压力以及稀释制程尾气，会在干泵尾气管道的侧边面增加氮气吹扫管路，然而，在实际的使用过程中，氮气吹扫管路入口处的干泵尾气管道容易沉积粉尘，这样容易导致干泵尾气管道堵塞，进而造成机器设备故障，影响机台生产。鉴于上述问题，有必要提供一种新的干泵尾气管道来解决上述问题。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种干泵尾气管道，其可有效解决尾气排放过程中造成的管道堵塞问题。为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干泵尾气管道，包括：管体，所述管体外侧壁设有进气口，用于输入吹扫气体，其特征在于，所述管体内部与所述进气口相对应的位置设置有与所述进气口相连通的环形通道，所述环形通道上设有排气孔或者排气狭缝。

【技术特征摘要】
1.一种干泵尾气管道，包括：管体，所述管体外侧壁设有进气口，用于输入吹扫气体，其特征在于，所述管体内部与所述进气口相对应的位置设置有与所述进气口相连通的环形通道，所述环形通道上设有排气孔或者排气狭缝。2.根据权利要求1所述的干泵尾气管道，其特征在于，所述环形通道凸出地设置在所述管体的内侧壁上。3.根据权利要求1所述的干泵尾气管道，其特征在于，所述排气孔或者排气狭缝设置在该环形通道的与管体轴向方向相垂直的端面上。4.根据权利要求1所述的干泵尾气管道，其特征在于，所述排气孔或者排气狭缝所排出气体的气流方向与该管体内气体流动方向一致。5.根据权利要求3所述的干泵尾气管道，其特征在于，所述排气孔的个数为多个，...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐荣桢，陈晓，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32