气体管线防堵塞装置制造方法及图纸
Anti blocking device for gas pipeline
The utility model discloses music anti clogging device of a gas pipeline, gas pipeline anti clogging device for trace gas export set containing chlorosilane gas and inert gas emissions in the pipeline, including the following parts: gas pipeline to export gas design (A); inert gas (B), holding room the upper end and the gas pipeline exports (A) are arranged at the lower end of the gap, gas pipeline exports (A) below, the interior is in chlorosilane and inert gas atmosphere; anti gas diffusion chamber (C), the body retains the inert gas from outside the room is completely covered (B), and the upper part of gas suction the pipeline connection (E). The device of the utility model, in containing chlorosilane and nitrogen chlorosilane as fluid seal gas pipeline outlet, can prevent the chlorosilane hydrolysis of silicon dioxide, caused by pipeline blockage.
【技术实现步骤摘要】
气体管线防堵塞装置
本技术涉及一种在含有氯硅烷以及惰性气体的微量气体流通的气体管线出口，防止因氯硅烷水解生成二氧化硅，导致气体管线堵塞的装置。
技术介绍
三氯硅烷和四氯化硅等的氯硅烷会和空气中的水分发生水解，产生氯化氢和二氧化硅。因此，例如设置在含有氯硅烷储槽中的搅拌装置上，大部分会使用机械密封、轴封。一般在机械密封部，作为密封气体会导入氮气等的惰性气体，防止氯硅烷等的物质流入到轴封部。但从轴封部会有微量的氯硅烷流入密封气体，上述密封气体流通的气体管线出口会含有微量的氯硅烷。因此，像上述密封气体就需要和连接了除害设备的气体吸引管线连接。但如果将流通密封气体的气体管线和气体吸引管线直接连接，机械密封部会减压，内部的氯硅烷容易混入到密封气体中。因此，通常气体管线的出口和气体吸引管线入口会拉开距离安装，使密封气体能够维持正压。上述连接方法，气体管线出口附近是空气氛围，因此密封气体中的氯硅烷和空气中的水分会反应，在气体管线出口会产生二氧化硅。存在生成的二氧化硅堆积在气体管线出口，最终导致堵塞，密封气体无法流通，机械密封破损的问题。为了防止堵塞，也可以扩大气体管线的直径，但...
【技术保护点】
气体管线防堵塞装置，设置在排放含有氯硅烷气体和惰性气体的微量气体的气体管线出口的管线防堵塞装置，包括以下几个部分:气体管线的出口向上设计的气体出口（Ａ）；其特征在于：惰性气体保有室（Ｂ），其上端和气体管线的出口（A）有间隙，其下端设置在气体管线的出口（A）的下方，其内部为在氯硅烷和惰性气体氛围；气体防扩散室（Ｃ），从外部完全包覆惰性气体保有室（Ｂ），其上部或侧部和气体吸引管线（E）连接。
【技术特征摘要】
1.气体管线防堵塞装置，设置在排放含有氯硅烷气体和惰性气体的微量气体的气体管线出口的管线防堵塞装置，包括以下几个部分:气体管线的出口向上设计的气体出口（Ａ）；其特征在于：惰性气体保有室（Ｂ），其上端和气体管线的出口（A）有间隙，其下端设置在气体管线的出口（A）的下方，其内部为在氯硅烷和惰性气体氛围；气体防扩散室（Ｃ），从外...
【专利技术属性】
技术研发人员：江敏，
申请(专利权)人：德山化工浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。