一种静电防护装置及其制作方法制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种静电防护装置及其制作方法
本专利技术涉及静电防护
，尤其涉及一种静电防护装置及其制作方法。
技术介绍
静电防护装置的作用是防止显示面板上的半导体器件因受到静电放电的影响而损坏或者失效，从而防止整个显示面板的损坏或失效，特别地，在显示面板的DP侧和ODP侧的数据线和公共电极线间的ESD(Electro-Staticdischarge，静电释放)防护设计则显得更为重要。现有的ESD(Electro-Staticdischarge，静电释放)防护装置由2～4个并联或者串联的三极管组成，即形成一个加强型的二极管。当DP侧和DPO侧的数据线和公共电极线之间的电压差达到一定程度后，实现对显示面板中的数据线和公共电极线中的静电的放电。然而，该ESD防护装置在正常电压下仍然存在着电流，具体可参见图1所示的输入电压与输入电流的关系示意图，即在正常电压下仍然保持数据线和公共电极线为连接状态，这种情况必然会对数据线上负载的信号产生干扰。综上所述，如何避免ESD防护装置对数据线上负载的信号产生干扰。
技术实现思路
本专利技术实施例提供的一种静电防护装置及其制作方法，用以解决ESD防...
【技术保护点】
一种静电防护装置，其特征在于，包括：第一金属层；形成在所述第一金属层之上的第一绝缘层；部分形成在第一绝缘层之上的极化膜层，其中，所述极化膜层为由通电后能产生形变的压电材料形成；至少部分形成在所述极化膜层之上的第二金属层；形成在所述第二金属层之上的导电悬梁臂；形成在所述第一绝缘层之上且与所述第一金属层相连的导电疏散层，其中，所述导电疏散层的自由端与所述导电悬梁臂的自由端在所述第一金属层的投影重合，且所述导电悬梁臂位于所述导电疏散层与所述第一金属层之间；当所述第一金属层与所述第二金属层之间的电压差达到预设值时，所述极化膜层发生形变致使所述导电悬梁臂与所述导电疏散层相连。
【技术特征摘要】
1.一种静电防护装置，其特征在于，包括：第一金属层；形成在所述第一金属层之上的第一绝缘层；部分形成在第一绝缘层之上的极化膜层，其中，所述极化膜层为由通电后能产生形变的压电材料形成；至少部分形成在所述极化膜层之上的第二金属层；形成在所述第二金属层之上的导电悬梁臂；形成在所述第一绝缘层之上且与所述第一金属层相连的导电疏散层，其中，所述导电疏散层的自由端与所述导电悬梁臂的自由端在所述第一金属层的投影重合，且所述导电悬梁臂位于所述导电疏散层与所述第一金属层之间；当所述第一金属层与所述第二金属层之间的电压差达到预设值时，所述极化膜层发生形变致使所述导电悬梁臂与所述导电疏散层相连。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括：形成在所述第一绝缘层之上的第一多晶硅膜层，其中，所述第一多晶硅膜层中的原子间距与所述极化膜层中的原子间距的差值小于或等于10皮米。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述极化膜层的形变方向为所述第一金属层与所述第二金属层之间的电压的方向。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述第一金属层为栅极金属层，所述第一绝缘层为栅极绝缘层，所述第二金属层为源漏极金属层，所述第一多晶硅膜层为有源层。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述极化膜层为掺铬氧化锌层。6.一种权利要求1-5任一项所述的静电防护装置的制作方法，其特征在于，包括：在第一金属层之上形成第一绝缘层；至少部分在所述第一绝缘层之上形成压电膜层，其中，所述压电膜层为由通电后能产生形变的压电材料形成；至少部分在所述压电膜层之上形成第二金属层；在所述第一金属层与所述第二金属层之间的电压差满足预设电压差的条件下，将所述压电膜层进行极化处理，形成极化膜层；在所述第二金属层之上形成导电悬梁臂，其中，所述导电悬梁臂的自由端与所述第一金属层相对应；在形成所述第一绝缘层之后，在所述第一绝缘层之上形成第二绝缘层；在所述第二绝缘层之上形成导电疏散层，其中，所述导电疏散层通过所述第二绝缘层的过孔与所述第一金属层相...
【专利技术属性】
技术研发人员：张东徽，倪欢，马小叶，马睿，王锡平，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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