用于砷烷输送的不锈钢管及其制备方法技术

一种用于砷烷输送的不锈钢管，所述不锈钢管由管道本体，涂覆在管道本体内壁上的第一隔膜层，蒸镀在管道本体外壁上的第二隔膜层构成。所述管道本体由以下重量份百分比元素组成：碳0.16％‑0.20％，硅0.03％‑0.06％，镉0.05％‑0.07％，钒0.04％‑0.08％，钛0.03％‑0.07％，锌0.01％‑0.05％，锰0.05％‑0.08％，镍0.03％‑0.06％，钴0.04％‑0.09％，铬0.03％‑0.06％，余量为铁；通过在管道本体中添加少量微量元素并控制在一比例范围使得该管道具有足够的强度和致密性，内壁上涂覆第一隔膜层防止输送砷烷时发生泄漏，管道外壁蒸镀一层第二隔膜层，优选半导体层，可以避免外界空气进入管道与管道内的砷烷发生反应，本发明专利技术制得的管道适用于氨砷烷等剧毒性气体的输送，具体使用安全、寿命长等特点。

Stainless steel pipe for arsenic delivery and preparation method thereof

The stainless steel pipe is composed of a pipe body, a first membrane layer coated on the inner wall of the pipe body, and a second diaphragm layer which is plated on the outer wall of the pipe body. The body of the pipeline by weight percentage of 0.16% 0.20% elements: carbon, silicon 0.03% 0.06%, 0.05% 0.07% 0.04% cadmium, vanadium titanium 0.03% 0.08%, 0.07%, 0.01%, 0.05% zinc, manganese 0.05% 0.08%, 0.03% 0.06% nickel cobalt 0.04%, 0.09%, Cr 0.03% 0.06%, more than the amount of iron; by adding a small amount of trace elements in the body of the pipeline and control has the strength and density of the pipeline in a sufficient proportion range, coated on the inner wall of the first diaphragm layer to prevent leakage occurs when the outer wall of the pipe conveying arsine, evaporation a layer second diaphragm layer, preferably semi conductor layer, can prevent outside air into arsenic alkane piping and pipelines in the pipeline, prepared by the invention is suitable for ammonia and other toxic arsine gas, the specific characteristics of safe operation and long service life etc..

【技术实现步骤摘要】
用于砷烷输送的不锈钢管及其制备方法
本专利技术涉及管体
，具体涉及一种用于砷烷输送的不锈钢管及其制备方法。
技术介绍
发光二极管简称为LED。由含镓(Ga)、砷(As)、磷(P)、氮(N)等的化合物制成。当电子与空穴复合时能辐射出可见光，因而可以用来制成发光二极管，在电路及仪器中作为指示灯，或者组成文字或数字显示。砷化镓二极管发红光，磷化镓二极管发绿光，碳化硅二极管发黄光，氮化镓二极管发蓝光。在制备红光LED外延片时，主要通过MOCVD设备进行气相沉积，在用到的原材料中含有砷烷。砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，有大蒜气味.与空气混合形成可燃混合气，砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。由于砷烷的剧毒特性，在工业上大规模应用时安全便是首要考虑因素，这对输送砷烷的管道提出了更高的要求，需要根据砷烷的特殊物理化学性质制备出专用的输送管道。
技术实现思路
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【技术保护点】
一种用于砷烷输送的不锈钢管，其特征在于：所述不锈钢管由管道本体，涂覆在管道本体内壁上的第一隔膜层，蒸镀在管道本体外壁上的第二隔膜层构成。所述管道本体由以下重量份百分比元素组成：碳0.16％‑0.20％，硅0.03％‑0.06％，镉0.05％‑0.07％，钒0.04％‑0.08％，钛0.03％‑0.07％，锌0.01％‑0.05％，锰0.05％‑0.08％，镍0.03％‑0.06％，钴0.04％‑0.09％，铬0.03％‑0.06％，余量为铁。

【技术特征摘要】
1.一种用于砷烷输送的不锈钢管，其特征在于：所述不锈钢管由管道本体，涂覆在管道本体内壁上的第一隔膜层，蒸镀在管道本体外壁上的第二隔膜层构成。所述管道本体由以下重量份百分比元素组成：碳0.16％-0.20％，硅0.03％-0.06％，镉0.05％-0.07％，钒0.04％-0.08％，钛0.03％-0.07％，锌0.01％-0.05％，锰0.05％-0.08％，镍0.03％-0.06％，钴0.04％-0.09％，铬0.03％-0.06％，余量为铁。2.如权利要求1所述的一种用于砷烷输送的不锈钢管，其特征在于：所述第一隔膜层由以下重量份的原料配制而成：聚氯三氟乙烯10-15份，聚芳香酯25-30份，聚对苯二甲酸乙二酯20-25份，高密度聚乙烯塑料10-20份，聚酯树脂12-18份。3.如权利要求1所述的一种用于砷烷输送的不锈钢管，其特征在于：所述第二隔膜层为半导体层。4.如权利要求3所述的一种用于砷烷输...

【专利技术属性】
技术研发人员：何祥炎，孙国政，周万波，
申请(专利权)人：安徽索立德铸业有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34