一种表面刻花纹石墨制造技术

本实用新型专利技术公开了一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件和花纹，所述石墨零部件表层刻有花纹，所述花纹为连续的规则六边形花纹，所述石墨零部件表层的花纹粗糙度Ra大于6.4，该实用新型专利技术由于在石墨零部件表层刻有花纹，且花纹为连续的规则六边形，能够增大石墨零部件的表面粗糙度，可以有效增强表面附着污染物的能力，延长石墨件使用寿命，有效延长机台两次保养的间隔时段。

【技术实现步骤摘要】
一种表面刻花纹石墨
本技术涉及石墨加工
，特别涉及一种表面刻花纹石墨。
技术介绍
近年来国内半导体晶圆厂，国家出台了4000亿国家集成电路的产业大基金来支持国内的半导体行业。离子注入机是目前半导体晶圆厂内的最精密的关键设备，石墨类的耗材需求量很大，对石墨类的零部件不但要求高纯度无污染，还要求同一套石墨保护组件能最大限度提升使用寿面，延长机台俩次保养的间隔时段，这样石墨表面刻花纹就有了应用市场，石墨零部件表面在机械加工后的表面无花纹，粗糙度Ra约在0.2-1.6左右，粗糙度低，为此，我们提出一种表面刻花纹石墨。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种表面刻花纹石墨，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件和花纹，所述石墨零部件表层刻有花纹，所述花纹为连续的规则六边形花纹，所述石墨零部件表层的花纹粗糙度Ra大于6.4。进一步的，所述石墨零部件采用高纯石墨材料制成。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：该技术由于在石墨零部件表层刻有花纹，且花纹为连续的规则六边形，能够增大石墨零部件的表面粗糙度，可以有效增强表面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件(1)和花纹(2)，其特征在于：所述石墨零部件(1)表层刻有花纹(2)，所述花纹(2)为连续的规则六边形花纹(2)，所述石墨零部件(1)表层的花纹(2)粗糙度Ra大于6.4。

【技术特征摘要】
1.一种表面刻花纹石墨，包括石墨零部件(1)和花纹(2)，其特征在于：所述石墨零部件(1)表层刻有花纹(2)，所述花纹(2)为连续的规则六边形花纹(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庚栋，陈华杰，彭功祥，
申请(专利权)人：东莞市凯迪碳素有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44