抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜制造技术

提供一种在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物、使用该固化性组合物得到的抗蚀永久膜。具体而言，提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物、使该组合物固化而成的抗蚀永久膜，所述抗蚀永久膜用固化性组合物含有：具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)和、感光剂(B1)或固化剂(B2)(式(1)中，R

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】抗蚀永久膜用固化性组合物及抗蚀永久膜
本专利技术涉及在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物，另外，本专利技术还涉及使用前述固化性组合物而得到的抗蚀永久膜。
技术介绍
含酚羟基化合物可以用于粘接剂、成形材料、涂料、光致抗蚀剂材料、环氧树脂原料、环氧树脂用固化剂等，此外，固化物的耐热性、耐湿性等优异，因此作为将含酚羟基化合物自身作为主剂的固化性树脂组合物，在电气·电子领域中被广泛使用。在电气·电子领域中，作为前述固化性组合物的用途，例如可列举出永久膜。前述永久膜例如可列举出：在构成IC、LSI等半导体器件、薄型显示器等显示装置的制品的部件上、部件间形成感光性树脂的覆膜且在制品完成后仍残留的永久膜。作为该永久膜的具体例，对于半导体器件相关的，可列举出：阻焊层、封装材料、底部填充材料、电路元件等的封装粘接层、集成电路元件与电路基板的粘接层等。另外，对于以LCD、OELD为代表的薄型显示器相关的，可列举出：薄膜晶体管保护膜、液晶滤色器保护膜、黑色矩阵、间隔物等。将前述固化性组合物用于永久膜形成用途的情况下，要求该组合物的溶剂溶解性优异，另外，要求得到的涂膜的碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异。作为用于获得前述永久膜的组合物，例如已知有含有使苯酚、萘酚等具有酚羟基的化合物与醛聚合而得到的酚醛清漆型酚醛树脂的组合物(例如参照专利文献1。)。但是，使用该专利文献1中公开的组合物而得到的涂膜的碱显影性、灵敏度及分辨率不充分。另外，作为用于获得永久膜的组合物，例如，已知包含具有被称为杯芳烃结构的筒状结构的含酚羟基化合物的组合物。作为该含酚羟基化合物，具体而言，例如已知有使α-萘酚和甲醛以碱土金属氢氧化物作为催化剂反应而得到的萘酚型杯芳烃化合物(例如参照专利文献2。)。但是，专利文献2中公开的萘酚型杯芳烃化合物在有机溶剂中的溶解性不充分，难以制备用于获得永久膜的组合物。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-244663号公报专利文献2：日本特开2012-162474号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题因此，本专利技术要解决的问题在于，提供在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物及使用该组合物而得到的抗蚀永久膜。用于解决问题的方案本专利技术人等为了解决上述问题，反复进行了深入研究，结果发现，二羟基萘型的杯芳烃化合物的耐热性显著高、在通用溶剂中的溶解性优异，使用其得到的涂膜的耐热性、感光度、分辨率优异，含有该化合物且含有感光剂或固化剂的组合物适合作为用于形成抗蚀永久膜的组合物等，从而完成了本专利技术。即，本专利技术提供一种抗蚀永久膜用固化性组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2可以彼此相同，也可以不同，且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。)。另外，本专利技术还提供一种抗蚀永久膜，其特征在于，是使前述抗蚀永久膜用固化性组合物固化而成的。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供在溶剂中的溶解性优异、而且能得到碱显影性、耐热分解性、感光度及分辨率优异的涂膜、尤其适于得到抗蚀永久膜的固化性组合物、及使用该固化性组合物而得到的抗蚀永久膜。附图说明图1为合成例1中得到的含酚羟基化合物(A1)的GPC图。图2为合成例1中得到的含酚羟基化合物(A1)的1H-NMR图。图3为合成例1中得到的含酚羟基化合物(A1)的IR图。图4为合成例1中得到的含酚羟基化合物(A1)的FD-MS图。图5为合成例2中得到的含酚羟基化合物(A2)的GPC图。图6为合成例2中得到的含酚羟基化合物(A2)的1H-NMR图。图7为合成例2中得到的含酚羟基化合物(A2)的IR图。图8为合成例2中得到的含酚羟基化合物(A2)的FD-MS图。具体实施方式本专利技术的抗蚀永久膜用固化性组合物的特征在于，含有含酚羟基化合物(A)且含有感光剂(B1)或固化剂(B2)。此处，前述含酚羟基化合物(A)具有下述结构式(1)所示的分子结构，(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2可以彼此相同，也可以不同，且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。)。如前所述，以往已知的杯芳烃型化合物与通用有机溶剂、其它树脂成分、添加剂等的相容性不充分。与此相对，前述结构式(1)所示的含酚羟基化合物通过为在前述结构式(1)中的萘骨架上具有2个羟基的官能团浓度高的化合物，维持作为杯芳烃型结构的特征的耐热性的高度、并且具有与通用有机溶剂、其它树脂成分、添加剂等的相容性也优异的特征。这样的含酚羟基化合物(A)在用于感光性材料时的感光度、分辨率优异，能形成感光前的耐碱溶解性和感光后的碱溶解性这两者优异的感光度高的抗蚀永久膜。另外，前述结构式(1)所示的含酚羟基化合物(A)由于具有包含多个萘环结构的杯芳烃结构，因此能得到富有刚性、耐热分解性优异的抗蚀永久膜。前述结构式(1)中的n表示重复单元数，为2～10的整数。其中，从形成结构稳定性优异、耐热分解性优异的含酚羟基化合物的方面出发，优选为2、3、4、5、6、8中任一者，特别优选为4。前述结构式(1)中，萘骨架上的2个羟基的取代位置可以为萘骨架的2个芳香环中的任意者。从原料的获得容易的方面出发，萘骨架上的2个羟基的取代位置优选为1,4位、1,5位、1,6位、2,6位、2,7位中任一者，进而，从制造容易的方面出发，更优选为1,6位。即，更优选的是前述含酚羟基化合物(A)具有下述结构式(1-1)所示的分子结构，(式中，R1为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，m为0～4的整数。m为2以上时，多个R2可以彼此相同，也可以不同，且可以键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。)。前述结构式(1)中的R1为氢原子、烷基或芳基，作为烷基，可列举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基等。另外，作为芳基，可列举出下述结构式(2-1)或(2-2)所示的结构部位，(式中，R3及R4分别独立地为羟基、卤素原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基中任意者，k为0～5的整数，l为～7的整数。k或l为2以上时，多个R3或R4可以彼此相同，也可以不同。)具体而言，可列举出：苯基、羟基苯基、二羟基苯基、羟基烷氧基苯基、烷氧基苯基、甲苯基、二甲苯基、萘基、羟基萘基、二羟基萘基等。这些之中，从成为能获得灵敏度、分辨率、以及耐热分解性高的抗蚀永久膜的固化性组合物的方面出发，优选为芳基，更优选为羟基苯基、二羟基苯基、羟基烷氧基苯基、羟基萘基、二羟基萘基等含羟基结构部位。前述结构式(1)中的R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者，作为烷基，可列举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基等，作为烷氧基，可列举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基、己氧基、环己氧基等。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗蚀永久膜用固化性组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.16 JP 2015-0067241.一种抗蚀永久膜用固化性组合物，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的含酚羟基化合物(A)且包含感光剂(B1)或固化剂(B2)，式(1)中，R1为氢原子、烷基或芳基；n为2～10的整数；R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者；m为0～4的整数，m为2以上时，多个R2任选彼此相同或不同，且任选键合在萘骨架的2个芳香环中的任意者上。2.根据权利要求1所述的抗蚀永久膜用固化性组合物，其中，所述含酚羟基化合物(A)具有下述结构式(1-1)所示的分子结构，式(1-1)中，R1为氢原子、烷基或芳基；n为2～10的整数；R2为烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、卤素原子中任意者；m为0～4的整数，m为2以上时，...

【专利技术属性】
技术研发人员：今田知之，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP