化学气相沉积炉的粉尘收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括真空泵及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置。在本实用新型专利技术提供的粉尘收集装置中，通过设置多个进气阀和截止阀，工作人员在更换一级收尘器、二级收尘器或三级收尘器时，保证粉尘收集装置处于工作状态，且不会对生产工艺造成影响，因此，本申请提供的粉尘收集装置提高了产品的质量。

Dust collection device for chemical vapor deposition furnace

The dust of the utility model discloses a chemical vapor deposition furnace collection device, which comprises a vacuum pump and arranged respectively along the flow direction of the dust collecting device, a level two level three level dust collecting device and a dust collecting device and the four dust collecting device. In the dust collecting device provided by the utility model, by setting a plurality of inlet valve and stop valve, the staff in the replacement of a dust collector, collector grade two or three grade dust collector, ensure the dust collecting device is in working condition, and will not affect the production process, therefore, the dust collection the device is provided to improve the quality of the products.

【技术实现步骤摘要】
化学气相沉积炉的粉尘收集装置
本技术涉及化学气相沉积炉
，特别涉及一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。
技术介绍
化学气相沉积(Chemicalvapordeposition，简称CVD)是将反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相沉积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、沉积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。其中化学气相沉积过程中随着产品的沉积，会伴随未沉积的粉尘产生，大量粉尘的产生对整个沉积系统通道的畅通是比较大的影响因素。201310408002.X中提到的采用一备一用的收尘装置切换使用，然而在实际的生产过程中会存在因切换会引起化学气相沉积炉内较大的压力波动，压力的波动会严重影响产品的性能，有且会导致产品的晶粒尺寸不同，产品出现分层，严重的影响产品的透光性能，最终导致产品质量较差。因此，如何提高产品加工质量，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，以提高产品的加工质量。为实现上述目的，本技术提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括真空泵及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置；所述一级收尘装置包括一级收尘器、一级进气阀、一级截止阀及用于收集所述一级收尘器内粉尘的一级收尘筒，所述一级进气阀的进气端与化学气相沉积炉的出气端连通，出气端与所述一级收尘器的进气端连通，所述一级截止阀的进气端与化学气相沉积炉的出气端连通；所述二级收尘装置包括二级收尘器、二级进气阀、二级截止阀及用于收集所述二级收尘器内粉尘的二级收尘筒，所述二级进气阀的进气端与所述二级收尘器的进气管连通，出气端与所述二级收尘器的进气端连通，所述二级截止阀的进气端与所述二级收尘器的进气管连通，所述一级收尘器的出气端和所述一级截止阀的出气端均与所述二级收尘器的进气管连通；所述三级收尘装置包括三级收尘器、三级进气阀、三级截止阀及用于收集三级收尘器内粉尘的三级收尘筒，所述三级进气阀的进气端与所述三级收尘器的进气管连通，出气端与所述三级收尘器的进气端连通，所述三级截止阀的进气端与所述三级收尘器的进气管连通，所述二级截止阀的出气端和所述二级收尘器的出气端均与所述三级收尘器的进气管连通；所述四级收尘装置包括四级收尘器及用于收集所述四级收尘器内粉尘的四级收尘筒，所述四级收尘器的出气端与所述真空泵连接，所述三级截止阀的出气端和所述三级收尘器的出气端均与所述四级收尘器的进气管连通。优选地，所述一级收尘器为粉尘自然沉降室。优选地，所述一级收尘装置还包括第一电子称，所述一级收尘筒位于所述第一电子称上。优选地，所述二级收尘器包括二级壳体及设置在所述二级壳体内的滤芯和滤袋。优选地，所述二级收尘装置还包括第二电子称，所述二级收尘筒位于所述第二电子称上。优选地，所述三级收尘器为布袋收尘器。优选地，所述三级收尘装置还包括第三电子称，所述三级收尘筒位于所述第三电子称上。优选地，所述四级收尘器为微米滤芯过滤器。优选地，所述四级收尘装置还包括第四电子称，所述四级收尘筒位于所述第四电子称上。优选地，还包括一级收尘阀、二级收尘阀、三级收尘阀和四级收尘阀，所述一级收尘阀设置在连接于所述一级收尘器与所述一级收尘筒之间的管路上，所述二级收尘阀设置在连接于所述二级收尘器与所述二级收尘筒之间的管路上，所述三级收尘阀设置在连接于所述三级收尘器与所述三级收尘筒之间的管路上，所述四级收尘阀设置在连接于所述四级收尘器与所述四级收尘筒之间的管路上。在上述技术方案中，本技术提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置包括真空泵及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置。其中，一级收尘装置包括一级收尘器、一级进气阀、一级截止阀及用于收集所述一级收尘器内粉尘的一级收尘筒，一级进气阀的进气端与化学气相沉积炉的出气端连通，出气端与一级收尘器的进气端连通，一级截止阀的进气端与化学气相沉积炉的出气端连通。二级收尘装置包括二级收尘器、二级进气阀、二级截止阀及用于收集二级收尘器内粉尘的二级收尘筒，二级进气阀的进气端与二级收尘器的进气管连通，出气端与二级收尘器的进气端连通，二级截止阀的进气端与二级收尘器的进气管连通，一级收尘器的出气端和一级截止阀的出气端均与所二级收尘器的进气管连通。三级收尘装置包括三级收尘器、三级进气阀、三级截止阀及用于收集三级收尘器内粉尘的三级收尘筒，三级进气阀的进气端与三级收尘器的进气管连通，出气端与三级收尘器的进气端连通，三级截止阀的进气端与三级收尘器的进气管连通，二级截止阀的出气端和二级收尘器的出气端均与三级收尘器的进气管连通。四级收尘装置包括四级收尘器及用于收集四级收尘器内粉尘的四级收尘筒，四级收尘器的出气端与真空泵连接，三级截止阀的出气端三级收尘器的出气端均四级收尘器的进气管连通。粉尘收集装置在正常工作时，一级进气阀、二级进气阀和三级进气阀打开，一级截止阀、二级截止阀和三级截止阀关闭，待净化气体依次经过一级收尘器、二级收尘器、三级收尘器和四级收尘器。当需要更换或清理一级收尘器或一级收尘筒时，关闭一级进气阀，打开一级截止阀，气体直接进入二级收尘器；当需要更换或清理二级收尘器或二级收尘筒时，关闭二级进气阀，打开二级截止阀，气体由一级收尘器直接进入三级收尘器；当需要更换三级收尘器或三级收尘筒时，关闭三级进气阀，打开三级截止阀，气体由二级收尘器直接进入四级收尘器。通过上述描述可知，在本技术提供的粉尘收集装置中，通过设置多个进气阀和截止阀，工作人员在更换一级收尘器、一级收尘筒、二级收尘器、二级收尘筒、三级收尘筒或三级收尘器时，保证粉尘收集装置处于工作状态，避免产生较大的压力波动，对生产工艺造成影响，因此，本申请提供的粉尘收集装置提高了产品的质量。附图说明图1为本技术实施例所提供的粉尘收集装置的结构示意图。其中图1中：11-一级收尘器、12-一级进气阀、13-一级截止阀、14-一级收尘阀、15-一级收尘筒、16-第一电子称、21-二级收尘器、22-二级进气阀、23-二级截止阀、24-二级收尘阀、25-二级收尘筒、26-第二电子称上、31-三级收尘器、32-三级进气阀、33-三级截止阀、34-三级收尘阀、35-三级收尘筒、36-第三电子称、41-四级收尘器、42-四级收尘阀、43-四级收尘筒、44-第四电子称、5-化学气相沉积炉、6-真空泵、7-尾气处理装置。具体实施方式本技术的核心是提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，以提高产品的加工质量。为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和实施方式对本技术作进一步的详细说明。请参考图1，在一种具体实施方式中，本技术提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置包括真空泵6及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置。其中，一级收尘装置包括一级收尘器11、一级进气阀12、一级截止阀13及用于收集一级收尘器11内粉尘的一级收尘筒15，一级进气阀12的进气端与化学气相沉积炉5的出气端连通，出气端与一级收尘器11的进气端连通，一级截本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，包括真空泵(6)及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置；所述一级收尘装置包括一级收尘器(11)、一级进气阀(12)、一级截止阀(13)及用于收集所述一级收尘器(11)内粉尘的一级收尘筒(15)，所述一级进气阀(12)的进气端与化学气相沉积炉(5)的出气端连通，出气端与所述一级收尘器(11)的进气端连通，所述一级截止阀(13)的进气端与化学气相沉积炉(5)的出气端连通；所述二级收尘装置包括二级收尘器(21)、二级进气阀(22)、二级截止阀(23)及用于收集所述二级收尘器(21)内粉尘的二级收尘筒(25)，所述二级进气阀(22)的进气端与所述二级收尘器(21)的进气管连通，出气端与所述二级收尘器(21)的进气端连通，所述二级截止阀(23)的进气端与所述二级收尘器(21)的进气管连通，所述一级收尘器(11)的出气端和所述一级截止阀(13)的出气端均与所述二级收尘器(21)的进气管连通；所述三级收尘装置包括三级收尘器(31)、三级进气阀(32)、三级截止阀(33)及用于收集三级收尘器(31)内粉尘的三级收尘筒(35)，所述三级进气阀(32)的进气端与所述三级收尘器(31)的进气管连通，出气端与所述三级收尘器(31)的进气端连通，所述三级截止阀(33)的进气端与所述三级收尘器(31)的进气管连通，所述二级截止阀(23)的出气端和所述二级收尘器(21)的出气端均与所述三级收尘器(31)的进气管连通；所述四级收尘装置包括四级收尘器(41)及用于收集所述四级收尘器(41)内粉尘的四级收尘筒(43)，所述四级收尘器(41)的出气端与所述真空泵(6)连接，所述三级截止阀(33)的出气端和所述三级收尘器(31)的出气端均与所述四级收尘器(41)的进气管连通。...

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置，其特征在于，包括真空泵(6)及沿粉尘流动方向依次设置的一级收尘装置、二级收尘装置、三级收尘装置和四级收尘装置；所述一级收尘装置包括一级收尘器(11)、一级进气阀(12)、一级截止阀(13)及用于收集所述一级收尘器(11)内粉尘的一级收尘筒(15)，所述一级进气阀(12)的进气端与化学气相沉积炉(5)的出气端连通，出气端与所述一级收尘器(11)的进气端连通，所述一级截止阀(13)的进气端与化学气相沉积炉(5)的出气端连通；所述二级收尘装置包括二级收尘器(21)、二级进气阀(22)、二级截止阀(23)及用于收集所述二级收尘器(21)内粉尘的二级收尘筒(25)，所述二级进气阀(22)的进气端与所述二级收尘器(21)的进气管连通，出气端与所述二级收尘器(21)的进气端连通，所述二级截止阀(23)的进气端与所述二级收尘器(21)的进气管连通，所述一级收尘器(11)的出气端和所述一级截止阀(13)的出气端均与所述二级收尘器(21)的进气管连通；所述三级收尘装置包括三级收尘器(31)、三级进气阀(32)、三级截止阀(33)及用于收集三级收尘器(31)内粉尘的三级收尘筒(35)，所述三级进气阀(32)的进气端与所述三级收尘器(31)的进气管连通，出气端与所述三级收尘器(31)的进气端连通，所述三级截止阀(33)的进气端与所述三级收尘器(31)的进气管连通，所述二级截止阀(23)的出气端和所述二级收尘器(21)的出气端均与所述三级收尘器(31)的进气管连通；所述四级收尘装置包括四级收尘器(41)及用于收集所述四级收尘器(41)内粉尘的四级收尘筒(43)，所述四级收尘器(41)的出气端与所述真空泵(6)连接，所述三级截止阀(33)的出气端和所述三级收尘器(31)的出气端均与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刘，于金凤，
申请(专利权)人：清远先导材料有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44