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本实用新型提供一种干泵尾气管道，包括：管体，所述管体外侧壁设有进气口，用于输入吹扫气体，所述管体内部与所述进气口相对应的位置设置有与所述进气口相连通的环形通道，所述环形通道上设有排气孔或者排气狭缝。本实用新型所提供的干泵尾气管道解决了现有的...
该专利属于昆山龙腾光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电有限公司授权不得商用。

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