压电元件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种兼具高可靠性和良好的压电特性的使用碱金属铌酸盐类压电陶瓷的非铅类的压电元件以及能够以低成本制造其的技术。压电元件，是单层型或叠层型的压电元件。上述压电元件包括第1和第2电极与压电陶瓷层。上述第1和第2电极中，银的含量为50重量％以上。上述压电陶瓷层，配置在上述第1和第2电极之间，由含有钙、锶和钡中的至少一种碱土金属且含有银的碱金属铌酸盐类压电陶瓷的多晶体构成。根据该构成，能够提高电阻和压电性，因此能够得到高可靠性和良好的压电特性。

Piezoelectric element and method of manufacturing the same

The present invention provides a non lead piezoelectric element using an alkali metal niobate piezoelectric ceramic with high reliability and good piezoelectric properties, and a technique capable of making at low cost. The piezoelectric element is a single-layer or laminated piezoelectric element. The piezoelectric element includes first and second electrodes and a piezoelectric ceramic layer. In the first and second electrodes, the content of silver is 50 wt% or more. The piezoelectric ceramic layer is disposed between the first and second electrodes and is composed of polycrystalline polycrystalline alkali metal niobate piezoelectric ceramics containing at least one alkaline earth metal containing calcium, strontium and barium. According to the constitution, the resistance and piezoelectricity can be improved, and therefore, high reliability and good piezoelectric characteristics can be obtained.

【技术实现步骤摘要】
压电元件及其制造方法
本专利技术涉及使用碱金属铌酸盐类压电陶瓷的压电元件及其制造方法。
技术介绍
压电元件是利用具有压电性的陶瓷的能够将电能和机械能相互转换的特性的电子部件。压电元件具有用一对电极夹着压电陶瓷的结构。压电元件能够将振动、压力等机械能转换为电能，将该电能作为一对电极间的电压取出。压电元件也能够与之相反将一对电极间的电压转换为压力、振动等机械能，使其他物体运动或使自身动作。压电元件由于能够产生宽频率的振动，所以能够用于例如扬声器等。更详细地说，压电元件能够产生一般生活环境中可见的0～100Hz程度的频带、人类能够感知为声音的～20kHz程度的频带、以及电磁波那样的数～数十GHz程度的频带的振动。与之相反，压电元件也能够由如上所述的振动产生宽频带的电压。另外，作为压电元件，已知有叠层型的压电元件。叠层型压电元件具有用内部电极夹着叠层的多个压电陶瓷层的结构。叠层型压电元件典型地通过同时烧制压电陶瓷层和内部电极来制造。叠层型压电元件由于能够在多个压电陶瓷层的叠层方向上得到大的位移，所以能够用于例如致动器等。压电元件和叠层型压电元件中广泛使用具有高的压电性的PZT类压电陶瓷。但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单层型或叠层型的压电元件，其特征在于，包括：银的含量为50重量％以上的第1和第2电极；和压电陶瓷层，其配置在所述第1和第2电极之间，由含有钙、锶和钡中的至少一种碱土金属且含有银的碱金属铌酸盐类压电陶瓷的多晶体构成。

【技术特征摘要】
2016.03.10 JP 2016-0476151.一种单层型或叠层型的压电元件，其特征在于，包括：银的含量为50重量％以上的第1和第2电极；和压电陶瓷层，其配置在所述第1和第2电极之间，由含有钙、锶和钡中的至少一种碱土金属且含有银的碱金属铌酸盐类压电陶瓷的多晶体构成。2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于：所述多晶体的结晶粒径满足100nm≤D50≤800nm。3.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于：所述多晶体的结晶粒径满足(D90-D10)/D50≤2.0。4.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于：所述碱金属铌酸盐类压电陶瓷由以下的组成式(1)表示。(AguM2v(K1-w-xNawLix)1-u-v)a(SbyTazNb1-y-z)O3…(1)组成式(1)中，M2表示所述碱土金属；另外，u、v、w、x、y、z、a是满足0.005＜u≤0.05、0.002＜v≤0.05、0.007＜u+v≤0.10≤w≤1、0.02＜x≤0.1、0.02＜w+x≤1、0≤y≤0.1、0≤z≤0.4、1＜a≤1.1所示的各不等式的数值。5.如权利要求4所述的压电元件，其特征在于：所述碱金属铌酸盐类压电陶瓷中，在设该碱金属铌酸盐类压电陶瓷为100摩尔％时，Li的含量为0.2摩尔％以上3.0摩尔％以下，Si的含量为0.1摩尔％以上3.0摩尔％以下，Li的含量(摩尔％)/Si的含量(摩尔％)为0.6以上2.0以下。6.如权利要求4或5所述的压电元件，其特征在于：在所述碱金属铌酸盐类压电陶瓷中析出Li3N...

【专利技术属性】
技术研发人员：波多野桂一，岸本纯明，原田智宏，土信田丰，
申请(专利权)人：太阳诱电株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP